双排加热设备的制作方法

本发明属于半导体加工，尤其涉及一种双排加热设备。

背景技术：

1、在将芯片或框架等半导体元件进行焊接过程中，经常会使用到加热炉来对产品进行加热，以确保焊料能够均匀的固化，实现半导体元件与电路板等基体的牢固连接，从而提高产品的性能和可靠性。但是现有的加热炉在使用时大多存在着工作效率低下的技术问题，严重影响了产品的生产效率。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种双排加热设备，旨在解决现有技术中加热炉在使用时存在的工作效率低下影响产品生产效率的技术问题。

2、本发明是这样实现的，一种双排加热设备，包括工作台、加热炉主体、上料装置、下料装置以及产品运输装置，所述加热炉主体设置于所述工作台上，且所述加热炉主体具有进料口与出料口，所述上料装置用于将产品运送至所述加热炉主体的进料口处，所述下料装置用于将加工后的产品从所述加热炉主体的出料口处运走，所述产品运输装置用于沿第一方向将产品从加热炉主体的进料口运输至加热炉主体的出料口，所述加热炉主体具有多个加热温区，多个加热温区沿第二方向并排设置，所述第二方向与所述第一方向相互垂直。

3、在一个可选实施例中，所述加热炉主体包括炉体以及开盖结构，所述炉体设置于所述工作台上，所述炉体上具有多个加热温区，所述开盖结构包括主盖体与直线驱动单元，所述主盖体盖设于炉体的上方且与所述炉体铰接，所述直线驱动单元具有本体部与驱动端，所述本体部用于铰接于所述炉体上，且所述驱动端铰接于所述主盖体上，所述直线驱动单元用于驱动所述主盖体绕铰接轴转动、以实现所述主盖体的打开或闭合。

4、在一个可选实施例中，所述主盖体具有相对设置的安装端与自由端，所述安装端用于铰接于所述炉体，所述主盖体上设置有翻转件，所述翻转件的第一端连接于所述主盖体，所述翻转件的第二端凸出所述安装端，所述直线驱动单元的驱动端与所述翻转件的第二端铰接。

5、在一个可选实施例中，所述加热炉主体还包括用于冷却产品的冷却装置，所述冷却装置包括第一冷却块、第二冷却块、总进水管道、总出水管道、分进水管组以及分出水管组，所述第一冷却块与所述第二冷却块用于设置在炉体的不同加热温区内，所述第一冷却块内具有第一冷却通道，所述第二冷却块内具有第二冷却通道，所述分进水管组用于将所述第一冷却通道以及所述第二冷却通道与所述总进水管道并联，所述分出水管组用于将所述第一冷却通道以及所述第二冷却通道与所述总出水管道并联。

6、在一个可选实施例中，所述产品运输装置包括第一拉绳架、第二拉绳架、运输拉绳、升降驱动机构以及水平驱动结构，在沿所述第一方向上，所述第一拉绳架与所述第二拉绳架位于所述加热炉主体的两侧，所述运输拉绳的数量为多个，多个所述运输拉绳沿第二方向间隔设置，且均连接于所述第一拉绳架与第二拉绳架之间，所述运输拉绳从所述加热炉主体中穿过，所述加热炉主体的支撑底面上设置有用于容纳所述运输拉绳的容纳凹槽，所述升降驱动机构用于驱动所述第一拉绳架以及第二拉绳架同步升降，所述水平驱动结构用于驱动所述第一拉绳架以及第二拉绳架同步平移。

7、在一个可选实施例中，所述水平驱动结构包括水平滑动底座以及水平驱动单元，所述第一拉绳架以及所述第二拉绳架均设置于所述水平滑动底座，且所述水平滑动底座滑动设置于所述工作台上，所述水平驱动单元用于驱动所述水平滑动底座沿所述第一方向往复运动。

8、在一个可选实施例中，所述第一拉绳架以及所述第二拉绳架均相对于所述水平滑动底座具有沿竖直方向运动的自由度，所述升降驱动机构包括第一凸轮组、第二凸轮组以及转动驱动单元，所述第一凸轮组以及第二凸轮组均转动设置于所述水平滑动底座上，且所述第一凸轮组位于所述第一拉绳架的下方，且与所述第一拉绳架的底面滑动抵接，所述第二凸轮组位于所述第二拉绳架的下方，且与所述第二拉绳架的底面滑动抵接，且所述转动驱动单元用于驱动所述第一凸轮组以及所述第二凸同步转动。

