.本发明涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种半导体工艺设备及其工艺腔室。背景技术.半导体工艺设备是对半导体片材(例晶圆)进行加工的设备，半导体片材需要在半导体工艺设备的工艺腔室内进行加工。工艺腔室包括有腔室本体、加热基座、顶针支撑件和顶针，

.本发明涉及机械制造技术领域，具体地涉及一种可折叠的卷筒运输周转装置。背景技术.卷筒是一种将货物卷绕在辊状支撑物上方的一种支撑装置，能够高效装载大量布面类材料，装载方式简单，在转运运输领域中应用十分广泛，卷筒的运输周转效率直接影响整个卷筒转

.本发明涉及垃圾焚烧技术领域，具体为一种危废处置中心的焚烧系统。背景技术.垃圾焚烧是一种较古老的传统的处理垃圾的方法，由于垃圾用焚烧法处理后，减量化效果显著，节省用地，还可消灭各种病原体，将有毒有害物质转化为无害物，故垃圾焚烧法已成为城市垃

.本发明涉及采矿工程相似模拟试验技术领域，特别涉及一种基于岩块回转的动态覆岩运动模拟装置及方法。背景技术.当前，模拟煤炭开采引起松散层破坏及地表裂隙演化规律的装置中，通过地表移动变形模拟试验平台的平移、沉降或抬升驱动下，使试验用松散土体发生

.本发明属于可靠性工程技术领域，尤其涉及一种高可靠长寿命液晶显示器件快速可靠性评价方法。背景技术.液晶显示器件是一种借助于薄膜晶体管驱动的有源矩阵液晶显示器，由液晶显示屏和背光模组组成，主要以电流刺激液晶分子产生点、线、面，配合背部灯管构成

.本发明涉及医疗器械技术领域，具体涉及了一种放射介入治疗用桡动脉穿刺针支架。背景技术.放射介入是在医学影像设备的引导下，以影像诊断学和临床诊断学为基础，结合临床治疗学原理，利用导管、导丝等器材对各种疾病进行诊断及治疗的一系列技术。.现有的桡

.本发明涉及一种数据驱动的新能源电力系统非参数概率预测方法，属于新能源电力系统概率预测领域。背景技术.随着新能源电力系统的不断发展，越来越多的不确定性因素注入传统电力系统，给电力系统规划、运行、交易等各项决策制定带来了挑战。概率预测能够实现

.本发明属于激光探测技术领域，特别涉及一种双视场避障激光雷达发射系统。背景技术.直升机是一种便捷、高效的飞行器，具备优良的低空飞行特性和起降方便等优势，在侦察测绘、物资运输、抗灾救援等军用、民用领域得到了广泛地应用。由于直升机自身结构特征和

.本发明涉及燃气轮机技术领域，具体涉及一种密封组件和燃气轮机。背景技术.在透平叶片的叶冠处采用蜂窝篦齿封严，可以起到减少泄漏量、改善转子动力学特性、降低转静面间的摩擦损伤等作用。在透平叶片的蜂窝篦齿封严采用单齿结构，具有结构简单，重量小优势

.本公开涉及一种车辙判定装置、车辙判定方法和存储介质。背景技术.作为本领域的传统的技术，提出一种路面性能检测系统(例如，参见日本未审查专利申请公开第-号(jp-a))。这种系统通过比较当路面潮湿时由多个车辆的每一个收集的行驶声音的特征和当路