一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置的制作方法

本发明涉及锑化镓晶片加工，具体为一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置。

背景技术：

1、gasb基材料制造的器件除了在光纤通信中有巨大的潜在应用价值外，在其他领域也有很大的潜在应用价值，如制作多种用途的红外探测器件及火箭和监视系统中的红外成像器件，用于火灾报警和环境污染检测的传感器，监测工厂中腐蚀气体(如hcl等)和有毒气体的泄漏的传感器等。

2、在对锑化镓晶片进行加工生产时，会需要通过加工抛光装置对锑化镓晶片表面进行抛光操作，以满足锑化镓晶片后续生产加工的需要，达到对锑化镓晶片充分使用的效果，和起到提高锑化镓晶片使用质量和精度的作用。

3、现有公开号为cn109500674a的中国专利申请，其公开了一种带除尘功能且切削量可调的锑化镓单晶片打磨设备。包括底座，其左上端设置有柜体，柜体上端设置有第一直线导轨，第一直线导轨上安装有滑块，滑块与推进机构连接，滑块上端安装有侧面打磨机构；底座右上端设置有支撑座，支撑座上设置有第二直线导轨，第二直线导轨上安装有升降座，升降座与升降机构连接实现上下升降，升降座上设置有第二电机，第二电机输出轴连接真空吸盘，锑化镓单晶片安装在真空吸盘上；它还包括吸尘装置，该发明结构简单，自动化程度高，能够对2-5mm厚的锑化镓单晶片进行快速夹装和对锑化镓单晶片侧面进行快速打磨，且对于锑化镓单晶片侧面的切削量可以进行快速调节，提高打磨效率和打磨效果，同时打磨过程产生的粉尘可以被吸尘装置吸收，保护了周边的生产环境。

4、现有公开号为cn112077691b的中国专利申请，其公开了一种锑化镓单晶片的抛光方法，包括如下步骤；1)对锑化镓单晶片进行双面磨削，去除锑化镓单晶片表面的损伤；2)对磨削后的锑化镓单晶片采用抛光布配合抛光液进行化学机械抛光；3)对化学机械抛光后的锑化镓单晶片进行取片清洗，该发明通过对抛光液的组分和含量，以及与之配合的抛光布进行选择优化，实现了锑化镓单晶片抛光的一步成型，无需经过粗抛、中抛、精抛三步抛光，工艺简单，稳定性好，且锑化镓单晶片抛光后表面质量高，无划痕和起雾的缺陷，表面粗糙度低，可达到粗糙度值ra小于0.15nm。

5、然而，该加工平台在具体使用时存在以下缺陷：

6、1、现有的抛光装置在对锑化镓单晶片进行抛光时，虽可以对锑化镓单晶片进行较好的抛光加工操作，但是在将锑化镓单晶片放置到抛光盘上进行抛光加工时，对于限位盘的使用尺寸卡合拆装便捷性不高，使得在对不同数量的锑化镓单晶片进行打磨抛光时，会造成放置盘的限位效果不稳固，降低对锑化镓单晶表面抛光精度的情况，且对于抛光盘表面杂质同步清理效果不高，使得后续的锑化镓单晶片进行放置抛光时，会加大对锑化镓单晶片抛光的时间，降低锑化镓单晶片抛光效率的情况；

7、2、现有的抛光装置在对锑化镓单晶片进行抛光加工时，往往需要操作人员手动加工抛光液再对抛光液进行添加操作，对于抛光液加注到搅拌桶内后自动搅拌使用效果不高，且在对搅拌桶进行长时间使用时，对于搅拌桶内壁粘附的抛光液同步刮除清理效果不高，造成对抛光液浪费，进而加大对抛光液的使用成本，并增加工作人员手动搅拌抛光液的工作量，降低工作人员的施工效率。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述发明目的，本发明采用如下技术方案：

