半自动真空抛光头贴片机的制作方法

1.本发明涉及贴片设备技术领域，具体为半自动真空抛光头贴片机。


背景技术：

2.晶圆生产过程中，其表面会因切割产生机械损伤并附着部分金属离子，化学机械抛光(cmp)技术可以去除晶圆表面的伤痕和污染，是半导体晶圆实现表面平坦化的关键过程。如图1所示，现有技术中抛光主要工艺流程是：将待抛光晶圆40吸附在抛光机的抛光头14上，在一定的压力下，抛光晶圆40与抛光平台上的抛光垫50做相对运动，并配合抛光液，使被抛光晶圆40下表面达到高平坦化要求。抛光之前，需要在抛光头14下表面贴pad(支撑片15)，贴附要求是支撑片15与抛光头14保持同心，并且支撑片15与抛光头14间不能残留气泡，否则会导致抛光效果变差。其中，支撑片15呈圆片状，支撑片15其中一面中心开设有圆形凹槽。
3.现有技术中贴片采用人工操作，即取下抛光头14，将支撑片15贴在抛光头14下表面，由于人工贴片在常压下进行，较易在支撑片15与抛光头14间残留气泡，所以需要执行去气泡流程，最后还需要按压不少于6小时以保证贴片强度，人工贴片对工作人员熟练程度要求较高，而且贴片费时，效率低，贴片效果难以保证。


技术实现要素：

4.针对上述存在的技术不足，本发明的目的是提供一种半自动真空抛光头贴片机，贴片过程在真空环境内完成，工作人员只需操作贴片机即可，对工作人员熟练度要求低，贴片效果好，大大缩短贴片所需时间。
5.为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：
6.本发明提供一种半自动真空抛光头贴片机，所述贴片机包括：
7.真空贴片箱，所述真空贴片箱的内腔为真空密封腔体；
8.下柜体；
9.下模组组件，所述下模组组件上放置有支撑片；
10.上模组组件，所述上模组组件上安装抛光头，所述上模组组件和下模组组件上下同轴设置于真空贴片箱内；
11.真空组件，所述真空组件安装于下柜体中，所述真空组件与真空贴片箱连通，所述真空组件用于对真空贴片箱抽真空；
12.动力组件，用于为上模组组件上下运动提供动力，所述动力组件与上模组组件连接；
13.定位系统，所述定位系统包括定位组件，所述定位组件用于对下模组组件进行定位以调整所述下模组组件相对上模组组件的同轴度。
14.优选地，所述真空组件包括真空泵，所述真空泵通过管道连通至真空贴片箱内；
15.所述动力组件包括气缸，所述气缸安装于真空贴片箱上表面中心处，所述气缸的
活塞杆向下伸入至真空贴片箱内，所述气缸的活塞杆端部通过浮动接头固定上模组组件。
16.优选地，所述上模组组件包括上模板，所述上模板呈圆形板状，所述上模板下方设有圆形台阶，所述圆形台阶与抛光头相适应，所述上模板通过圆形台阶套接抛光头，并通过螺栓进一步将上模板和抛光头螺纹固定。
17.优选地，所述上模板的左右两侧对称一体连接挂耳，所述上模板通过其左右两侧的挂耳与导向轴滑动连接。
18.优选地，所述下模组组件包括支撑台，所述支撑台上放置有支撑片，所述支撑台包括从下到上依次设置的底盘、缓冲垫片和内承台，所述底盘、缓冲垫片和内承台的中心轴线在一条直线上，所述底盘在缓冲垫片和内承台的外侧套设外压盘，所述外压盘呈圆环状，所述内承台高出外压盘，所述内承台高出外压盘的部分与支撑片的圆形凹槽相适应，所述支撑片通过其中心的圆形凹槽套接在内承台上。
19.优选地，所述定位组件包括限位块，所述限位块有多个，多个所述限位块圆周均匀位于外压盘的外侧，所述限位块的顶丝对外压盘进行顶紧；
20.所述定位系统还包括导向轴，所述导向轴有两个，两个所述导向轴对称位于上模板的左右两侧。
