一种步进压印装置、压印方法及压印模具的调校方法与流程

1.本发明属于微纳加工制造领域，具体涉及一种步进压印装置、压印方法及压印模具的调校方法。


背景技术：

2.步进压印技术属于微纳制造技术，微纳制造技术通常是指微纳米级的材料、制造、设计、测量、控制和产品的技术。随着技术的进步，纳米科学和纳米技术的迅速崛起，微纳制造技术显得尤为重要。目前，微纳制造技术具有体积小、重量轻、可靠性高等优点，广泛用于生物医学、国防科技、光学产业、精细化工等方面，且微纳结构材料具有良好的稳定性，该材料一般不会团聚，在使用过程中结构也比较稳定，因其特殊的形貌和性能，越来越引起人们的重视。微纳制造工艺与技术的发展使制造对象由宏观进入微观和纳观，大幅度提升了制造的精度和质量，对促进学科交叉起到积极的推动作用，使制造科学的研究更加完善。微纳压印技术是一种用于大批量重复制备维纳图形结构的新兴技术，其基本思想是：在一定压力下将一具有微纳图案的模板(金属、非金属或塑胶材质)以机械力在涂有高分子材料(如玻璃胶、pdms胶等)的基板上等比例压印复制微纳图案，其加工分辨率只与模板图案相关，可以实现诸如球面或非球面的光学微镜阵列、球面或非球面的光学微镜头的加工。
3.微纳压印技术主要分为热压印和紫外(uv)压印两大类，紫外光固化微压印技术不同于传统的热压印成型的制备方法。紫外光固化微压印技术可以在常温常压下进行，克服了热压印造成的热变形及翘曲的缺陷，最重要的不同是热压印过程模具的温度先升高后降低，而紫外压印在整个过程处于恒温的状态，减少了热压印达到高温高压环境所需的时间，提高了生产效率，具有成本低、操作简便、成型快、效率高、绿色环保等优点。本发明采用的步进式紫外光固化压印装置以步进的方式往返运动，通过拼接实现圆形基板或方形基板上大面积的微纳图案结构成型，特别是在晶圆级微光学加工中得到越来越广泛的应用。现有步进压印装置实现微纳压印的前提是压印的模具或被压印的基板之一必须是可透过紫外光的，这样在压印过程中通过穿过模具的紫外光或者穿过基板的紫外光来把模具和基板之间的紫外胶进行光固化。然而，对于模具和基板均存在无法穿透紫外光的情况，现有的紫外压印装置和方法均无能为力。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本发明提出一种步进压印装置，设置至少一组印制面照射部，自所述基板靠近所述模具的一侧完成固化照射，可拓宽基板的材质选择，进而增加微纳步进压印的适用范围。
5.为了达到上述技术目的，本发明所采用的具体技术方案为：
6.一种步进压印装置，包括：
7.模具，设置有至少一个压印单元，所述压印单元的末端刻有微纳图案；
8.基板，与所述模具相对设置，设置有印制面；所述印制面用于设置待成型材料；
9.点压模块，设置有可下压可重复使用的点压头；用于多次重复：基于所述点压头的下压使所述压印单元的末端在所述待成型材料上压印所述微纳图案；
10.步进压印台，用于为所述基板提供相对于所述模具的步进运动；
11.固化模块，用于照射固化所述待成型材料；
12.其中：所述固化模块至少包括一组印制面照射部；所述印制面照射部用于自所述基板靠近所述模具的一侧辐射固化压印后的所述待成型材料。
13.进一步的，所述固化模块还包括至少一组背面照射部；所述背面照射部用于自所述基板远离所述模具的一侧辐射固化压印后的所述待成型材料。
14.同时，本发明还提出一种压印方法，所述步进压印装置上设置有临时压印区；所述步进压印方法包括以下步骤：
15.s101:在所述临时压印区设置附属基板；
16.s102:在所述模具和/或所述附属基板上设置第一待成型材料；
17.s103:基于所述模具和所述点压模块在所述附属基板上完成对所述第一待成型材料的压印；
18.s104:基于所述固化模块完成所述第一待成型材料的固化；将固化后的所述第一待成型材料与所述附属基板完成脱离；
19.s105:在所述第一待成型材料和/或所述印制面上设置第二待成型材料；