9、在一个可选实施例中，所述上料装置包括滑道、第一限位组、第二限位组以及推动结构，所述第一限位组具有工作状态以及避让状态，当所述第一限位组处于工作状态时，所述第一限位组的至少部分阻挡于所述产品的运动路径上，且所述第一限位组处于避让状态时，所述第一限位组避让所述产品的运动路径，在沿所述第一方向上，所述第一限位组与所述第二限位组依次间隔设置，所述第二限位组也具有工作状态与避让状态，当所述第二限位组处于工作状态时，所述第二限位组的至少部分阻挡于所述产品的运动路径上，所述第二限位组处于避让状态时，所述第二限位组避让所述产品的运动路径，所述推动结构具有第一推动端与第二推动端，所述第一推动端与所述第二推动端在沿所述第一方向上相互间隔设置，所述第一推动端以及所述第二推动端用于推动两个产品沿所述滑道的长度方向同步滑动。

10、在一个可选实施例中，所述上料装置还包括用于检测所述产品的位置的第一感应部以及第二感应部，且在沿所述第一方向上，所述第一感应部位于所述第一限位组背离所述第二限位组的一侧，所述第二感应部位于所述第一限位组与所述第二限位组之间的区域内。

11、在一个可选实施例中，所述推动结构包括推动支架、移动滑块以及推动件，所述第一推动端与所述第二推动端均位于所述推动件上，所述移动滑块滑动设置于所述推动支架上，所述移动滑块相对于所述推动支架具有沿所述第一方向的自由度，所述推动件滑动设置于所述移动滑块上，所述推动件相对于所述移动滑块具有沿竖直方向上的自由度。

12、本发明相对于现有技术的技术效果是：通过在工作台上设置有加热炉主体用以对产品进行加热，加热炉主体具有多个加热温区，同时在加热炉主体的进料口处设置有上料装置，在加热炉主体的出料口处设置有下料装置，同时在工作台上还设置有产品运输装置。与现有技术中的加热设备相比，在进行工作时可以通过上料装置将产品运送到加热炉主体的进料口处，然后通过产品运输装置将产品沿第一方向进行运输，使产品可以从加热炉主体的内部通过，并在产品从加热炉主体内通过时可以对产品进行加热，最后通过下料装置将加热后的产品从加热炉主体的出料口处运走。通过在加热炉主体具有多个加热温区，且多个加热温区沿第二方向并排设置，且第二方向与第一方向相互垂直，使加热炉可以同时对多组产品进行加热，同时与上料装置、下料装置以及产品运输装置进行配合，可实现产品的自动运输，提高了加热设备的工作效率。

技术特征：

1.一种双排加热设备，其特征在于，包括工作台、加热炉主体、上料装置、下料装置以及产品运输装置，所述加热炉主体设置于所述工作台上，且所述加热炉主体具有进料口与出料口，所述上料装置用于将产品运送至所述加热炉主体的进料口处，所述下料装置用于将加工后的产品从所述加热炉主体的出料口处运走，所述产品运输装置用于沿第一方向将产品从所述加热炉主体的进料口运输至所述加热炉主体的出料口，所述加热炉主体具有多个加热温区，多个加热温区沿第二方向并排设置，所述第二方向与所述第一方向相互垂直。

2.如权利要求1所述的双排加热设备，其特征在于，所述加热炉主体包括炉体以及开盖结构，所述炉体设置于所述工作台上，所述炉体上具有多个加热温区，所述开盖结构包括主盖体与直线驱动单元，所述主盖体盖设于炉体的上方且与所述炉体铰接，所述直线驱动单元具有本体部与驱动端，所述本体部用于铰接于所述炉体上，且所述驱动端铰接于所述主盖体上，所述直线驱动单元用于驱动所述主盖体绕铰接轴转动、以实现所述主盖体的打开或闭合。

3.如权利要求2所述的双排加热设备，其特征在于，所述主盖体具有相对设置的安装端与自由端，所述安装端用于铰接于所述炉体，所述主盖体上设置有翻转件，所述翻转件的第一端连接于所述主盖体，所述翻转件的第二端凸出所述安装端，所述直线驱动单元的驱动端与所述翻转件的第二端铰接。

4.如权利要求2所述的双排加热设备，其特征在于，所述加热炉主体还包括用于冷却产品的冷却装置，所述冷却装置包括第一冷却块、第二冷却块、总进水管道、总出水管道、分进水管组以及分出水管组，所述第一冷却块与所述第二冷却块用于设置在炉体的不同加热温区内，所述第一冷却块内具有第一冷却通道，所述第二冷却块内具有第二冷却通道，所述分进水管组用于将所述第一冷却通道以及所述第二冷却通道与所述总进水管道并联，所述分出水管组用于将所述第一冷却通道以及所述第二冷却通道与所述总出水管道并联。