21.优选地，所述上模板上部通过旋合安装上模组卡爪，所述上模组卡爪具有不少于两个的圆周均匀分布的卡爪，每个所述卡爪的中部均径向安装有球形柱塞，所述球形柱塞采用自锁式球形柱塞，所述上模板的上表面中心处开设卡爪槽，所述卡爪槽的上表面固定安装有圆环状的限位板，所述限位板的内圆向内延伸形成与卡爪相对应的卡爪限位片，每个卡爪限位片的中部分别径向开设一个柱塞孔，所述柱塞孔的边缘倒角，所述柱塞孔与球形柱塞相适应，所述限位板内侧形成的孔与上模组卡爪相适应。
22.优选地，所述下模组组件包括贴片盘，所述贴片盘内放置有支撑片，所述贴片盘的内侧壁上部呈从上到下孔径逐渐缩小的喇叭状，所述贴片盘的侧壁圆周均匀开设2-6个缺口；
23.所述贴片盘底部与支撑片之间设有弹性垫，所述弹性垫上表面设有与支撑片的圆形凹槽相匹配的台阶。
24.优选地，所述定位组件包括定位板，所述真空贴片箱在贴片盘后侧螺纹固定定位板，所述定位板靠近贴片盘的一侧呈v形，所述定位板的v形尖角处呈圆角，所述定位板的v形一侧与贴片盘相切设置。
25.优选地，所述真空贴片箱和下柜体采用上下一体设置，或者，
26.所述真空贴片箱和下柜体分体设置，所述真空贴片箱放置于工具桌或车间台架上，所述下柜体放置于地面上。
27.优选地，所述真空贴片箱前端面转动连接带视窗的密封门。
28.优选地，所述真空贴片箱的上表面固定有真空压力表，所述真空贴片箱上还设有控制器，控制器与气缸和真空泵电性连接。
29.本发明的有益效果在于：
30.(1)本发明通过上模组组件支撑并定位抛光头，下模组组件对支撑片进行限位，定位系统使抛光头与支撑片保持较高的同轴度，真空组件能保证真空贴片箱内的真空环境，使贴片过程在较高真空压力下进行；限位块为可调节结构，方便后期校准及维修；动力组件
通过气缸为贴片过程提供动力，保证平稳、安全的完成贴片。
31.(2)本发明一个实施例的定位系统通过导向轴和限位块使抛光头与支撑片保持较高的同轴度，导向轴作为气缸的导轨，确保贴片过程中上模板的圆形台阶与支撑台有较高的同轴度。支撑片通过其中心的圆形凹槽套接在内承台高出外压盘的部分上，能够方便快捷的完成支撑片的定位，节省时间；同时，真空贴片箱在外压盘的外侧圆周设有多个限位块，限位块的顶丝对外压盘进行顶紧，防止其移位，对支撑台进行限位；内承台下方设有缓冲垫片，其作用是使支撑片表面受力更均匀，并能起到减震作用；
32.(3)本发明另一实施例通过定位板以及贴片盘内壁喇叭状的设置及缺口的设置，使抛光头与下模组组件在压合时能够自动定心，保持较高的同轴度。定位板靠近贴片盘的一侧呈v形，定位板的v形一侧刚好卡住贴片盘，防止其移位。
33.(4)本发明另一实施例上模板上部通过旋合安装上模组卡爪，通过上模组卡爪上的球形柱塞与上模板上的柱塞孔配合使用，如此可以拆卸上模板，抛光头在真空贴片箱外即可安装到上模板上去，操作更加方便，减少安装时间；
34.(5)本发明实现了机械贴片代替人工贴片，降低了对工作人员熟练度的要求，提高贴片效率；贴片过程在真空密封腔体内进行，贴片后无气泡，抛光头和下模组同轴度高；
35.(6)贴片过程在气缸的驱动下完成，输出力较强，省去人工按压时间，节约时间达80％以上；真空贴片箱前端面转动连接带视窗的密封门，可以实时观察贴片进程和贴片效果，有助于工作人员对贴片效果做出准确判断。
36.(7)气缸与缓冲垫片配合使用，可以使贴片过程更加平稳，使贴片过程受力更均匀，缓冲垫片可以发挥减震作用，与缓冲立柱配合使用，保护气缸和支撑片不受损坏，同时防止人员受到伤害。
附图说明
37.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
38.图1为现有晶圆抛光机使用状态局部示意图；