20.s106:将脱离后的所述第一待成型材料安装至所述印制面；所述第二待成型材料设置在第一待成型材料与所述印制面之间；
21.s107:基于所述固化模块完成所述第二待成型材料的固化。
22.进一步的，所述步进压印装置还包括印制检测模块，所述印制检测模块用于在经过第n次所述压印后，检测所述印制面上的印制结果数据；
23.其中：n＝1和或2和或3...。
24.进一步的，所述印制检测模块用于在每次所述压印后，检测所述印制面上的印制结果数据。
25.进一步的，所述印制结果数据包括印制对象固化后的图形数据和印制对象固化后的形貌数据；所述图形数据为印制对象固化后的二维数据，所述形貌数据为印制对象固化后的三维数据。
26.进一步的，所述点压头的下压运动处于一条直线上；所述步进运动为垂直于所述压头下压方向的平面运动。
27.进一步的，所述步进压印台包括：
28.第一滑轨部，包括至少一组横向直轨，所述横向直轨垂直于所述压头的下压方向；
29.第二滑轨部，滑动安装在所述横向直轨上，包括至少一组纵向直轨，所述纵向直轨同时垂直于所述压头的下压方向和所述横向直轨；
30.固定部，用于固定所述基板，滑动安装在所述纵向直轨上。
31.进一步的，所述步进压印装置还包括印制拟合模块；所述印制拟合模块用于测量所述模具上的微纳图案，并计算出模具实际姿态位置与期望姿态位置之间的偏差。
32.进一步的，所述印制拟合模块包括一拟合测量系统，所述拟合测量系统安装在所述步进压印台上，与所述基板相对固定设置；所述印制拟合模块用于基于所述拟合测量系
统在所述模具安装至点压头后，通过所述步进压印台的水平运动，测量所述模具上的微纳图案，并计算出模具实际姿态位置与期望姿态位置之间的偏差，并通过点压模块将模具调整到期望姿态位置。
33.进一步的，所述待成型材料为光敏混合聚合物、光敏丙烯酸酯和/或光敏聚二甲基硅氧烷；
34.所述固化模块为紫外激光束发生器、高压汞灯、金属卤素灯、无极灯、紫外线等离子体发生器和/或紫外线led面光源。
35.同时，本发明还提出一种压印模具的调校方法，包括以下步骤：
36.s201：完成所述模具与所述点压模块、所述模具和所述步进压印台之间的定位；
37.s202：以所述点压头的运动、所述模具的位置和所述基板的位置建立坐标系；
38.s203：基于印制拟合系统，测量所述模具上的至少一部分微纳图案的形貌信息；
39.s204：将各所述形貌信息进行拟合，形成拟合图形；
40.s205：根据所述拟合图形计算出模具姿态位置偏差；
41.s206：基于所述模具姿态位置偏差调整所述模具与所述点压模块和所述基板之间的相对位置和/或俯仰。
42.采用上述技术方案，本发明还能够带来以下有益效果：
43.在传统加工方式中，单个单元的压印、固化效果没有进行检测，只是在整张基板加工完成后，再进行全基板的形貌检测。若所有单元中的不合格品数量或比例超过要求，则导致整张基板报废。本发明通过印制检测模块，在加工的过程中，对新加工出的单元的形态特征进行实时检测，及时甄别不良品，从而使操作人员能够及时排查问题，大幅降低整张基板中不合格单元的比例。
44.在整张基板加工过程中，如果中途需要压印不同的形状，必须更换对应的压印模具。但是模具的首次安装，需要进行单个样品试制和检测。通过检测结果，再修正模具的空间姿态，然后重复以上步骤直至样品合格。该工序严重延长了生产时间。本发明通过设置印制拟合模块，可以直接对压印模具的空间姿态进行检测和调整，有效缩短了调校时间。
附图说明
45.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
46.图1为本发明具体实施方式中，一种步进压印装置的外部结构示意图；
47.图2为本发明具体实施方式中，一种步进压印装置的爆炸视图；
48.图3为本发明具体实施方式中，步进压印装置的工作流程图；
49.图4为本发明具体实施方式中，步进压印装置的另一种工作流程图；
50.其中：1、点压模块；11、点压头；2、步进压印台；21、固定部；3、印制面照射部；4、背面照射部；5、印制检测模块；6、印制拟合模块；7、临时压印区。