3、本发明提供的一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置，包括装置主体、抛光盘、搅拌桶、连接泵口、连接头、输送管、连接架、放置盘、晶片主体、限位盘、压板、定位板和调节机构，所述装置主体的外壁旋转连接有抛光盘，所述装置主体的外壁固定连接有搅拌桶，所述连接泵口设置于搅拌桶的顶部，所述连接泵口的内壁可拆卸连接有连接头，所述连接头的外壁固定连接有输送管，所述装置主体的外壁固定连接有套接于输送管外壁的连接架，所述放置盘放置于抛光盘的表面，所述放置盘的底部设置有晶片主体，所述放置盘的外壁套接有限位盘，所述限位盘的内壁放置有与放置盘顶部相贴合的压板，所述限位盘的内壁放置有位于压板上方的定位板；

4、所述调节机构包括有：

5、滑动组件，所述装置主体的外壁旋转连接有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆的一端固定连接有第一旋钮，所述第一螺纹杆的外壁螺纹连接有与装置主体外壁滑动连接的移动杆，所述装置主体的外壁与移动杆的连接部位开设有滑槽；

6、升降组件，所述移动杆的外壁旋转连接有第二螺纹杆，所述第二螺纹杆的一端固定连接有第二旋钮，所述第二螺纹杆的外壁螺纹连接有与移动杆外壁滑动连接的升降块，所述移动杆的外壁与升降块的连接部位开设有固定槽，所述升降块的外壁旋转连接有衔接块，所述衔接块的外壁卡合连接有调节盘；

7、其中，所述调节盘的两端旋转连接有与放置盘外壁相贴合的辅助轮。

8、作为本发明的优选方案，所述搅拌桶的顶部开设有加注口，所述连接头的外壁设置有外螺旋，所述连接泵口的内壁与外螺旋的连接部位设置有内螺旋；

9、其中，所述外螺旋与内螺旋之间为螺纹连接，所述衔接块的外壁设置有安装机构，所述装置主体的外壁设置有位于抛光盘一侧的清理机构，所述搅拌桶的内壁设置有搅拌机构。

10、作为本发明的优选方案，所述安装机构包括有：

11、安装盒，所述衔接块的外壁固定连接有安装盒，所述调节盘的外壁固定连接有与安装盒外壁滑动连接的插杆，所述插杆的外壁卡合连接有卡块，所述卡块的外壁固定连接有与安装盒外壁滑动连接的伸缩杆，所述伸缩杆的外壁套接有与安装盒内壁固定连接的第一弹簧；

12、转动杆，所述卡块的外壁旋转连接有转动杆，所述转动杆的一端旋转连接有连接杆，所述连接杆的底部固定连接有与安装盒内壁固定连接的第二弹簧，所述连接杆的顶部固定连接有与安装盒外壁滑动连接的拉杆；

13、插块，所述调节盘的底部固定连接有与衔接块外壁滑动连接的插块，所述衔接块的外壁与插块的连接部位开设有插槽。

14、作为本发明的优选方案，所述插杆和卡块的挤压部位呈圆弧状，所述卡块和伸缩杆均设置有两组，两组所述卡块和伸缩杆的位置分布均关于插杆的中心轴相对称；

15、其中，所述第一弹簧的一端与安装盒的内壁之间为固定连接，且第一弹簧的另一端与卡块的外壁之间为固定连接。

16、作为本发明的优选方案，所述转动杆通过卡块与连接杆之间构成转动结构，所述转动杆设置有两组，两组所述转动杆的位置分布关于连接杆的中心轴相对称。

17、作为本发明的优选方案，所述清理机构包括有：

18、固定杆，所述固定杆的外壁旋转连接有第三螺纹杆，所述第三螺纹杆的一端固定连接有第三旋钮，所述第三螺纹杆的外壁螺纹连接有与固定杆外壁滑动连接的升降杆，所述固定杆的外壁与升降杆的连接部位开设有限位槽；

19、第四螺纹杆，所述升降杆的侧壁旋转连接有第四螺纹杆，所述第四螺纹杆的一端固定连接有伺服电机，所述第四螺纹杆的外壁螺纹连接有与升降杆侧壁伸缩连接的延伸杆，所述升降杆的侧壁与延伸杆的连接部位开设有伸缩槽，所述延伸杆的一端固定连接有清理刮板。