39.图2为本发明实施例1提供的半自动真空抛光头贴片机的结构示意图；
40.图3为本发明实施例1提供的半自动真空抛光头贴片机的真空贴片箱立体图；
41.图4为图2中上模板组件与导向轴装配状态的局部放大图；
42.图5为本发明实施例1中上模板的俯视图；
43.图6为本发明实施例1中下模组组件的剖视图；
44.图7为本发明实施例1中下模组组件和限位块安装后与支撑片的分解图；
45.图8为本发明实施例2提供的半自动真空抛光头贴片机的结构示意图；
46.图9为本发明实施例2中真空贴片箱的立体图；
47.图10为本发明实施例2中上模组卡爪、上模板和抛光头的分解图；
48.图11为本发明实施例2中上模组卡爪和上模板安装后的俯视图；
49.图12为本发明实施例2中上模组卡爪、上模板和抛光头安装后的剖视图；
50.图13为图12中ⅰ处的放大图；
51.图14为本发明实施例2中真空贴片箱下部的俯视图；
52.图15为本发明实施例2中下模组组件剖视图。
53.附图标记说明：
54.气缸1、真空压力表2、密封门3、真空贴片箱4、上模板5、下柜体6、真空泵7、浮动接头8、缓冲块9、导向轴10、圆形台阶11、法兰直线轴承12、定位销13、抛光头14、支撑片15、支撑台16、缓冲垫片161、底盘162，内承台163，外压盘164，导向轴底座17、限位块18、缓冲立柱19、贴片盘20、缺口21、定位板22、弹性垫23、上模组卡爪30、卡爪31、球形柱塞32、挂耳51、限位板52、柱塞孔53、卡爪槽54、卡爪限位片55。
具体实施方式
55.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
56.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
57.实施例1：
58.如图2-7所示，本发明提供了半自动真空抛光头贴片机，包括真空贴片箱4和下柜体6、下模组组件、上模组组件、动力组件、定位系统和真空组件，所述下柜体6的上方固定真空贴片箱4，固定方式采用焊接或螺纹连接，所述下柜体6内安装有真空组件，所述真空组件包括真空泵7，所述真空泵7通过管道连通至真空贴片箱4内，所述真空贴片箱4内腔为真空密封腔体，是贴片的工作区，真空贴片箱4内腔的顶部均匀布置有真空头(图中未标出)，或者真空贴片箱4内侧壁周向均匀布置有真空头(图中未标出)，真空头通过管道与真空泵7连通，贴片过程在真空环境中进行，有效避免支撑片15与抛光头14间残留气泡，真空压力为设定值，真空压力具体值根据实际需要设定。
59.所述动力组件包括气缸1，所述气缸1采用双作用气缸，双作用气缸可以使抛光头14在真空密封腔体内做往复运动，运动行程和速度均可控制，动力组件为贴片过程提供动力，保证平稳、安全的完成贴片。
60.所述气缸1安装于真空贴片箱4上表面中心处，所述气缸1的活塞杆向下伸入至真空贴片箱4内，所述气缸1的活塞杆端部通过浮动接头8固定上模组组件，浮动接头8的作用是减轻被驱动气缸的偏心和平行精度不足的问题，所述上模组组件通过定位系统定位，所述上模组组件包括上模板5，所述上模板5呈圆形板状，所述上模板5的左右两侧对称一体连接挂耳51，所述上模板5通过其左右两侧的挂耳51与导向轴10滑动连接，所述上模板5下方设有圆形台阶11，所述圆形台阶11与抛光头14相适应，所述上模板5通过圆形台阶11套接抛光头14，并通过螺栓进一步将上模板5和抛光头14螺纹固定。进一步地，所述上模板5在圆形台阶11的左右两侧对称设有定位销13，两个定位销13对抛光头14进行定位。
