一种LED用单晶硅片清洗设备及其使用方法与流程

一种led用单晶硅片清洗设备及其使用方法
技术领域
1.本发明涉及led加工设备技术领域，具体是指一种led用单晶硅片清洗设备及其使用方法。


背景技术：

2.单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等,单晶硅可以用于二极管级、整流器件级、电路级以及太阳能电池级单晶产品的生产和深加工制造，其后续产品集成电路和半导体分离器件已广泛应用于各个领域，在军事电子设备中也占有重要地位，而单晶硅用于led时，必须要经过一系列的加工处理，最主要的就是要将单晶硅棒原料进行切割成单晶硅片，然后再经过对单晶硅片的清洗工序，目前的单晶硅清洗设备存在结构复杂，清洗效果不好，且效率低下的情况。


技术实现要素：

3.本发明要解决的技术问题是克服以上技术问题，提供一种效率高和效果好的一种led用单晶硅片清洗设备及其使用方法。
4.为解决上述技术问题，本发明提供的技术方案为：一种led用单晶硅片清洗设备，包括柜体，所述柜体的下端设有多个支撑脚，所述柜体的下端连通设有设置在多个支撑脚之间的排水管一，所述柜体内侧设有可拆卸的过滤板，所述柜体的内侧壁连接设有设置在过滤板上方的隔板，所述隔板上连通设有排水管二，所述柜体内转动设有对称设置的固定板，两个所述固定板的内侧壁均设有滑槽，两个所述滑槽的一端连接设有电动推杆二，两个所述电动推杆二的输出端均连接设有与滑槽的内壁相抵的滑块，两个所述滑块之间连接设有夹板一，两个所述固定板在远离夹板一的内侧壁连接设有夹板二，所述夹板一和夹板二的内侧均连接设有多个隔块，所述夹板一和夹板二均为匚形结构设置，所述夹板一和夹板二之间夹紧设有设置在隔块之间的单晶硅片本体，所述柜体的外侧壁设有电动推杆三，所述电动推杆三的输出端贯穿柜体的内壁，其中一个所述固定板的外侧连接设有转动筒，所述电动推杆三的输出端滑动的插入在转动筒内侧，另一个所述固定板的外侧设有条形的固定块，所述固定块的外侧设有可拆卸的固定罩，所述固定罩的一侧设有与固定块相匹配条形的固定槽，所述柜体的外侧壁设有用于固定罩转动的驱动机构，所述柜体的上侧壁设有可拆卸的盖板，所述盖板上设有进水管，所述盖板的边缘位置设有与柜体的外侧壁相抵的挡板，所述挡板的外侧贯穿设有与柜体的外侧壁通过螺纹固定的羊角螺栓，所述柜体的外侧壁设有控制器，所述电动推杆二、电动推杆二均与控制器电性连接。
5.进一步，所述柜体的一内壁设有与过过滤板相匹配的放置槽，所述柜体的另一侧内壁设有与过滤板相匹配的放置孔，所述放置孔的上侧设有与柜体的外侧壁相连的电动推杆一，所述电动推杆一的输出端连接设有密封板，所述密封板的下端与过滤板的上端相抵，所述电动推杆一与控制器电性连接。
6.进一步，所述过滤板在柜体的内侧为滤网结构，且过滤板在柜体的外侧为实体结构。
7.进一步，所述排水管一和排水管二内均设有控制阀，所述控制阀与控制器电性连接。
8.进一步，所述密封板的下端连接设有锁紧块，所述过滤板的上侧壁连接设有与锁紧块相匹配的锁紧槽。
9.进一步，所述隔板的上侧壁为朝向排水管二的倾斜结构设置。
10.进一步，所述柜体的外侧壁设有水泵，所述水泵的进水端贯穿过滤板下方的柜体侧壁，所述过滤板的输出端与通过水管贯穿柜体设置在过滤板上方的侧壁。
11.进一步，所述夹块一和夹板二的内侧设有设置在多个隔块之间的橡胶垫。
12.进一步，所述驱动机构包括驱动电机，所述驱动电机设置在柜体的外侧壁，所述驱动电机的输出端连接设有锥齿轮一，所述柜体转动的贯穿设有转轴，所述转轴的一端与固定罩的一端相连接，所述转轴的另一端连接设有与锥齿轮一啮合设置的锥齿轮二，所述驱动电机与控制器电性连接。
13.一种led用单晶硅片清洗设备的使用方法，
14.s1：转动羊角螺栓将盖板取下，进而打开电动推杆三进行收缩，将固定块在固定罩的外侧取出，进而将固定板通过柜体内取下。
