弹性波元件以及通信装置的制作方法

本公开涉及弹性波元件以及包括该弹性波元件的通信装置。

背景技术：

1、已知一种弹性波元件，具有压电体层和与压电体层重叠的idt(interdigitaltransducer，叉指换能器)电极，利用在压电体层中传播的弹性波(例如专利文献1)。在专利文献1中，提出了能够降低在谐振频率的低频侧产生的杂散的idt电极的厚度。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2018-88601号公报

技术实现思路

1、根据本公开的一实施方式的弹性波元件，具有：支撑基板、位于所述支撑基板之上的压电体层和位于所述压电体层之上的idt电极。所述idt电极具有：第一层，由导电性的第一材料构成。所述第一层具有大于的厚度，与所述压电体层直接重叠，或者隔着与该第一层以及所述压电体层相接的以下的金属层而与所述压电体层重叠。设所述idt电极的电极指的间距为p(μm)，设所述第一层的厚度(μm)除以2p0.101得到的值为标准化厚度t1。此时，所述标准化厚度t1和在所述第一材料中传播的体纵波的声速v1(m/s)满足下式：

2、2.14×10-6v1-1.16×10-2<t1<1.17×10-5v1-1.63×10-2。

3、根据本公开的一实施方式的弹性波元件，具有：支撑基板、位于所述支撑基板之上的压电体层和位于所述压电体层之上的idt电极。所述idt电极具有：第一层，由导电性的第一材料构成；和，上部结构，与所述第一层的上表面重叠，由与所述第一材料不同的1种以上的材料构成。所述第一层具有大于的厚度，与所述压电体层直接重叠，或者隔着与该第一层以及所述压电体层相接的以下的金属层而与所述压电体层重叠。在所述上部结构具有构成所述idt电极的上表面的、以下的厚度的绝缘层的情况下，将所述第一层的上表面和所述绝缘层的下表面之间的部分作为第二层；在所述上部结构不具有所述绝缘层的情况下，将所述第一层的上表面和所述idt电极的上表面之间的部分作为第二层。此时，所述第二层具有大于的厚度。设所述idt电极的电极指的间距为p(μm)，设所述第二层的厚度(μm)除以2p0.101得到的值为标准化厚度t2。此时，所述标准化厚度t2和在所述第一材料中传播的体纵波的声速v1(m/s)满足下式：

4、4.77×10-6v1-1.18×10-2<t2<2.52×10-6v1+4.09×10-2。

5、根据本公开的一实施方式的弹性波元件，具有：支撑基板、位于所述支撑基板之上的压电体层和位于所述压电体层之上的idt电极。所述idt电极具有：第一层，由导电性的第一材料构成；和，上部结构，与所述第一层的上表面重叠，由与所述第一材料不同的1种以上的材料构成。所述第一层具有大于的厚度，与所述压电体层直接重叠，或者隔着与该第一层以及所述压电体层相接的以下的金属层而与所述压电体层重叠。在所述上部结构具有构成所述idt电极的上表面的、以下的厚度的绝缘层的情况下，将所述第一层的上表面和所述绝缘层的下表面之间的部分作为第二层；在所述上部结构不具有所述绝缘层的情况下，将所述第一层的上表面和所述idt电极的上表面之间的部分作为第二层。此时，所述第二层具有大于的厚度。所述第二层的平均密度ρ(g/cm3)和在所述第二层中传播的体纵波的平均声速v2(m/s)满足下式：

6、-135.64ρ+4155.6<v2<-2470.1ρ+16872。

7、本公开的一实施方式的通信装置具有：滤波器，具有上述任一的弹性波元件；天线，与所述滤波器连接；和，集成电路元件，与所述滤波器连接。

技术特征：

1.弹性波元件，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波元件，所述idt电极还具有：上部结构，与所述第一层的上表面重叠，由与所述第一材料不同的1种以上的材料构成；

3.弹性波元件，具备：

4.根据权利要求2或3所述的弹性波元件，所述第二层的平均密度ρ(g/cm3)和在所述第二层中传播的体纵波的平均声速v2(m/s)满足下式：-135.64ρ+4155.6<v2<-2470.1ρ+16872。

5.弹性波元件，具备：

6.根据权利要求1～5中任一项所述的弹性波元件，在所述idt电极具有构成该idt电极的上表面的、以下的绝缘层的情况下，将所述第一层的下表面和所述绝缘层的下表面之间的部分作为第三层，在所述idt电极不具有所述绝缘层的情况下，将所述第一层的下表面和所述idt电极的上表面之间的部分作为第三层时，则所述第三层具有大于的厚度；

7.根据权利要求1～6中任一项所述的弹性波元件，设所述idt电极的电极指的间距为p(μm)时，则压电体层的厚度为2p以下。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的弹性波元件，所述压电体层的材料为钽酸锂或铌酸锂；

9.根据权利要求1～8中任一项所述的弹性波元件，利用在所述压电体层中a1模式的兰姆波。

10.根据权利要求1～8中任一项所述的弹性波元件，利用所述压电体层中厚度滑动模式的体波。

11.通信装置，具有：

技术总结
在弹性波元件中，IDT电极具有由导电性的第一材料构成的第一层。第一层具有大于的厚度。另外，第一层与压电体层直接重叠，或者隔着以下的金属层与压电体层重叠。设IDT电极的电极指的间距为p(μm)，设第一层的厚度(μm)除以2×p<supgt;0.101</supgt;得到的值为标准化厚度t1时，则标准化厚度t1和在第一材料中传播的体纵波的声速V1(m/s)满足下式：2.14×10<supgt;‑6</supgt;V1‑1.16×10<supgt;‑2</supgt;<t1<1.17×10<supgt;‑5</supgt;V1‑1.63×10<supgt;‑2</supgt;。

技术研发人员：笠松直史
受保护的技术使用者：京瓷株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/12/5