61.所述定位系统包括导向轴10和限位块18，所述导向轴10有两个，两个所述导向轴10对称位于上模板5的左右两侧，两个所述导向轴10的上下两端分别通过导向轴底座17固定于真空贴片箱4的顶板和底板上，所述挂耳51与导向轴10的连接处安装有法兰直线轴承12。
62.所述真空贴片箱4在上模组组件的正下方设有下模组组件，所述下模组组件包括支撑台16，所述支撑台16上放置有支撑片15，如图6和图7所示，所述支撑台16包括从下到上依次设置的底盘162、缓冲垫片161和内承台163，所述底盘162、缓冲垫片161和内承台163的中心轴线在一条直线上，缓冲垫片161和内承台163直径相同，所述底盘162的直径大于内承台163的直径，所述底盘162在缓冲垫片161和内承台163的外侧套设外压盘164，所述外压盘164呈圆环状，所述外压盘164的外径小于底盘162的直径，所述外压盘164的外径不小于支撑片15的直径，所述内承台163高出外压盘164，所述内承台163高出外压盘164的部分与支撑片15的圆形凹槽相适应，所述支撑片15通过其中心的圆形凹槽套接在内承台163上，进一步地，所述真空贴片箱4在外压盘164的外侧圆周设有多个限位块18，本实施例中限位块18的数量为3个，所述限位块18的顶丝对外压盘164进行顶紧，防止其移位，对支撑台16进行限位，缓冲垫片161位于内承台163下方，其作用是使支撑片15表面受力更均匀，并能起到减震作用；
63.在本发明的一些实施例中，所述真空贴片箱4内的顶板上对称固定两个缓冲块9，所述缓冲块9用于缓冲上模组组件与真空贴片箱4的顶板，防止上模组组件上升过高顶到真空贴片箱4的顶板。
64.在本发明的一些实施例中，所述真空贴片箱4的底板上对称固定两个缓冲立柱19，两个所述缓冲立柱19位于两个挂耳51的正下方。缓冲块9和缓冲立柱10为应急保护装置。
65.在本发明的一些实施例中，所述真空贴片箱4前端面转动连接带视窗的密封门3，可以实时观察贴片进程。所述真空贴片箱4的箱体采用金属结构。
66.在本发明的一些实施例中，所述真空贴片箱4的上表面固定有真空压力表2，对真空贴片箱4内真空压力进行检测。系统内真空度可调，可满足不同真空度的要求，所述真空贴片箱4上还设有控制器(图中未画出)，控制器与气缸1和真空泵7电性连接，可以对真空泵的开关、真空压力调节以及气缸1活塞杆的升降调节。
67.工作原理：
68.工作前，打开真空贴片箱4的密封门3，手动将抛光头14安装到圆形台阶11上，将支撑片15套在支撑台16的内承台163上，上模组组件用于支撑并定位抛光头14，下模组组件用于固定支撑片15，关闭密封门3，真空组件对真空贴片箱4进行抽真空，达到设定压力后，气缸1带动上模组组件和抛光头14向下运动，运动至支撑片15进行贴片，完成贴片后向上运动至初始位置，泄压后打开密封门3，取出贴好片的抛光头14，完成贴片；
69.下模组组件包括支撑台16，并利用其上的内承台163对支撑片15进行限位，所述真空组件能保证真空贴片箱4内的真空环境，使贴片过程在较高真空压力下进行；所述上模组组件用于支撑并定位抛光头14，所述定位系统通过导向轴10和限位块18使抛光头14与支撑片15保持较高的同轴度，导向轴10作为气缸1的导轨，确保贴片过程中上模板5的圆形台阶11与支撑台16有较高的同轴度。限位块18为可调节结构，方便后期校准及维修；所述动力组件通过气缸1为贴片过程提供动力，保证平稳、安全的完成贴片。
70.实施例2
71.如图8-15所示，半自动真空抛光头贴片机，包括真空贴片箱4和下柜体6、下模组组件、上模组组件、动力组件和真空组件，所述真空贴片箱4和下柜体6分体设置，所述真空贴片箱4放置于工具桌或车间台架上，所述下柜体6放置于地面上，真空贴片箱4和下柜体6分开放置，可防止真空泵7工作时的振动传递到真空贴片箱4上；