15.s2：打开电动推杆二顶动与滑块相连接的夹板一，增大夹板一和夹板二的距离，将需要进行固定的单晶硅片本体放置在夹板一和夹板二之间，通过打开电动推杆二收缩进行将夹板一和夹板二夹紧需要固定大单晶硅片。
16.s3：将固定板放置再柜体内，将固定板一侧的固定块放置在固定槽内，通过打开带电动推杆三将输出端插入到转动筒内，进而将固定板固定。
17.s4：将盖板通过羊角螺栓固定在柜体上，关闭控制阀一，通过进水管将需要清洁的水输入到柜体内，通过打开驱动电机带动锥齿轮一的转动，配合锥齿轮一和锥齿轮二带动转轴的转动，进而通过转轴带动固定罩转动，进而通过固定块带动固定板的转动，进而通过夹板一和夹板二转动带动单晶硅片在柜体内转动，进而搅动水对单晶硅片上的残渣清洗掉。
18.s5：清洗之后打开控制阀二，清洗之后含有残渣排放到过滤板上进行过滤板，过滤后的水储存在过滤板3的下侧，通过打开水泵22将过滤后的水输入到隔板4的上侧进行重复使用。
19.s6：通过打开控制阀二便于进行将循环使用的水排出。
20.s7：通过打开电动推杆将密封板上升，将过滤板拔出进行清理过滤的残渣。
21.本发明与现有技术相比的优点在于：通过将隔板将夹板一和夹板二的内侧分开，能够固定多个单晶硅片进行固定，清洗的效率更高，通过夹板一和夹板二挤压固定单晶硅片，固定的更加稳固；通过转动多个单晶硅片，在进行清洗时效果更好；通过清洗产生含有废渣的废水通过过滤板的过滤，通过水泵将过滤后的水输入到柜体内进行重复的清洗使用，更加节约水资源；通过打开电动推杆一将密封板上升，便于取出过滤板清洗废渣，便于重复的过滤使用。
附图说明
22.图1是本发明一种led用单晶硅片清洗设备及其使用方法的结构示意图。
23.图2是本发明一种led用单晶硅片清洗设备及其使用方法a位置结构示意图。
24.图3是本发明一种led用单晶硅片清洗设备及其使用方法夹板一和夹板二截面结构示意图。
25.如图所示：1、柜体，2、排水管一，3、过滤板，4、隔板，5、排水管二，6、固定板，7、滑槽，8、电动推杆二，9、夹板一，10、夹板二，11、电动推杆三，12、转动筒，13、固定块，14、固定罩，15、固定槽，16、盖板，17、控制器，18、放置槽，19、放置孔，20、电动推杆一，21、密封板，22、水泵，23、橡胶垫，24、隔块，25、驱动电机，26、转轴。
具体实施方式
26.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。另外，术语“包括”及其任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。
27.结合附图1-3所得一种led用单晶硅片清洗设备，包括柜体1，所述柜体1的下端设有多个支撑脚，所述柜体1的下端连通设有设置在多个支撑脚之间的排水管一2，所述柜体1内侧设有可拆卸的过滤板3，所述柜体1的内侧壁连接设有设置在过滤板3上方的隔板4，所述隔板4上连通设有排水管二5，所述柜体1内转动设有对称设置的固定板6，两个所述固定板6的内侧壁均设有滑槽7，两个所述滑槽7的一端连接设有电动推杆二8，两个所述电动推杆二8的输出端均连接设有与滑槽7的内壁相抵的滑块，两个所述滑块之间连接设有夹板一9，两个所述固定板6在远离夹板一9的内侧壁连接设有夹板二10，所述夹板一9和夹板二10的内侧均连接设有多个隔块24，所述夹板一9和夹板二10均为匚形结构设置，所述夹板一9和夹板二10之间夹紧设有设置在隔块24之间的单晶硅片本体，所述柜体1的外侧壁设有电动推杆三11，所述电动推杆三11的输出端贯穿柜体1的内壁，其中一个所述固定板6的外侧连接设有转动筒12，所述电动推杆三11的输出端滑动的插入在转动筒12内侧，另一个所述固定板6的外侧设有条形的固