适应范围广的晶圆激光切割装置的制作方法

1.本实用新型涉及激光切割技术领域，特别是涉及适应范围广的晶圆激光切割装置。


背景技术：

2.晶圆激光切割装置又名硅片激光切割机、激光划片机。硅片切割机工作原理是利用高能激光束照射在工件表面，使被照射区域局部熔化、气化、从而实现硅材料的切割。硅片切割机主要用于金属材料及硅、锗、砷化镓和其他半导体衬底材料的划片和切割，可加工太阳能电池板、硅片、陶瓷片、铝箔片等，工件精细美观，切边光滑，可极大地提高加工效率和优化加工效果。
3.目前，现有的晶圆激光切割装置，在使用过程中，大多存在不便于调节的问题，从而降低了设备的适用范围，由于对激光切割头的调节，会直接影响到设备的切割精度，使其在使用时，难以对激光切割头进行精准的掌控，导致在切割时出现误差，从而降低了产品的合格率，为此我们提出适应范围广的晶圆激光切割装置。


技术实现要素：

4.针对上述问题，本实用新型提供了适应范围广的晶圆激光切割装置，具有便于调节的功能，能够对激光切割头进行高精度调节的功能，能够精准的掌握其切割范围和切割轨迹，从而提高设备的精度。
5.本实用新型的技术方案是：适应范围广的晶圆激光切割装置，包括箱体、吸尘器和调节支架，所述箱体的内部设有调节支架，所述调节支架的底部设有滑块，所述箱体的内部底端两侧设有滑槽，所述滑块穿过滑槽并延伸至滑槽的底部，所述滑槽的底部设有纵向螺杆，所述纵向螺杆的两端通过轴承与箱体的内部活动连接，所述箱体的底部一侧设有纵向调节电机，所述纵向调节电机的输出轴端设有皮带轮，所述纵向螺杆的一端也设有皮带轮，两个所述的皮带轮之间设有皮带，所述调节支架的顶端一侧设有切割支架，所述调节支架的顶端内部设有横向螺杆，所述横向螺杆与切割支架螺旋连接，所述调节支架的顶端一侧设有横向调节电机，所述横向调节电机与横向螺杆之间通过设有的皮带和皮带轮进行活动连接。
6.上述技术方案的工作原理如下：
7.通过设有的纵向调节电机，配合皮带和皮带轮，来控制纵向螺杆的转动，由于纵向螺杆与滑块之间为螺旋连接，从而实现滑块的移动性，使其能够沿着纵向螺杆的轨迹进行移动，提高其移动性，使其在滑槽内进行滑动，在通过设有的横向调节电机，来带动横向螺杆转动，从而使得切割支架在横向螺杆的轨迹上移动，通过将纵向螺杆与横向螺杆同时运行，在带动调节支架移动的同时，还能够使得切割支架进行横向移动，从而实现切割的灵活性，同时提高了切割的精准度，使其能够适用于对各种尺寸晶圆的切割加工，大大提高了设备的实用性。
8.在进一步的技术方案中，所述箱体的一侧设有箱门，所述箱门的内侧底端设有吸尘器,所述吸尘器通过安装螺丝固定安装于箱门的内侧底端，所述箱体的底部一侧设有收集箱，所述收集箱通过设有的导管与吸尘器进行密封连通，所述收集箱通过安装螺丝固定安装于箱体的底部一侧。
9.通过设有的吸尘器，在对晶圆进行传输时，由吸尘器来先对晶圆表面可能存在的灰尘杂质进行吸收清除，并通过设有的导管将吸收的杂质输送到收集箱的内部，对其进行集中收集，防止直接排放出去，对设备的内部造成二次污染，从而使的晶圆表面保持整洁，防止表面可能存在的杂质对切割工作造成影响，提高加工精度。
10.在进一步的技术方案中，所述箱门的一侧设有控制面板，所述控制面板通过镶嵌的方式固定安装于箱门的外部一侧，所述箱门的中心位置设有观察橱窗，所述观察橱窗为钢化玻璃材质。
11.通过设有的控制面板，来实现对设备的操控，提高设备的操作性，从而保证设备在切割时的精准度，通过设有的观察橱窗，来实现对箱体内部的观察，方便工作人员对加工精度的掌握。
12.在进一步的技术方案中，所述箱体的内部设有传送带，所述传送带的内部设有传动辊，所述传送带的内壁与传动辊的表面紧密接触，所述传动辊的一端设有齿轮，所述箱体的底部设有传送电机，所述传送电机的输出轴端通过齿轮与传动辊进行活动连接。
13.通过设有的传送带，在传送电机的带动下，带动传动辊进行转动，由传动辊来带动传送带进行转动，从而来实现对晶圆的传送，使其能够稳定的进入到设备的内部。