72.所述下柜体6内安装有真空组件，所述真空组件包括真空泵7，所述真空泵7通过管道连通至真空贴片箱4内，所述真空贴片箱4内腔为真空密封腔体，是贴片的工作区，贴片过程在真空环境中进行，有效避免支撑片15与抛光头14间残留气泡，真空贴片箱4内腔的顶部均匀布置有真空头(图中未标出)，或者真空贴片箱4内侧壁周向均匀布置有真空头(图中未标出)，真空头通过管道与真空泵7连通。
73.所述动力组件包括气缸1，所述气缸1采用双作用气缸，双作用气缸可以使抛光头14在真空贴片箱4内做往复运动，运动行程和速度均可控制，动力组件为贴片过程提供动力，保证平稳、安全的完成贴片。气缸1可带动抛光头14做上、下运动，使得抛光头14与放置在下模组组件上的支撑片15能够完成贴合。
74.所述气缸1安装于真空贴片箱4上表面中心处，所述气缸1的活塞杆向下伸入至真空贴片箱4内，所述气缸1的活塞杆端部通过浮动接头8固定上模组组件，浮动接头8的作用是减轻被驱动气缸的偏心和平行精度不足的问题。
75.所述上模组组件包括上模板5，所述上模板5呈圆形板状，所述上模板5下部设有圆形台阶11，所述的上模板5的直径大于圆形台阶11的直径，所述圆形台阶11与抛光头14相适应，所述上模板5下部通过圆形台阶连接抛光头14，并通过螺栓将上模板5和抛光头14进一步螺纹固定。
76.所述上模板5上部通过旋合安装上模组卡爪30，所述上模组卡爪30具有三个圆周均匀分布的卡爪31，三个所述卡爪31的中部均径向安装有球形柱塞32，所述球形柱塞32采用自锁式球形柱塞，球形柱塞32采用现有技术，例如，可采用东莞市聚晟自动化科技有限公司生产的bpk8或者bpk6、bpk...全系列米思米柱塞，所述上模板5的上表面中心处开设卡爪槽54，所述卡爪槽54的上表面固定安装有圆环状的限位板52，所述限位板52的内圆向内延伸形成三个圆周均匀分布的卡爪限位片55，三个卡爪限位片55的中部分别径向开设一个柱塞孔53，所述柱塞孔的边缘倒角，三个所述柱塞孔53与三个球形柱塞32相适应，所述限位板52内侧形成的孔与上模组卡爪30相适应，安装时，上模组卡爪30通过限位板52中心的孔进入上模板5的卡爪槽54中，通过旋合，使三个球形柱塞32刚好卡入限位板52的三个柱塞孔53中，如此便完成了安装；拆卸时，通过继续旋转上模板5，使其刚好旋至限位板52内侧形成的孔中，即可拿出。
77.如图9、图14和图15所示，所述真空贴片箱4在抛光头14的正下方同轴放置有下模组组件，所述下模组组件包括贴片盘20，所述贴片盘20呈上端敞口的圆筒状，所述贴片盘20内放置有支撑片15，进一步地，所述贴片盘20底部与支撑片15之间设有弹性垫23，所述贴片盘20底部的内径和弹性垫23的直径与支撑片15的直径相等，所述弹性垫23上表面设有与支撑片15的圆形凹槽相匹配的台阶(图中未标出)，所述贴片盘20的内侧壁上部呈从上到下孔径逐渐缩小的喇叭状，所述贴片盘20的侧壁圆周均匀开设2-6个缺口21，贴片盘20内壁喇叭状的设置及缺口21的设置，使抛光头14与下模组组件在压合时能够自动定心，保持较高的
同轴度。
78.所述定位系统包括定位板22，所述真空贴片箱4在贴片盘20后侧螺纹固定定位板22，所述定位板22靠近贴片盘20的一侧呈v形，所述定位板22的v形尖角处呈圆角，所述定位板22的v形一侧与贴片盘20相切设置，首次使用时，先将贴片盘20放于抛光头14的正下方，气缸1带动抛光头14下压，下压至贴片盘时，由于贴片盘20内壁喇叭状的设置及缺口21的设置，使抛光头14与下模组组件在压合时能够自动定心，此时微调定位板22，用螺栓紧固定位。