5.如权利要求1所述的双排加热设备，其特征在于，所述产品运输装置包括第一拉绳架、第二拉绳架、运输拉绳、升降驱动机构以及水平驱动结构，在沿所述第一方向上，所述第一拉绳架与所述第二拉绳架位于所述加热炉主体的两侧，所述运输拉绳的数量为多个，多个所述运输拉绳沿第二方向间隔设置，且均连接于所述第一拉绳架与第二拉绳架之间，所述运输拉绳从所述加热炉主体中穿过，所述加热炉主体的支撑底面上设置有用于容纳所述运输拉绳的容纳凹槽，所述升降驱动机构用于驱动所述第一拉绳架以及第二拉绳架同步升降，所述水平驱动结构用于驱动所述第一拉绳架以及第二拉绳架同步平移。

6.如权利要求5所述的双排加热设备，其特征在于，所述水平驱动结构包括水平滑动底座以及水平驱动单元，所述第一拉绳架以及所述第二拉绳架均设置于所述水平滑动底座，且所述水平滑动底座滑动设置于所述工作台上，所述水平驱动单元用于驱动所述水平滑动底座沿所述第一方向往复运动。

7.如权利要求6所述的双排加热设备，其特征在于，所述第一拉绳架以及所述第二拉绳架均相对于所述水平滑动底座具有沿竖直方向运动的自由度，所述升降驱动机构包括第一凸轮组、第二凸轮组以及转动驱动单元，所述第一凸轮组以及第二凸轮组均转动设置于所述水平滑动底座上，且所述第一凸轮组位于所述第一拉绳架的下方，且与所述第一拉绳架的底面滑动抵接，所述第二凸轮组位于所述第二拉绳架的下方，且与所述第二拉绳架的底面滑动抵接，且所述转动驱动单元用于驱动所述第一凸轮组以及所述第二凸同步转动。

8.如权利要求1所述的双排加热设备，其特征在于，所述上料装置包括滑道、第一限位组、第二限位组以及推动结构，所述第一限位组具有工作状态以及避让状态，当所述第一限位组处于工作状态时，所述第一限位组的至少部分阻挡于所述产品的运动路径上，且所述第一限位组处于避让状态时，所述第一限位组避让所述产品的运动路径，在沿所述第一方向上，所述第一限位组与所述第二限位组依次间隔设置，所述第二限位组也具有工作状态与避让状态，当所述第二限位组处于工作状态时，所述第二限位组的至少部分阻挡于所述产品的运动路径上，所述第二限位组处于避让状态时，所述第二限位组避让所述产品的运动路径，所述推动结构具有第一推动端与第二推动端，所述第一推动端与所述第二推动端在沿所述第一方向上相互间隔设置，所述第一推动端以及所述第二推动端用于推动两个产品沿所述滑道的长度方向同步滑动。

9.如权利要求8所述的双排加热设备，其特征在于，所述上料装置还包括用于检测所述产品的位置的第一感应部以及第二感应部，且在沿所述第一方向上，所述第一感应部位于所述第一限位组背离所述第二限位组的一侧，所述第二感应部位于所述第一限位组与所述第二限位组之间的区域内。

10.如权利要求9所述的双排加热设备，其特征在于，所述推动结构包括推动支架、移动滑块以及推动件，所述第一推动端与所述第二推动端均位于所述推动件上，所述移动滑块滑动设置于所述推动支架上，所述移动滑块相对于所述推动支架具有沿所述第一方向的自由度，所述推动件滑动设置于所述移动滑块上，所述推动件相对于所述移动滑块具有沿竖直方向上的自由度。

技术总结
本发明适用于半导体加工技术领域，提供了一种双排加热设备，上述双排加热设备包括工作台、加热炉主体、上料装置、下料装置以及产品运输装置。在进行工作时可以通过上料装置将产品运送到加热炉主体的进料口处，然后通过产品运输装置将产品沿第一方向进行运输，在产品从加热炉主体内通过时可以对产品进行加热，最后通过下料装置将加热后的产品从加热炉主体的出料口处运走。并且通过在加热炉主体具有多个加热温区，多个加热温区沿第二方向并排设置，且第二方向与第一方向相互垂直，使加热炉可以同时对多组产品进行加热，同时与上料装置、下料装置以及产品运输装置进行配合，可以实现产品的自动运输，提高了加热设备的工作效率。

技术研发人员：方俊杰,张燕
受保护的技术使用者：中山市新益昌自动化设备有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/12/5