具体实施方式
51.下面结合附图对本发明实施例进行详细描述。
52.以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
53.要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本发明，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目个方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。
54.还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构想，图式中仅显示与本发明中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
55.另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践所述方面。
56.在本发明的一个实施例中，提出一种步进压印装置，如图1、2所示，包括：
57.框架；
58.模具，设置有压印单元，压印单元的末端刻有微纳图案；
59.基板，与模具相对设置，设置有印制面；
60.点压模块1，设置有可多次重复下压的点压头11，用于多次重复：基于点压头11的下压使压印单元的末端在待成型材料上压印微纳图案；本实施例的待成型材料在压印前可以采用涂覆、胶接等方式附着在印制面和/或压印单元的末端；
61.步进压印台2，用于安装基板并为基板提供相对于模具的步进运动；
62.其中：固化模块至少包括一组印制面照射部3；印制面照射部3用于自基板靠近模具的一侧辐射固化压印后的待成型材料。
63.本实施例框架的作用为提供模具、基板、步进压印台2以及点压模块1至少之一的安装本体，各上述组成可独立安装在框架上，也可相互安装，框架其具体结构本实施例不作限定。
64.本实施例的模具为微纳压印模具，本实施例不作其他限制。
65.本实施例的基板为所印制微纳结构的基底，印制面用于承托和/或涂覆待成型材料，或基板本身为所印制微纳结构的一部分。
66.本实施例点压头11下压使压印单元下压，之后点压头11回收，进而模具回收。点压头11的数量为一个或一个以上，本实施例不作限制；一个印制单元包括一个或一个以上图像点，本实施例不作限制。
67.本实施例的压印位置需要实现可控，因此点压模块1、模具和步进压印台2进行对准。具体来说，点压头11的下压运动与模具和基板进行对准。同时，模具和步进压印台2也需对准。各对准装置采用图像标记对准、光栅标记对准、多点测量对准等，本实施例不作限定。
68.本实施例的步进压印台2需完成基板相对于模具的步进运动，其具体实现方式本实施例不作限定。
69.本实施例的待成型材料为辐射固化材料，固化模块为与待成型材料相适配的辐射发生器。传统的固化模块安装在基板的下方，即其辐射需穿过基板才能到达印制面，当基板为非透明材质或部分为非透明材质时，无法完成对待成型材料的固化辐射，因此限制基板的材质必须为完全透明或半透明。本实施例设置至少一组印制面照射部3，自基板靠近模具的一侧完成固化照射，可拓宽基板的材质选择，进而增加微纳步进压印的适用范围。
70.在一个实施例中，模板固定安装在点压头11上，待成型材料可涂覆在压印单元的模具上和/或基板的印制面上。
71.在一个实施例中，固化模块还包括至少一组背面照射部4；背面照射部4用于自基板远离模具的一侧辐射固化压印后的待成型材料。在本实施例中，当基板完全为能够使辐射发生器的辐射穿透的材质时，完全采用背面照射部4；当基板为可使uv(紫外线)穿透，且设置有印制检测模块5时，步进压印装置的整体工作过程如图3所示。
72.基板为部分能够使辐射发生器的辐射穿过的材质时，在印制可穿透部分时采用背面照射部4，印制不穿透部分时采用印制面照射部3。