79.在本发明的一些实施例中，所述贴片盘20远离定位板22的一侧设有限位块18，限位块18的结构与实施例1限位块相同，所述限位块18的通过顶丝对贴片盘20进行顶紧，防止其移位，通过定位板22和限位块18对贴片盘20进行限位，在以后使用中无需再次定位，若更换使用不同规格大小的贴片盘20，需再次定位。
80.在本发明的一些实施例中，所述真空贴片箱4前端面转动连接带视窗的密封门3，可以实时观察贴片进程。所述真空贴片箱4的箱体采用金属结构。
81.在本发明的一些实施例中，所述真空贴片箱4的上表面固定有真空压力表2，对真空贴片箱4内真空压力进行检测。系统内真空压力可调，可满足不同真空压力的要求，所述真空贴片箱4上还设有控制器(图中未画出)，可以对真空泵进行开关、真空压力调节以及升降调节。
82.工作原理：
83.贴片盘20的定位：
84.先将贴片盘20放于抛光头14的正下方，气缸1带动抛光头14下压，下压至贴片盘20时，由于贴片盘20内壁喇叭状的设计及缺口21的设置，使抛光头14与贴片盘20在压合时能够自动定心，此时微调定位板22，并用螺栓紧固定位，再通过限位块18的顶丝对贴片盘20进行顶紧，防止其移位，通过定位板22对贴片盘20进行限位，定位完成后，再通过气缸1带动抛光头14升起即可。
85.贴片时，转动上模板5，刚好旋至限位板52内侧形成的孔与上模组卡爪30相对应，拿出上模板5，再将抛光机的抛光头14套在上模板5下部的圆形台阶上，并通过螺栓进一步固定，再将上模板5安装到上模组卡爪30上，通过旋合，使三个球形柱塞32刚好卡入限位板52的三个柱塞孔53中，如此便完成了安装，将支撑片15放置在贴片盘20内，关闭密封门3后抽真空，抽至设定压力后启动气缸1，在气缸1的驱动下，抛光头14向下运动，完成贴片后向上运动至初始位置，泄压后打开密封门3，取出抛光头14完成贴片。
86.本实施例与实施例1的区别在于，实施例1安装抛光头在上模组组件上时，只能在真空贴片箱4进行，本实施例可以将上模组组件取出，在真空贴片箱4外把抛光头14安装到上模组组件上，然后再将上模组组件和抛光头14一起安装到真空贴片箱4内。
87.实施例1和实施例2的贴片过程在真空贴片箱4内进行，支撑片15与抛光头14间不会残留气泡，贴片过程由气缸1驱动抛光头14完成，压力可调，无需工作人员手动完成，相比人工贴膜节省达80％以上的时间，同时降低了对工作人员熟练度的要求，达到了较好的贴片效果，提高了贴片效率。
88.显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围
之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

技术特征：
1.半自动真空抛光头贴片机，其特征在于，所述贴片机包括：真空贴片箱，所述真空贴片箱的内腔为真空密封腔体；下柜体；下模组组件，所述下模组组件上放置有支撑片；上模组组件，所述上模组组件上安装抛光头，所述上模组组件和下模组组件上下同轴设置于真空贴片箱内；真空组件，所述真空组件安装于下柜体中，所述真空组件与真空贴片箱连通，所述真空组件用于对真空贴片箱抽真空；动力组件，用于为上模组组件上下运动提供动力，所述动力组件与上模组组件连接；定位系统，所述定位系统包括定位组件，所述定位组件用于对下模组组件进行定位以调整所述下模组组件相对上模组组件的同轴度。2.如权利要求1所述的半自动真空抛光头贴片机，其特征在于，所述真空组件包括真空泵，所述真空泵通过管道连通至真空贴片箱内；所述动力组件包括气缸，所述气缸安装于真空贴片箱上表面中心处，所述气缸的活塞杆向下伸入至真空贴片箱内，所述气缸的活塞杆端部通过浮动接头固定上模组组件。