定块13，所述固定块13的外侧设有可拆卸的固定罩14，所述固定罩14的一侧设有与固定块13相匹配条形的固定槽15，所述柜体1的外侧壁设有用于固定罩14转动的驱动机构，所述柜体1的上侧壁设有可拆卸的盖板16，所述盖板16上设有进水管，所述盖板16的边缘位置设有与柜体1的外侧壁相抵的挡板，所述挡板的外侧贯穿设有与柜体1的外侧壁通过螺纹固定的羊角螺栓，所述柜体1的外侧壁设有控制器17，所述电动推杆二8、电动推杆二8均与控制器17电性连接，通过挡板与柜体1的外侧壁相抵，盖板16固定的更加稳固，通过羊角螺栓，收动的转动更加方便，在将固定板放置在柜体1内时，通过将固定块13在固定槽15插入，通过打开电动推杆三11的输出端插入到转动筒12内，便于将固定板固定在柜体内部，同理便于取出单晶硅片本体，通过打开电动推杆二8便于调节夹板一9
滑动，便于调节夹板一9和夹板二10距离，便于单晶硅片本体的固定和拆卸。
28.所述柜体1的一内壁设有与过过滤板3相匹配的放置槽18，所述柜体1的另一侧内壁设有与过滤板3相匹配的放置孔19，所述放置孔19的上侧设有与柜体1的外侧壁相连的电动推杆一20，所述电动推杆一20的输出端连接设有密封板21，所述密封板21的下端与过滤板3的上端相抵，所述电动推杆一20与控制器17电性连接，通过打开电动推杆一20上升便于取出过滤板3。
29.所述过滤板3在柜体1的内侧为滤网结构，且过滤板3在柜体1的外侧为实体结构，避免水通过过滤板喷溅出。
30.所述排水管一2和排水管二5内均设有控制阀，所述控制阀与控制器17电性连接，便于打开或者关闭排水管一2和排水管二5。
31.所述密封板21的下端连接设有锁紧块，所述过滤板3的上侧壁连接设有与锁紧块相匹配的锁紧槽，密封板21下压时，锁紧块在锁紧槽内固定，密封板固定更加稳固。
32.所述隔板4的上侧壁为朝向排水管二5的倾斜结构设置，便于废水滑动的通过排水管二5排出。
33.所述柜体1的外侧壁设有水泵22，所述水泵22的进水端贯穿过滤板3下方的柜体1侧壁，所述过滤板3的输出端与通过水管贯穿柜体1设置在过滤板3上方的侧壁，通过打开水泵22能够将过滤后的水重新输入到柜体1内循环使用。
34.所述夹块一和夹板二10的内侧设有设置在多个隔块24之间的橡胶垫23，对单晶硅片本体挤压固定更加稳固。
35.所述驱动机构包括驱动电机25，所述驱动电机25设置在柜体1的外侧壁，所述驱动电机25的输出端连接设有锥齿轮一，所述柜体1转动的贯穿设有转轴26，所述转轴26的一端与固定罩14的一端相连接，所述转轴26的另一端连接设有与锥齿轮一啮合设置的锥齿轮二，所述驱动电机25与控制器17电性连接，通过打开驱动电机25转动，配合锥齿轮一和锥齿轮二带动转轴转动，进而带动固定罩14转动。
36.一种led用单晶硅片清洗设备的使用方法，
37.s1：转动羊角螺栓将盖板16取下，进而打开电动推杆三11进行收缩，将固定块13在固定罩14的外侧取出，进而将固定板6通过柜体1内取下。
38.s2：打开电动推杆二8顶动与滑块相连接的夹板一9，增大夹板一9和夹板二10的距离，将需要进行固定的单晶硅片本体放置在夹板一9和夹板二10之间，通过打开电动推杆二8收缩进行将夹板一9和夹板二10夹紧需要固定大单晶硅片。
39.s3：将固定板6放置再柜体1内，将固定板6一侧的固定块13放置在固定槽15内，通过打开带电动推杆三11将输出端插入到转动筒12内，进而将固定板6固定。
40.s4：将盖板16通过羊角螺栓固定在柜体1上，关闭控制阀一，通过进水管将需要清洁的水输入到柜体1内，通过打开驱动电机25带动锥齿轮一的转动，配合锥齿轮一和锥齿轮二带动转轴26的转动，进而通过转轴26带动固定罩14转动，进而通过固定块13带动固定板6的转动，进而通过夹板一9和夹板二10转动带动单晶硅片在柜体1内转动，进而搅动水对单晶硅片上的残渣清洗掉。