73.在一个实施例中，如图1、2所示，步进压印装置还包括印制检测模块5，印制检测模块5用于经过第n次压印后，检测印制面上的印制结果；
74.其中：n＝1或2或3...。
75.在本实施例中，印制检测模块5为机器视觉系统、光谱共焦传感器、白光干涉仪、激光距离传感器、声波检测系统和/或无线波检测系统，与之匹配有印制检测控制系统以及比对模块，用来检测单个印制单元的印制结果，或多个印制单元组成的阶段性印制结果。本实施例印制单元的印制结果数据产生过程为：压印单元压印入待成型材料——固化模块照射。
76.印制检测控制系统通过软件编程实现设定印制检测模块5的检测频率(次压印/一次印制结果数据检测)，可以根据不同的微纳图案进行频率调整，同时，还可以对一个微纳图案在不同的完成进度当中设定不同的检测频率。
77.比对模块通过软件编程实现比对方式，比对方式包括：将印制检测模块5的每个或一部分检测结果与理想印制结果数据进行比对和/或将印制检测模块5的每个或一部分检测结果与基准印制单元的印制结果数据进行比对。
78.在传统加工方式中，单个印制单元的压印、固化效果没有进行检测，只是在整张基板加工完成后，再进行全基板的印制结果检测。若所有印制单元中的不合格品数量或比例超过要求，则导致整张基板报废。本实施例通过视觉或光学传感器，在加工的过程中，对新加工出的印制结果的形态特征进行实时检测，及时甄别不良品，从而使操作人员能够及时排查问题，大幅降低整张基板中不合格单元的比例，产品良率或一次成功率，从70％提高到90％。
79.在一个实施例中，在上述实施例的基础上，压印检测模块为快速成像相机，印制检
测模块5用来检测单个印制单元的印制结果，检测频率为1(次压印/一次印制结果检测)，比对模块设定为将印制检测模块5的每个检测结果数据与基准印制单元的印制结果数据进行比对。本实施例检测点压头11每一次点压过程后压印面上的实时压印结果，以每一次压印结果数据与理想压印结果数据进行比对，可以及时发现压印不符合理想压印结果数据的现象，进而能够进一步及时寻找压印过程中所存在技术问题并进行解决。
80.在一个实施例中，印制结果数据包括印制对象固化后的图形数据(二维数据)和印制对象固化后的形貌数据(三维数据)。
81.在一个实施例中，如图1、2所示，点压头11的下压方向以及回收方向处于一条直线上；步进运动为垂直于压头运动方向的平面运动。
82.点压模块1包括线性运动的点压头11，点压头11的运动方向在理想化状态下完全垂直于基板以及步进压印台2的运动平面。
83.在一个实施例中，步进压印台2包括：
84.第一滑轨部，包括至少一组横向直轨，横向直轨垂直于压头的下压方向；
85.第二滑轨部，滑动安装在横向直轨上，包括至少一组纵向直轨，纵向直轨同时垂直于压头的下压方向和横向直轨；
86.固定部21，用于固定基板，滑动安装在纵向直轨上。
87.在一个实施例中，压印装置还包括印制拟合模块6；
88.印制拟合模块6包括一安装在步进压印台2上的拟合测量系统；拟合测量系统用于模具在步进压印装置的点压头11上完成安装后，通过步进压印台2的水平运动，测量模具上的微纳图案；印制拟合模块6通过拟合测量系统的测量结果，计算出模具实际姿态位置与期望姿态位置之间的偏差，并通过点压模块1将模具调整到期望姿态位置。
89.在一个实施例中，提出一种压印模具的调校方法，包括以下步骤：
90.s201：完成模具与点压模块1、模具和步进压印台2之间的定位；
91.s202：以点压头11的运动、模具的位置和基板的位置建立坐标系；
92.s203：基于印制拟合系统，测量所述模具上的至少一部分微纳图案的形貌信息；
93.s204：将各所述形貌信息进行拟合，形成拟合图形；
94.s205：根据所述拟合图形计算出模具姿态位置偏差；
95.s206：基于所述模具姿态位置偏差调整所述模具与所述点压模块和所述基板之间的相对位置和/或俯仰。
96.在一个实施例中，微纳图案的形状为光学微晶阵列、光学微镜头的外曲面的一部分，所有微纳图案组成一光学微晶阵列或光学微镜头。
