一种超硬平面靶材的切割设备的制作方法

本发明涉及靶材加工设备，具体是一种超硬平面靶材的切割设备。

背景技术：

1、靶材，也称为溅射靶材，是一种在物理气相沉积(pvd)技术中使用的关键材料，它在半导体、平板显示、太阳能电池、记录媒体等领域中有着广泛的应用。靶材通常由高纯度的金属、合金或陶瓷化合物制成，其纯度、尺寸和微观结构对薄膜的性能有着决定性的影响。靶材的种类繁多，可以根据形状、化学成分和应用领域进行分类。常见的靶材包括铜、铝、钼和i to(掺锡氧化铟)等。它们可以是平面的，也可以是旋转的，以提高溅射过程中的效率和均匀性。靶材的制备过程包括原料选择、熔炼混合、热处理、冷变形与退火、机加工和质量检验等步骤。

2、靶材在加工过程中需要对其进行切割，在对超硬平面靶材切割过程中需要添加冷却液，现有技术一种超硬平面靶材的切割设备(专利申请号：201820425811.x)，包括机架、切割装置和装夹平台，切割装置和装夹平台分别固定于机架的上部，该切割装置设置有替换使用的钼线、驱动轮和若干引导轮，钼线顺次、循环且紧张缠绕于驱动轮和引导轮，其中择选的两个引导轮之间形成一切割部，用于切割夹放于装夹平台的平面靶材，驱动轮传动连接有一用于带动钼线作循环运动的驱动电机，驱动电机固定于机架或切割装置，钼线和平面靶材之间进行相对摩擦作用或者腐蚀作用，能够对质脆且硬度高的平面靶材进行顺滑的切割，其不能够对冷却液进行回收利用，为了接解决该技术问题现提出一种超硬平面靶材的切割设备。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种超硬平面靶材的切割设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

3、一种超硬平面靶材的切割设备，包括：设备主体，所述设备主体内部设置有线切割装置；

4、设置在设备主体上的安装平台，所述安装平台用于对平面靶材进行夹紧和输送；

5、和冷却液回收装置，所述冷却液回收装置包括积液槽、过滤回收装置、给液喷头和输送系统；所述积液槽设置在设备主体上，所述积液槽内部设置有过滤回收装置，所述给液喷头设置在设备主体上用于向线切割装置提供冷却液；所述输送系统的输入端与积液槽内部连通，所述输送系统的输出端与给液喷头的输入端连通；

6、其中，所述过滤回收装置包括箱体，所述箱体内部设置有腔室，所述箱体顶部设置有进水口，所述箱体内部设置有倒水桶和过滤网，所述倒水桶转动安装在箱体内部侧壁上；所述过滤网设置在倒水桶的下方；所述过滤网为圆形结构且顶部凸起设置，所述过滤网外侧抵触在箱体内壁上；所述箱体内部设置有收渣槽，所述收渣槽布置过滤网外侧；所述过滤网轴向转动安装在箱体中；所述箱体底部排液口中设置液动组件，所述液动组件单向转动安装在排液口中，且所述液动组件与过滤网之间设置蓄能机构；还包括设置限位机构，所述限位机构用于在过滤网处于低位时限制其转动。

7、作为本发明再进一步的方案：所述收渣槽底部设置有排水阀。

8、作为本发明再进一步的方案：限位机构包括固定安装在箱体内部的第二安装环，所述过滤网底部设置有第一安装环，所述第一安装环与第二安装环同心设置，所述第一安装环设置在第二安装环内部，所述第二安装环外侧对称设置有第一限位杆，所述第一限位杆沿着第一安装环径向弹性设置在第一安装环中，且第一限位杆一端外漏设置；所述第二安装环内壁上设置有若干条状限位槽，所述第二安装环内壁上还设置有导向环形槽，所述导向环形槽设置在条状限位槽的上方设置。

9、作为本发明再进一步的方案：所述条状限位槽不少于两个设置。

10、作为本发明再进一步的方案：所述积液槽顶部开口位置设置有初级过滤网。

11、作为本发明再进一步的方案：所述第二安装环内侧还设置有限位台阶，所述限位台阶下端抵触在第一安装环上的向内收缩的台阶上。

12、作为本发明再进一步的方案：所述液动组件包括支撑环和阵列布置在支撑环内部的若干轴流叶片，所述支撑环中间位置设置有中心轴，若干轴流叶片靠近中心轴一端均固定安装在中心轴上，若干轴流叶片靠近支撑环一端均固定安装在支撑环上。

13、作为本发明再进一步的方案：所述第二限位杆弹性滑动设置在支撑环上，所述排液口中固定安装有第三安装环，所述第三安装环套设在支撑环外侧，所述第三安装环内侧阵列设置有不少于两个单向限位条形槽，所述第二限位杆一端设置在相邻的单向限位条形槽中；所述单向限位条形槽一侧设置有导向结构。