14.在进一步的技术方案中，所述切割支架的底部设有激光切割头，所述激光切割头通过设有的安装螺丝固定安装于切割支架的底部中心位置，所述激光切割头设置于传送带的顶部。
15.通过设有的激光切割头，在调节支架和切割支架的带动下，来实现对晶圆的切割，使其能够高效的对传送带上的晶圆进行切割，从而提高加工效率。
16.在进一步的技术方案中，所述切割支架的底端设有两个高精度摄像头，所述高精度摄像头通过设有的安装螺丝固定安装于切割支架的底端两侧，所述高精度摄像头的镜头对准激光切割头的底端。
17.通过设有的高精度摄像头，在对晶圆进行加工，能够通过控制面板上的显示屏清楚的观察到激光切割头的切割轨迹，从而保证了激光切割头的切割精度。
18.在进一步的技术方案中，所述箱体的顶部四周设有照明灯，所述照明灯通过设有的安装灯座固定安装于箱体的顶部四周。
19.通过设有的照明灯，方便高精度摄像头的运行，对激光切割头进行拍摄，使其能够在显示屏上呈现出高清画面，从而方便工作人员对其进行观察和操作，有效的提高设备加工精度。
20.本实用新型的有益效果是：
21.1、通过将纵向螺杆与横向螺杆同时运行，在带动调节支架移动的同时，还能够使得切割支架进行横向移动，从而实现切割的灵活性，同时提高了切割的精准度，使其能够适用于对各种尺寸晶圆的切割加工，大大提高了设备的实用性；
22.2、通过吸尘器，来对晶圆表面可能存在的灰尘杂质进行吸收清除，再将吸收的杂
质通过设有的导管输送到收集箱的内，对其进行集中收集，防止直接排放，对设备的内部待加工晶圆造成二次污染，有效的保证了晶圆表面整洁性，防止表面可能存在的杂质对切割工作造成影响，提高加工精度；
23.3、通过设有的控制面板，来实现对设备的操控，提高设备的操作性，从而保证设备在切割时的精准度，通过设有的观察橱窗，来实现对箱体内部的观察，方便工作人员对加工精度的掌握；
24.4、通过设有的传送带，在传送电机的带动下，带动传动辊进行转动，由传动辊来带动传送带进行转动，从而来实现对晶圆的传送，使其能够稳定的进入到设备的内部；
25.5、通过设有的激光切割头，在调节支架和切割支架的带动下，来实现对晶圆的切割，使其能够高效的对传送带上的晶圆进行切割，从而提高加工效率；
26.6、通过设有的高精度摄像头，在对晶圆进行加工，能够通过控制面板上的显示屏清楚的观察到激光切割头的切割轨迹，从而保证了激光切割头的切割精度；
27.7、通过设有的照明灯，方便高精度摄像头的运行，对激光切割头进行拍摄，使其能够在显示屏上呈现出高清画面，从而方便工作人员对其进行观察和操作，有效的提高设备加工精度。
附图说明
28.图1是本实用新型实施例的整体结构示意图；
29.图2是本实用新型实施例正视的结构示意图；
30.图3是本实用新型实施例侧视的结构示意图；
31.图4是本实用新型实施例仰视的结构示意图；
32.图5是本实用新型实施例平面的结构示意图。
33.附图标记说明：
34.1、箱体；2、箱门；3、控制面板；4、观察橱窗；5、传送带；6、传动辊； 7、传送电机；8、吸尘器；9、收集箱；10、调节支架；11、滑槽；12、滑块； 13、纵向螺杆；14、纵向调节电机；15、皮带轮；16、皮带；17、切割支架； 18、横向螺杆；19、横向调节电机；20、激光切割头；21、高精度摄像头；22、照明灯。
具体实施方式
35.下面结合附图对本实用新型的实施例作进一步说明。
36.实施例：
37.如图1-5所示，适应范围广的晶圆激光切割装置，包括箱体1、吸尘器8和调节支架10，箱体1的内部设有调节支架10，调节支架10的底部设有滑块12，箱体1的内部底端两侧设有滑槽11，滑块12穿过滑槽11并延伸至滑槽11的底部，滑槽11的底部设有纵向螺杆13，纵向螺杆13的两端通过轴承与箱体1的内部活动连接，箱体1的底部一侧设有纵向调节电机14，纵向调节电机14的输出轴端设有皮带轮15，纵向螺杆13的一端也设有皮带轮15，两个的皮带轮15 之间设有皮带16，调节支架10的顶端一侧设有切割支架17，调节支架10的顶端内部设有横向螺杆18，横向螺杆18与切割支架17螺旋连接，调节支架10的顶端一侧设有横向调节电机19，横向调节电机19与横向螺杆18之间通过设有的皮带16和皮带轮15进行活动连