97.在一个实施例中，待成型材料为光敏混合聚合物、光敏丙烯酸酯和/或光敏聚二甲基硅氧烷。固化模块为紫外激光束发生器、高压汞灯、金属卤素灯、无极灯、紫外线等离子体发生器和/或紫外线led面光源。
98.上述所有实施例中完成定位所需要的检测传感器以及其他传感器，为市面上已有的传感器，如ccd、光谱共焦传感器、白光干涉仪、激光距离传感器等，为公知领域，不做特别描述和限定。
99.在本发明的一个实施例中，提出一种压印方法，步进压印装置上设置有临时压印区7；步进压印方法包括以下步骤：
100.s101:在临时压印区7设置附属基板；
101.s102:在模具或附属基板上设置第一待成型材料；
102.s103:基于模具和点压模块1在附属基板上完成对第一待成型材料的压印；
103.s104:基于所述固化模块(印制面照射部3)完成所述第一待成型材料的固化；将固化后的所述第一待成型材料与所述附属基板完成脱离；
104.s105:在所述第一待成型材料和/或所述印制面上设置第二待成型材料；
105.s106:将脱离后的所述第一待成型材料安装至所述印制面；所述第二待成型材料设置在第一待成型材料与所述印制面之间；
106.s107:基于固化模块(印制面照射部3和/或背面照射部4)完成第二待成型材料的固化。
107.若不设置临时压印区7，本实施例的步进压印装置的工作过程如图3所示。
108.当基板为uv无法全部或部分穿透，模具也uv无法穿透，且设置有印制检测模块5时，步进压印装置的整体工作过程如图4所示。模具和基板均为非透光材料，因此无法一次压印实现uv胶的固化。为此，本实施例采用二次压印uv固化方法实现对非透明基板的微纳图案的压印。
109.在本实施例中，基板的某一区域或基板之外的区域建立有一个临时压印区7，该区域能够透过光线，且处于印制面照射部3的照射范围内，为了脱模方便，可在该区域涂敷一层脱模剂或者容易脱模的透光薄膜。
110.微镜或微镜阵列图案第一轮先在临时压印区固化成型，然后跟随模具一同与临时压印区7实现脱落分离，点胶系统移动到模具下方二次点胶，然后运动系统运动到非透明基板压印区域，通过侧面的uv固化光实现微镜或微镜阵列与基板的黏结，也即二次固化，从而实现了非透光基板与非透光模具之间的固化，重复上述动作，即可实现整个基板的微镜或微镜阵列的压印成型。第二次固化过程也可以采用非uv固化方式，如热固化等，本专利重点保护微镜或微镜阵列的二次固化方法。本二次固化方法同样适用于透光模具或透光基板。
111.进一步说明：
112.上述各实施例所称的基板指的是应用于集成电路制造、微机电器件制造、晶圆级先进封装制造、显示面板制造、led器件制造、印刷电路版制造、触摸屏制造、太阳能光伏制造等工业应用领域的各种尺寸的硅片或玻璃或pcb基板材料等。
113.以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

技术特征：
1.一种步进压印装置，其特征在于，包括：模具，设置有至少一个压印单元，所述压印单元的末端刻有微纳图案；基板，与所述模具相对设置，设置有印制面；所述印制面用于设置待成型材料；点压模块，设置有可下压可重复使用的点压头；用于多次重复：基于所述点压头的下压使所述压印单元的末端在所述待成型材料上压印所述微纳图案；步进压印台，用于为所述基板提供相对于所述模具的步进运动；固化模块，用于照射固化所述待成型材料；其中：所述固化模块至少包括一组印制面照射部；所述印制面照射部用于自所述基板靠近所述模具的一侧辐射固化压印后的所述待成型材料。2.根据权利要求1所述的步进压印装置，其特征在于：所述固化模块还包括至少一组背面照射部；所述背面照射部用于自所述基板远离所述模具的一侧辐射固化压印后的所述待成型材料。3.