41.s5：清洗之后打开控制阀二，清洗之后含有残渣排放到过滤板3上进行过滤板3，过滤后的水储存在过滤板3的下侧，通过打开水泵22将过滤后的水输入到隔板4的上侧进行重
复使用。
42.s6：通过打开控制阀二便于进行将循环使用的水排出。
43.s7：通过打开电动推杆将密封板21上升，将过滤板3拔出进行清理过滤的残渣。
44.本发明使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述，本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
45.以上对本发明及其实施方式进行了描述，这种描述没有限制性，附图中所示的也只是本发明的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本发明创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本发明的保护范围。

技术特征：
1.一种led用单晶硅片清洗设备，包括柜体(1)，其特征在于：所述柜体(1)的下端设有多个支撑脚，所述柜体(1)的下端连通设有设置在多个支撑脚之间的排水管一(2)，所述柜体(1)内侧设有可拆卸的过滤板(3)，所述柜体(1)的内侧壁连接设有设置在过滤板(3)上方的隔板(4)，所述隔板(4)上连通设有排水管二(5)，所述柜体(1)内转动设有对称设置的固定板(6)，两个所述固定板(6)的内侧壁均设有滑槽(7)，两个所述滑槽(7)的一端连接设有电动推杆二(8)，两个所述电动推杆二(8)的输出端均连接设有与滑槽(7)的内壁相抵的滑块，两个所述滑块之间连接设有夹板一(9)，两个所述固定板(6)在远离夹板一(9)的内侧壁连接设有夹板二(10)，所述夹板一(9)和夹板二(10)的内侧均连接设有多个隔块(24)，所述夹板一(9)和夹板二(10)均为匚形结构设置，所述夹板一(9)和夹板二(10)之间夹紧设有设置在隔块(24)之间的单晶硅片本体，所述柜体(1)的外侧壁设有电动推杆三(11)，所述电动推杆三(11)的输出端贯穿柜体(1)的内壁，其中一个所述固定板(6)的外侧连接设有转动筒(12)，所述电动推杆三(11)的输出端滑动的插入在转动筒(12)内侧，另一个所述固定板(6)的外侧设有条形的固定块(13)，所述固定块(13)的外侧设有可拆卸的固定罩(14)，所述固定罩(14)的一侧设有与固定块(13)相匹配条形的固定槽(15)，所述柜体(1)的外侧壁设有用于固定罩(14)转动的驱动机构，所述柜体(1)的上侧壁设有可拆卸的盖板(16)，所述盖板(16)上设有进水管，所述盖板(16)的边缘位置设有与柜体(1)的外侧壁相抵的挡板，所述挡板的外侧贯穿设有与柜体(1)的外侧壁通过螺纹固定的羊角螺栓，所述柜体(1)的外侧壁设有控制器(17)，所述电动推杆二(8)、电动推杆二(8)均与控制器(17)电性连接。2.根据权利要求1所述的一种led用单晶硅片清洗设备，其特征在于：所述柜体(1)的一内壁设有与过过滤板(3)相匹配的放置槽(18)，所述柜体(1)的另一侧内壁设有与过滤板(3)相匹配的放置孔(19)，所述放置孔(19)的上侧设有与柜体(1)的外侧壁相连的电动推杆一(20)，所述电动推杆一(20)的输出端连接设有密封板(21)，所述密封板(21)的下端与过滤板(3)的上端相抵，所述电动推杆一(20)与控制器(17)电性连接。3.根据权利要求1所述的一种led用单晶硅片清洗设备，其特征在于：所述过滤板(3)在柜体(1)的内侧为滤网结构，且过滤板(3)在柜体(1)的外侧为实体结构。4.根据权利要求1所述的一种led用单晶硅片清洗设备，其特征在于：所述排水管一(2)和排水管二(5)内均设有控制阀，所述控制阀与控制器(17)电性连接。