接。
38.上述技术方案的工作原理如下：
39.通过设有的纵向调节电机14，配合皮带16和皮带轮15，来控制纵向螺杆 13的转动，由于纵向螺杆13与滑块12之间为螺旋连接，从而实现滑块12的移动性，使其能够沿着纵向螺杆13的轨迹进行移动，提高其移动性，使其在滑槽 11内进行滑动，在通过设有的横向调节电机19，来带动横向螺杆18转动，从而使得切割支架17在横向螺杆18的轨迹上移动，通过将纵向螺杆13与横向螺杆18同时运行，在带动调节支架10移动的同时，还能够使得切割支架17进行横向移动，从而实现切割的灵活性，同时提高了切割的精准度，使其能够适用于对各种尺寸晶圆的切割加工，大大提高了设备的实用性。
40.在另外一个实施例中，如图5所示，箱体1的一侧设有箱门2，箱门2的内侧底端设有吸尘器8,吸尘器8通过安装螺丝固定安装于箱门2的内侧底端，箱体1的底部一侧设有收集箱9，收集箱9通过设有的导管与吸尘器8进行密封连通，收集箱9通过安装螺丝固定安装于箱体1的底部一侧。
41.通过设有的吸尘器8，在对晶圆进行传输时，由吸尘器8来先对晶圆表面可能存在的灰尘杂质进行吸收清除，并通过设有的导管将吸收的杂质输送到收集箱9的内部，对其进行集中收集，防止直接排放出去，对设备的内部造成二次污染，从而使的晶圆表面保持整洁，防止表面可能存在的杂质对切割工作造成影响，提高加工精度。
42.在另外一个实施例中，如图3所示，箱门2的一侧设有控制面板3，控制面板3通过镶嵌的方式固定安装于箱门2的外部一侧，箱门2的中心位置设有观察橱窗4，观察橱窗4为钢化玻璃材质。
43.通过设有的控制面板3，来实现对设备的操控，提高设备的操作性，从而保证设备在切割时的精准度，通过设有的观察橱窗4，来实现对箱体1内部的观察，方便工作人员对加工精度的掌握。
44.在另外一个实施例中，如图5所示，箱体1的内部设有传送带5，传送带5 的内部设有传动辊6，传送带5的内壁与传动辊6的表面紧密接触，传动辊6的一端设有齿轮，箱体1的底部设有传送电机7，传送电机7的输出轴端通过齿轮与传动辊6进行活动连接。
45.通过设有的传送带5，在传送电机7的带动下，带动传动辊6进行转动，由传动辊6来带动传送带5进行转动，从而来实现对晶圆的传送，使其能够稳定的进入到设备的内部。
46.在另外一个实施例中，如图1所示，切割支架17的底部设有激光切割头20，激光切割头20通过设有的安装螺丝固定安装于切割支架17的底部中心位置，激光切割头20设置于传送带5的顶部。
47.通过设有的激光切割头20，在调节支架10和切割支架17的带动下，来实现对晶圆的切割，使其能够高效的对传送带5上的晶圆进行切割，从而提高加工效率。
48.在另外一个实施例中，如图1所示，切割支架17的底端设有两个高精度摄像头21，高精度摄像头21通过设有的安装螺丝固定安装于切割支架17的底端两侧，高精度摄像头21的镜头对准激光切割头20的底端。
49.通过设有的高精度摄像头21，在对晶圆进行加工，能够通过控制面板3上的显示屏清楚的观察到激光切割头20的切割轨迹，从而保证了激光切割头20 的切割精度。
50.在另外一个实施例中，如图2所示，箱体1的顶部四周设有照明灯22，照明灯22通过
设有的安装灯座固定安装于箱体1的顶部四周。
51.通过设有的照明灯22，方便高精度摄像头21的运行，对激光切割头20进行拍摄，使其能够在显示屏上呈现出高清画面，从而方便工作人员对其进行观察和操作，有效的提高设备加工精度。
52.以上实施例仅表达了本实用新型的具体实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。