14、作为本发明再进一步的方案：蓄能机构包括弹性转动套设在支撑环外侧的转动环，所述转动环与支撑环之间设置有蓄能组件，所述第一安装环上下弹性安装在转动环上。

15、作为本发明再进一步的方案：所述蓄能机构还包括竖直固定安装在转动环上的若干第二支杆，所述第一安装环下端上下弹性安装在第二支杆上。

16、与现有技术相比，本发明的有益效果是：通过过滤回收装置实现了对冷却液的回收利用，更加环保；设置通过设置过滤网、限位机构和液动组件等机构，实现了过滤网的自动清理，提高了过滤效率，不需要对过滤网定期进行拆卸清理，食用更加方便；通过设置倒水桶能够为过滤网转动提供足够的能量。

技术特征：

1.一种超硬平面靶材的切割设备，包括：设备主体(10)，所述设备主体(10)内部设置有线切割装置；

2.根据权利要求1所述的一种超硬平面靶材的切割设备，其特征在于，所述收渣槽(307)底部设置有排水阀(332)。

3.根据权利要求1所述的一种超硬平面靶材的切割设备，其特征在于，限位机构包括固定安装在箱体(333)内部的第二安装环(315)，所述过滤网(306)底部设置有第一安装环(310)，所述第一安装环(310)与第二安装环(315)同心设置，所述第一安装环(310)设置在第二安装环(315)内部，所述第二安装环(315)外侧对称设置有第一限位杆(316)，所述第一限位杆(316)沿着第一安装环(310)径向弹性设置在第一安装环(310)中，且第一限位杆(316)一端外漏设置；所述第二安装环(315)内壁上设置有若干条状限位槽(327)，所述第二安装环(315)内壁上还设置有导向环形槽(329)，所述导向环形槽(329)设置在条状限位槽(327)的上方设置。

4.根据权利要求3所述的一种超硬平面靶材的切割设备，其特征在于，所述条状限位槽(327)不少于两个设置。

5.根据权利要求2所述的一种超硬平面靶材的切割设备，其特征在于，所述积液槽(301)顶部开口位置设置有初级过滤网。

6.根据权利要求3所述的一种超硬平面靶材的切割设备，其特征在于，所述第二安装环(315)内侧还设置有限位台阶(328)，所述限位台阶(328)下端抵触在第一安装环(310)上的向内收缩的台阶上。

7.根据权利要求6所述的一种超硬平面靶材的切割设备，其特征在于，所述液动组件(309)包括支撑环(311)和阵列布置在支撑环(311)内部的若干轴流叶片(312)，所述支撑环(311)中间位置设置有中心轴，若干轴流叶片(312)靠近中心轴一端均固定安装在中心轴上，若干轴流叶片(312)靠近支撑环(311)一端均固定安装在支撑环(311)上。

8.根据权利要求7所述的一种超硬平面靶材的切割设备，其特征在于，所述支撑环(311)外侧设置有不少于两个第二限位杆(324)，所述第二限位杆(324)弹性滑动设置在支撑环(311)上，所述排液口(334)中固定安装有第三安装环(322)，所述第三安装环(322)套设在支撑环(311)外侧，所述第三安装环(322)内侧阵列设置有不少于两个单向限位条形槽(323)，所述第二限位杆(324)一端设置在相邻的单向限位条形槽(323)中；所述单向限位条形槽(323)一侧设置有导向结构。

9.根据权利要求8所述的一种超硬平面靶材的切割设备，其特征在于，所述蓄能机构包括弹性转动套设在支撑环(311)外侧的转动环(313)，所述转动环(313)与支撑环(311)之间设置有蓄能组件，所述第一安装环(310)上下弹性安装在转动环(313)上。

10.根据权利要求9所述的一种超硬平面靶材的切割设备，其特征在于，所述蓄能机构还包括竖直固定安装在转动环(313)上的若干第二支杆(317)，所述第一安装环(310)下端上下弹性安装在第二支杆(317)上。

技术总结
本发明适用于靶材加工设备技术领域，提供了一种超硬平面靶材的切割设备；包括：设备主体，所述设备主体内部设置有线切割装置；设置在设备主体上的安装平台，所述安装平台用于对平面靶材进行夹紧和输送；和冷却液回收装置，所述冷却液回收装置包括积液槽、过滤回收装置、给液喷头和输送系统；所述积液槽设置在设备主体上，所述积液槽内部设置有过滤回收装置，所述给液喷头设置在设备主体上用于向线切割装置提供冷却液；所述输送系统的输入端与积液槽内部连通，所述输送系统的输出端与给液喷头的输入端连通；本发明通过设置过滤网、限位机构和液动组件等机构，实现了过滤网的自动清理，提高了过滤效率，不需要对过滤网定期进行拆卸清理，食用更加方便；通过设置倒水桶能够为过滤网转动提供足够的能量。

技术研发人员：程平
受保护的技术使用者：安徽中晶新材料有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/12/5