本公开涉及光测定装置。
背景技术:
1、作为光学特性的测定方法之一,已知有波长扫描型的分光法。波长扫描型的分光器生成波长随时间变化的波长扫描光,并照射到检查对象上。波长扫描光是时间与波长为一对一的关系的脉冲或者脉冲列。而且,利用受光器检测将波长扫描光照射到检查对象而获得的光的时间波形。受光器的输出波形表示时间轴与波长对应的波谱。
2、分光解析被分类为将对象物的透射光作为物体光的透射型和将反射光作为物体光的反射型。反射型适合于反射率较高的对象物的测定,但得到的光学信息并不限定于对象物的表面附近的信息。因而,在以精密的工业产品、从动植物采取的检样、人摄取到体内的物质、由生产车间制造的液体或气体等为对象物的测定中,不能说有足够的精度。
3、透射型由于能够得到不仅是对象物的表面还包括较深的部分的光学特性,所以适合于以食品或饮料(以下统称作饮食品)等为对象物的情况。在专利文献1中公开了透射型的产品检查装置。该产品检查装置具备向产品(检查对象)的表面照射脉冲光的照射光学系统,以及设在产品的背面侧、将透射过产品的光接收的受光器(光电探测器)。
4、图1是表示波长扫描型的分光装置10的图。分光装置10具备光源装置20、分光头30、及运算处理装置40。
5、光源装置20生成波长扫描光l1。波长扫描光l1被引导到分光头30。分光头30的照射光学系统31将波长扫描光l1照射到试样2。第一受光器32检测将波长扫描光l1照射到试样2的结果所得的透射光(物体光)l2。
6、在照射光学系统31中,波长扫描光l1的一部分作为参照光l3而分支。第二受光器33测定参照光l3。
7、第一受光器32生成的第一检测信号s1与第二受光器33生成的第二检测信号s2向运算处理装置40供给。物体光l2以及参照光l3沿用波长扫描光l1的时间-波长的一对一的对应关系。因而,第一检测信号s1的时间波形可以通过将时间轴换算为波长而转换为物体光l2的波谱。同样,第二检测信号s2的时间波形可以通过将时间轴换算为波长而转换为参照光l3的波谱。运算处理装置40计算物体光l2相对于参照光l3的每个对应的波长的比例,测定试样2的分光特性(反射率)。
8、现有技术文献
9、专利文献
10、专利文献1:日本特开2020-159973号公报
技术实现思路
1、发明将要解决的课题
2、本发明人对透射型的分光装置进行了研究,结果认识到以下的课题。
3、测定对象产品(以下也称作产品)在光的透射性低并且扩散性较高的情况下,设想低功率的入射光而设计、选定受光器。另一方面,作为光源装置,为了提高透射光的功率,使用高峰值功率的脉冲激光。
4、在检查工业上大量生产的产品的情况下,由于产品被输送装置高速地自动运输,因此存在产品从输送机脱落、引起位置偏移的可能性。其结果,可能产生在应存在产品的测定位置不存在产品的状况。在该状况下,照射到测定位置的脉冲激光束即波长扫描光l1不经由产品而直接照射受光器。
5、如上述那样,由于设想低功率的入射光而设计、选定受光器,因此若高峰值功率的激光束直接入射,则有超过受光器的允许功率而成为可靠性降低的原因的隐患。
6、另外,根据产品的输送机,有时在产品与产品之间产生间隙。在这样的情况下,存在激光束从该间隙向受光器入射的隐患。
7、特别是,已知特别是在雪崩光电二极管那样的元件内具有放大机构的元件的损伤阈值较低。例如美国thorlabs公司的ingaas雪崩光电探测器apd430c的损伤阈值为1mw,本分光方式中使用的激光的功率足够比其大。
8、本公开鉴于该状况而完成,关于其某个技术方案的例示性的目的之一,在于提供能够保护受光器的光测定装置。
9、用于解决课题的手段
10、本公开的某一方式的光测定装置具备:光源装置,产生波长扫描光;照射光学系统,将波长扫描光照射到测定位置;输送装置,将测定对象以通过测定位置的方式输送;受光装置,测定透过了测定对象的波长扫描光即物体光;光路切换元件,设于波长扫描光的光路,切换波长扫描光的光路;以及控制器,根据有无测定对象来控制光路切换元件。
11、本公开的另一方式也是一种光测定装置。该光测定装置具备:光源装置,产生波长扫描光;照射光学系统,将波长扫描光照射到测定位置;输送装置,将测定对象以通过测定位置的方式输送;受光装置,测定透过了测定对象的波长扫描光即物体光;遮光元件,设于波长扫描光的光路,能够切换波长扫描光的透射、不透射;以及控制器,根据有无测定对象来控制遮光元件。
12、另外,将以上的构成要素任意地组合者、将构成要素或表现在方法、装置、系统等之间相互替换者作为本发明或者本公开的技术方案也是有效的。而且,该项目(用于解决课题的手段)的记载并非说明本发明的所有不可缺少的特征,因而,所记载这些特征的子组合也可成为本发明。
13、发明效果
14、根据本公开的某一技术方案,能够保护受光器。
1.一种光测定装置,其特征在于,具备:
2.如权利要求1所述的光测定装置,其特征在于,
3.如权利要求2所述的光测定装置,其特征在于,
4.一种光测定装置,其特征在于,具备:
5.如权利要求4所述的光测定装置,其特征在于,
6.如权利要求5所述的光测定装置,其特征在于,