5.根据权利要求2所述的一种led用单晶硅片清洗设备，其特征在于：所述密封板(21)的下端连接设有锁紧块，所述过滤板(3)的上侧壁连接设有与锁紧块相匹配的锁紧槽。6.根据权利要求1所述的一种led用单晶硅片清洗设备，其特征在于：所述隔板(4)的上侧壁为朝向排水管二(5)的倾斜结构设置。7.根据权利要求1所述的一种led用单晶硅片清洗设备，其特征在于：所述柜体(1)的外侧壁设有水泵(22)，所述水泵(22)的进水端贯穿过滤板(3)下方的柜体(1)侧壁，所述过滤板(3)的输出端与通过水管贯穿柜体(1)设置在过滤板(3)上方的侧壁。8.根据权利要求1所述的一种led用单晶硅片清洗设备，其特征在于：所述夹块一和夹板二(10)的内侧设有设置在多个隔块(24)之间的橡胶垫(23)。9.根据权利要求1所述的一种led用单晶硅片清洗设备，其特征在于：所述驱动机构包括驱动电机(25)，所述驱动电机(25)设置在柜体(1)的外侧壁，所述驱动电机(25)的输出端连接设有锥齿轮一，所述柜体(1)转动的贯穿设有转轴(26)，所述转轴(26)的一端与固定罩
(14)的一端相连接，所述转轴(26)的另一端连接设有与锥齿轮一啮合设置的锥齿轮二，所述驱动电机(25)与控制器(17)电性连接。10.一种led用单晶硅片清洗设备的使用方法，其特征在于：s1：转动羊角螺栓将盖板(16)取下，进而打开电动推杆三(11)进行收缩，将固定块(13)在固定罩(14)的外侧取出，进而将固定板(6)通过柜体(1)内取下。s2：打开电动推杆二(8)顶动与滑块相连接的夹板一(9)，增大夹板一(9)和夹板二(10)的距离，将需要进行固定的单晶硅片本体放置在夹板一(9)和夹板二(10)之间，通过打开电动推杆二(8)收缩进行将夹板一(9)和夹板二(10)夹紧需要固定大单晶硅片。s3：将固定板(6)放置再柜体(1)内，将固定板(6)一侧的固定块(13)放置在固定槽(15)内，通过打开带电动推杆三(11)将输出端插入到转动筒(12)内，进而将固定板(6)固定。s4：将盖板(16)通过羊角螺栓固定在柜体(1)上，关闭控制阀一，通过进水管将需要清洁的水输入到柜体(1)内，通过打开驱动电机(25)带动锥齿轮一的转动，配合锥齿轮一和锥齿轮二带动转轴(26)的转动，进而通过转轴(26)带动固定罩(14)转动，进而通过固定块(13)带动固定板(6)的转动，进而通过夹板一(9)和夹板二(10)转动带动单晶硅片在柜体(1)内转动，进而搅动水对单晶硅片上的残渣清洗掉。s5：清洗之后打开控制阀二，清洗之后含有残渣排放到过滤板(3)上进行过滤板(3)，过滤后的水储存在过滤板(3)的下侧，通过打开水泵(22)将过滤后的水输入到隔板(4)的上侧进行重复使用。s6：通过打开控制阀二便于进行将循环使用的水排出。s7：通过打开电动推杆将密封板(21)上升，将过滤板(3)拔出进行清理过滤的残渣。

技术总结
本发明公开了一种LED用单晶硅片清洗设备，包括柜体，柜体的下端设有多个支撑脚，柜体的下端连通设有设置在多个支撑脚之间的排水管一，柜体内侧设有可拆卸的过滤板，柜体的内侧壁连接设有设置在过滤板上方的隔板，隔板上连通设有排水管二，柜体内转动设有对称设置的固定板，两个固定板的内侧壁均设有滑槽，两个滑槽的一端连接设有电动推杆二，两个电动推杆二的输出端均连接设有与滑槽的内壁相抵的滑块，两个滑块之间连接设有夹板一，两个固定板在远离夹板一的内侧壁连接设有夹板二。本发明与现有技术相比的优点在于：清洗的效率更高，固定的更加稳固；通过转动多个单晶硅片，在进行清洗时效果更好便于取出过滤板清洗废渣，便于重复的过滤使用。于重复的过滤使用。于重复的过滤使用。


技术研发人员：王佳伟 江献茂 丁剑
受保护的技术使用者：苏州冠博控制科技有限公司
技术研发日：2021.11.25
技术公布日：2022/3/8