3.如权利要求1所述的半自动真空抛光头贴片机，其特征在于，所述上模组组件包括上模板，所述上模板呈圆形板状，所述上模板下方设有圆形台阶，所述圆形台阶与抛光头相适应，所述上模板通过圆形台阶套接抛光头，并通过螺栓进一步将上模板和抛光头螺纹固定。4.如权利要求3所述的半自动真空抛光头贴片机，其特征在于，所述上模板的左右两侧对称一体连接挂耳，所述上模板通过其左右两侧的挂耳与导向轴滑动连接。5.如权利要求1所述的半自动真空抛光头贴片机，其特征在于，所述下模组组件包括支撑台，所述支撑台上放置有支撑片，所述支撑台包括从下到上依次设置的底盘、缓冲垫片和内承台，所述底盘、缓冲垫片和内承台的中心轴线在一条直线上，所述底盘在缓冲垫片和内承台的外侧套设外压盘，所述外压盘呈圆环状，所述内承台高出外压盘，所述内承台高出外压盘的部分与支撑片的圆形凹槽相适应，所述支撑片通过其中心的圆形凹槽套接在内承台上。6.如权利要求4所述的半自动真空抛光头贴片机，其特征在于，所述定位组件包括限位块，所述限位块有多个，多个所述限位块圆周均匀位于外压盘的外侧，所述限位块的顶丝对外压盘进行顶紧；所述定位系统还包括导向轴，所述导向轴有两个，两个所述导向轴对称位于上模板的左右两侧。7.如权利要求3所述的半自动真空抛光头贴片机，其特征在于，所述上模板上部通过旋合安装上模组卡爪，所述上模组卡爪具有不少于两个的圆周均匀分布的卡爪，每个所述卡爪的中部均径向安装有球形柱塞，所述球形柱塞采用自锁式球形柱塞，所述上模板的上表面中心处开设卡爪槽，所述卡爪槽的上表面固定安装有圆环状的限位板，所述限位板的内圆向内延伸形成与卡爪相对应的卡爪限位片，每个卡爪限位片的中部分别径向开设一个柱塞孔，所述柱塞孔与球形柱塞相适应，所述限位板内侧形成的孔与上模组卡爪相适应。8.如权利要求1所述的半自动真空抛光头贴片机，其特征在于，所述下模组组件包括贴片盘，所述贴片盘内放置有支撑片，所述贴片盘的内侧壁上部呈从上到下孔径逐渐缩小的
喇叭状，所述贴片盘的侧壁圆周均匀开设2-6个缺口；所述贴片盘底部与支撑片之间设有弹性垫，所述弹性垫上表面设有与支撑片的圆形凹槽相匹配的台阶。9.如权利要求1所述的半自动真空抛光头贴片机，其特征在于，所述定位组件包括定位板，所述真空贴片箱在贴片盘后侧螺纹固定定位板，所述定位板靠近贴片盘的一侧呈v形，所述定位板的v形尖角处呈圆角，所述定位板的v形一侧与贴片盘相切设置。10.如权利要求1-9任一项所述的半自动真空抛光头贴片机，其特征在于，所述真空贴片箱和下柜体采用上下一体设置，或者，所述真空贴片箱和下柜体分体设置，所述真空贴片箱放置于工具桌或车间台架上，所述下柜体放置于地面上。

技术总结
本发明公开了一种半自动真空抛光头贴片机，包括：真空贴片箱；下柜体；下模组组件，下模组组件上放置有支撑片；上模组组件，上模组组件上安装抛光头，上模组组件和下模组组件上下同轴设置于真空贴片箱内；真空组件，真空组件安装于下柜体中，真空组件与真空贴片箱连通，真空组件用于对真空贴片箱抽真空；动力组件，用于为上模组组件上下运动提供动力，动力组件与上模组组件连接；定位系统，定位系统包括定位组件，定位组件用于对下模组组件进行定位以调整下模组组件相对上模组组件的同轴度。本发明贴片过程在真空密封腔体内进行，贴片后无气泡，抛光头和下模组同轴度高，通过气缸驱动，输出力较强，省去人工按压时间。省去人工按压时间。省去人工按压时间。


技术研发人员：汪佳 陈冬冬 王慧 王建军 孙固 王晓明 沈文雷 钱焰
受保护的技术使用者：徐州晶睿半导体装备科技有限公司
技术研发日：2022.01.18
技术公布日：2022/3/8