20、作为本发明的优选方案，所述升降杆通过第三螺纹杆与限位槽之间构成升降结构，所述清理刮板通过升降杆与限位槽之间构成升降结构；

21、其中，所述清理刮板通过第四螺纹杆和延伸杆与伸缩槽之间构成伸缩结构。

22、作为本发明的优选方案，所述搅拌机构包括有：

23、驱动电机，所述装置主体的外壁固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定连接有与搅拌桶内壁旋转连接的转轴，所述转轴的外壁固定连接有连接块，所述连接块的外壁固定连接有与搅拌桶内壁相贴合的固定刮板；

24、伸缩块，所述连接块的外壁滑动连接有伸缩块，所述伸缩块的外壁旋转连接有摆动杆，所述摆动杆的一端旋转连接有与固定刮板内壁滑动连接的伸缩刮板，所述伸缩刮板的底部固定连接有与固定刮板内壁滑动连接的顶升杆。

25、作为本发明的优选方案，所述伸缩块通过微型防潮电动推动进行驱动，所述固定刮板和伸缩刮板的外壁轮廓均呈圆柱状；

26、其中，所述摆动杆和伸缩刮板均设置有两组，两组所述摆动杆和伸缩刮板的位置分布均关于固定刮板的中心轴相对称。

27、作为本发明的优选方案，所述顶升杆通过伸缩块和摆动杆与固定刮板之间构成伸缩结构，所述固定刮板的内壁与顶升杆的连接部位开设有连接槽。

28、与现有技术相比，以上一个或多个技术方案存在以下有益效果：

29、1、该一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置，当在通过抛光加工装置对锑化镓晶片表面进行抛光加工时，为了提高对不同外壁轮廓的放置盘外壁限位的稳定性，达到对不同数量锑化镓晶片旋转抛光稳定性的效果，可以根据限位盘与放置盘外壁贴合轮廓的需要，拉动拉杆通过连接杆的连接，带动第二弹簧进行同步拉伸运动，并通过转动杆的转动连接，带动与伸缩杆固定连接的卡块往安装盒的外壁滑动，并对第一弹簧进行挤压运动，使得卡块与插杆之间不接触，并在插杆的连接下，使得限位盘从安装盒内拔出，并使得插块沿插槽的内壁同步拔出，达到对不同外壁轮廓直径的限位盘卡合拆装便捷性的效果，起到对不同数量的锑化镓晶片抛光限位稳定性的作用；

30、2、该一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置，当在通过抛光装置对锑化镓晶片表面进行加工生产时，为了提高抛光盘在长时间旋转抛光加工后，对于抛光盘表面杂质清理的便捷性，防止后续的锑化镓晶片放置到抛光盘上时吸附杂质，加大锑化镓晶片表面抛光繁琐性的情况，可以定期转动第三旋钮通过第三螺纹杆的旋转运动，带动升降杆沿限位槽的内壁滑动，升降杆的滑动带动清理刮板与抛光盘的表面相贴合，并在抛光盘的旋转运动下，带动清理刮板对抛光盘表面的杂质进行清理运动，同时，可以打开伺服电机通过第四螺纹杆的转动，带动清理刮板进行伸缩运动，起到对抛光盘表面全方位旋转清理的作用，达到提高对后续锑化镓晶片表面抛光清洁度的效果；

31、3、该一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置，当在通过搅拌桶对抛光液进行添加储存使用时，为了提高抛光液在搅拌桶内自动添加搅拌的便捷性，可以将抛光液从加注口处添加后，打开驱动电机通过转轴的连接，带动与连接块固定连接的固定刮板进行同步旋转运动，同时，带动摆动杆进行同步沿转轴的旋转中心进行旋转运动，达到对搅拌桶内添加的抛光液进行自动搅拌的效果，起到提高工作人员工作效率的作用；

32、4、该一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置，当在通过搅拌桶对抛光液进行添加储存使用时，为了提高搅拌桶内壁吸附的抛光液同步刮除清理的效果，可以驱动伸缩块沿连接块的外壁滑动，伸缩块的滑动通过摆动杆的转动，带动与顶升杆固定连接的伸缩刮板沿固定刮板的端部进行伸缩运动，达到对搅拌桶内壁刮除范围有效调节的效果，同时，起到对搅拌桶吸附到抛光液充分使用的作用。