一种压印方法，基于权利要求1或2所述的步进压印装置，其特征在于，所述步进压印装置上设置有临时压印区；所述步进压印方法包括以下步骤：s101:在所述临时压印区设置附属基板；s102:在所述模具和/或所述附属基板上设置第一待成型材料；s103:基于所述模具和所述点压模块在所述附属基板上完成对所述第一待成型材料的压印；s104:基于所述固化模块完成所述第一待成型材料的固化；将固化后的所述第一待成型材料与所述附属基板完成脱离；s105:在所述第一待成型材料和/或所述印制面上设置第二待成型材料；s106:将脱离后的所述第一待成型材料安装至所述印制面；所述第二待成型材料设置在第一待成型材料与所述印制面之间；s107:基于所述固化模块完成所述第二待成型材料的固化。4.根据权利要求1所述的步进压印装置，其特征在于：所述步进压印装置还包括印制检测模块，所述印制检测模块用于在经过第n次所述压印后，检测所述印制面上的印制结果数据；其中：n＝1和或2和或3...。5.根据权利要求4所述的步进压印装置，其特征在于：所述印制检测模块用于在每次所述压印后，检测所述印制面上的印制结果数据。6.根据权利要求4所述的步进压印装置，其特征在于：所述印制结果数据包括印制对象固化后的图形数据和印制对象固化后的形貌数据；所述图形数据为印制对象固化后的二维数据，所述形貌数据为印制对象固化后的三维数据。7.根据权利要求1所述的步进压印装置，其特征在于：所述点压头的下压运动处于一条直线上；所述步进运动为垂直于所述压头下压方向的平面运动。8.根据权利要求1所述的步进压印装置，其特征在于：所述步进压印台包括：第一滑轨部，包括至少一组横向直轨，所述横向直轨垂直于所述压头的下压方向；第二滑轨部，滑动安装在所述横向直轨上，包括至少一组纵向直轨，所述纵向直轨同时垂直于所述压头的下压方向和所述横向直轨；
固定部，用于固定所述基板，滑动安装在所述纵向直轨上。9.根据权利要求1所述的步进压印装置，其特征在于：所述步进压印装置还包括印制拟合模块；所述印制拟合模块用于测量所述模具上的微纳图案，并计算出模具实际姿态位置与期望姿态位置之间的偏差。10.根据权利要求1所述的步进压印装置，其特征在于：所述印制拟合模块包括一拟合测量系统，所述拟合测量系统安装在所述步进压印台上，与所述基板相对固定设置；所述印制拟合模块用于基于所述拟合测量系统在所述模具安装至点压头后，通过所述步进压印台的水平运动，测量所述模具上的微纳图案，并计算出模具实际姿态位置与期望姿态位置之间的偏差，并通过点压模块将模具调整到期望姿态位置。11.根据权利要求1所述的步进压印装置，其特征在于：所述待成型材料为光敏混合聚合物、光敏丙烯酸酯和/或光敏聚二甲基硅氧烷；所述固化模块为紫外激光束发生器、高压汞灯、金属卤素灯、无极灯、紫外线等离子体发生器和/或紫外线led面光源。12.一种压印模具的调校方法，基于权利要求8-10之任一项所述的步进压印装置，其特征在于，包括以下步骤：s201：完成所述模具与所述点压模块、所述模具和所述步进压印台之间的定位；s202：以所述点压头的运动、所述模具的位置和所述基板的位置建立坐标系；s203：基于印制拟合系统，测量所述模具上的至少一部分微纳图案的形貌信息；s204：将各所述形貌信息进行拟合，形成拟合图形；s205：根据所述拟合图形计算出模具姿态位置偏差；s206：基于所述模具姿态位置偏差调整所述模具与所述点压模块和所述基板之间的相对位置和/或俯仰。

技术总结
本发明属于微纳加工制造领域，具体涉及一种步进压印装置、压印方法及压印模具的调校方法。压印装置包括模具、基板、点压模块、步进压印台以及固化模块，本发明的固化模块设置至少一组印制面照射部，自所述基板靠近所述模具的一侧完成固化照射，可拓宽基板的材质选择，进而增加微纳步进压印的适用范围。本发明通过印制检测模块，在加工的过程中，对新加工出的单元的形态特征进行实时检测，及时甄别不良品，从而使操作人员能够及时排查问题，大幅降低整张基板中不合格单元的比例。本发明通过设置印制拟合模块，可以直接对压印模具的空间姿态进行检测和调整，有效缩短了调校时间。有效缩短了调校时间。有效缩短了调校时间。


技术研发人员：ꢀ(74)专利代理机构
受保护的技术使用者：深圳智达星空科技（集团）有限公司
技术研发日：2021.11.08
技术公布日：2022/3/7