技术特征：

1.一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置，包括装置主体(1)、抛光盘(2)、搅拌桶(3)、连接泵口(4)、连接头(5)、输送管(6)、连接架(7)、放置盘(8)、晶片主体(9)、限位盘(10)、压板(11)、定位板(12)和调节机构(21)，其特征在于：所述装置主体(1)的外壁旋转连接有抛光盘(2)，所述装置主体(1)的外壁固定连接有搅拌桶(3)，所述连接泵口(4)设置于搅拌桶(3)的顶部，所述连接泵口(4)的内壁可拆卸连接有连接头(5)，所述连接头(5)的外壁固定连接有输送管(6)，所述装置主体(1)的外壁固定连接有套接于输送管(6)外壁的连接架(7)，所述放置盘(8)放置于抛光盘(2)的表面，所述放置盘(8)的底部设置有晶片主体(9)，所述放置盘(8)的外壁套接有限位盘(10)，所述限位盘(10)的内壁放置有与放置盘(8)顶部相贴合的压板(11)，所述限位盘(10)的内壁放置有位于压板(11)上方的定位板(12)；

2.根据权利要求1所述的一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置，其特征在于：所述搅拌桶(3)的顶部开设有加注口(18)，所述连接头(5)的外壁设置有外螺旋(19)，所述连接泵口(4)的内壁与外螺旋(19)的连接部位设置有内螺旋(20)；

3.根据权利要求2所述的一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置，其特征在于：所述安装机构(15)包括有：

4.根据权利要求3所述的一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置，其特征在于：所述插杆(1502)和卡块(1503)的挤压部位呈圆弧状，所述卡块(1503)和伸缩杆(1504)均设置有两组，两组所述卡块(1503)和伸缩杆(1504)的位置分布均关于插杆(1502)的中心轴相对称；

5.根据权利要求3所述的一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置，其特征在于：所述转动杆(1506)通过卡块(1503)与连接杆(1507)之间构成转动结构，所述转动杆(1506)设置有两组，两组所述转动杆(1506)的位置分布关于连接杆(1507)的中心轴相对称。

6.根据权利要求2所述的一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置，其特征在于：所述清理机构(16)包括有：

7.根据权利要求6所述的一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置，其特征在于：所述升降杆(1604)通过第三螺纹杆(1602)与限位槽(1605)之间构成升降结构，所述清理刮板(1610)通过升降杆(1604)与限位槽(1605)之间构成升降结构；

8.根据权利要求2所述的一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置，其特征在于：所述搅拌机构(17)包括有：

9.根据权利要求8所述的一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置，其特征在于：所述伸缩块(1706)通过微型防潮电动推动进行驱动，所述固定刮板(1704)和伸缩刮板(1708)的外壁轮廓均呈圆柱状；

10.根据权利要求8所述的一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置，其特征在于：所述顶升杆(1705)通过伸缩块(1706)和摆动杆(1707)与固定刮板(1704)之间构成伸缩结构，所述固定刮板(1704)的内壁与顶升杆(1705)的连接部位开设有连接槽。

技术总结
本发明公开了一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置，涉及锑化镓晶片加工技术领域，解决了在对锑化镓晶片进行抛光加工时，对于限位盘使用尺寸固定，对于限位盘卡合拆装更换便捷性不高，和对于抛光盘表面调节清理效果不高，及对于搅拌桶内的抛光液自动搅拌和自动刮除同步性不高的问题。该加工平台，包括装置主体、抛光盘、搅拌桶、连接泵口、连接头、输送管、连接架、放置盘、晶片主体、限位盘、压板、定位板和调节机构，所述装置主体的外壁旋转连接有抛光盘；在本发明中，可一次性完成对不同尺寸轮廓的限位盘卡合拆装更换，对于抛光盘表面杂质调节清理，和达到对于搅拌桶内的抛光液自动搅拌，和对搅拌桶内壁吸附的抛光液自动刮除搅拌的效果。

技术研发人员：赵勇,程波,程鹏,张帅镔
受保护的技术使用者：无锡晶名光电科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/12/5