紫外固化系统及其控制方法与流程

1.本技术属于半导体加工技术领域，具体涉及一种紫外固化系统及其控制方法。


背景技术：

2.在半导体领域中，紫外固化工艺是比较常见的加工工艺，而光源又是紫外固化工艺必不可少的装置，因此光源的结构对紫外固化工艺的效果具有至关重要的影响。
3.由于产能及工艺要求的限制，紫外固化工艺所采用的光源通常为长条状光源，而需要固化的晶圆为圆形结构，为了满足均匀性要求，就需要通过驱动机构带动光源旋转，以使光源发出的光均匀地扫过晶圆。
4.然而，紫外固化系统长时间运转会导致带动光源旋转的驱动机构的机械结构发生松动或磨损变形，进而导致光源旋转过程中出现光源的实际旋转角度与目标角度不一致的情况，进而导致光源发出的光无法均匀地扫过晶圆，最终造成晶圆的加工质量较差，甚至出现产品不合格的情况。


技术实现要素：

5.本技术实施例的目的是提供一种紫外固化系统及其控制方法，能够解决晶圆的加工质量较差的问题。
6.为了解决上述技术问题，本技术是这样实现的：
7.第一方面，本技术实施例提供了一种紫外固化系统，包括驱动机构、第一光源、第二光源、位置检测组件和控制装置；其中，
8.所述驱动机构用于驱动所述第一光源和所述第二光源以至少一个单次旋转周期旋转；
9.所述位置检测组件用于在所述第一光源和所述第二光源的一个所述单次旋转周期内获取至少两组对应不同位置的检测信号，并将所述检测信号传递给所述控制装置；
10.所述控制装置用于根据所述检测信号获取所述驱动机构驱动所述第一光源和所述第二光源在一个所述单次旋转周期内旋转到对应位置的实际旋转参数，并在理论旋转参数与所述实际旋转参数满足校正条件时，根据所述实际旋转参数校正所述驱动机构在下一个单次旋转周期内的理论旋转参数。
11.第二方面，本技术实施例提供了一种紫外固化系统的控制方法，应用于上述紫外固化系统，其包括：
12.驱动所述第一光源和所述第二光源以至少一个单次旋转周期旋转，并获取所述驱动机构在所述单次旋转周期内的理论旋转参数；
13.在所述第一光源和所述第二光源的一个所述单次旋转周期内获取至少两组对应不同位置的检测信号；
14.根据所述检测信号获取所述驱动机构驱动所述第一光源和所述第二光源在一个所述单次旋转周期内旋转到对应位置的实际旋转参数；
15.当所述理论旋转参数与所述实际旋转参数满足校正条件时，根据所述实际旋转参数校正所述驱动机构在下一个单次旋转周期内的理论旋转参数。
16.本技术实施例中，紫外固化系统的位置检测组件可以在第一光源和第二光源的一个单次旋转周期内获取至少两组对应不同位置的检测信号，并将检测信号传递给控制装置，进而使得控制装置可以获得驱动机构驱动第一光源和第二光源在一个单次旋转周期内旋转到对应位置的实际旋转参数，将该实际旋转参数与理论旋转参数进行对比，就可以获知驱动机构的旋转运动所存在的误差大小，最终在该误差需要进行校正时调整驱动机构的理论旋转参数，从而使得驱动机构在一个单次旋转周期内对应位置的实际旋转角度与理论旋转角度趋于一致，以使第一光源和第二光源发出的光更均匀地扫过晶圆，进而提升晶圆的加工质量。
附图说明
17.图1和图2分别为本技术实施例公开的紫外固化系统在不同状态下的结构示意图，图1和图2中的箭头线表示第一光源和第二光源的旋转方向；
18.图3为本技术实施例公开的紫外固化系统的控制方法的流程示意图。
19.附图标记说明：
20.110-基座、120-驱动机构、121-驱动源、122-传动带、123-主动轮、124-第一从动轮、125-第二从动轮、126-第一惰轮、127-第二惰轮、130-第一光源、140-第二光源、151-第一传感器、152-第一触发件、153-第二传感器、154-第二触发件。
具体实施方式
21.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
22.本技术的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便本技术的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一，字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
23.下面结合附图，通过具体的实施例及其应用场景对本技术实施例提供的紫外固化系统及其控制方法进行详细地说明。
24.参考图1至图2，本技术实施例公开一种紫外固化系统，可选地，该紫外固化系统可以用于实现晶圆的紫外固化操作。该紫外固化系统包括基座110、驱动机构120、第一光源130、第二光源140、位置检测组件和检测装置。这里的第一光源130和第二光源140可以朝向不同的晶圆，通过同一个驱动机构120同时驱动第一光源130和第二光源140旋转，从而同时实现两个晶圆的紫外固化操作。当然，光源的数量还可以进一步增加，从而同时实现更多晶圆的紫外固化操作。
25.基座110为紫外固化系统的安装基础，可以为工艺腔室的上盖，驱动机构120设置
于基座110，驱动机构120用于驱动第一光源130和第二光源140以至少一个单次旋转周期旋转。可选地，驱动机构120包括驱动源121和传动组件，驱动源121与传动组件相连，第一光源130和第二光源140均设置于传动组件，驱动机构120通过传动组件驱动第一光源130和第二光源140以至少一个单次旋转周期旋转。可选地，这里的驱动源121可以是电机。需要说明的是，在一个单次旋转周期内，第一光源130和第二光源140可以沿一个方向旋转，也可以沿两个相反的方向旋转，甚至可以是多次的往复旋转。
26.位置检测组件用于检测第一光源130和第二光源140在上述单次旋转周期内所处的位置，具体来讲，位置检测组件用于在第一光源130和第二光源140的一个单次旋转周期内获取至少两组对应不同位置的检测信号，并将检测信号传递给控制装置，换言之，在一个单次旋转周期内，当第一光源130和第二光源140处于不同位置时，位置检测组件可以获取至少两组与该不同位置对应的检测信号，该检测信号可以表示第一光源130和第二光源140所处的位置。
27.可选地，位置检测组件包括多个传感器和触发件，多个传感器均设置于基座110，当驱动机构120包括驱动源121和传动组件时，触发件可以设置于传动组件，即多个传感器可以固定不动，触发件则随传动组件一起运动，而触发件的运动形式可以是旋转，也可以是移动，甚至可以是旋转和移动的复合运动。可选地，触发件的数量可以为一个，同一个触发件可以先后分别与不同传感器相对；或者，触发件的数量为至少两个，不同的触发件可以分别与不同传感器相对。此外，传感器可以是光电传感器、压电传感器、磁敏传感器等类型的传感器，触发件可以为块状部件。
28.进一步可选地，位置检测组件可以包括多个传感器和多个触发件，多个触发件均设置于传动组件上。在第一光源130和第二光源140位于单次旋转周期内的第一位置的情况下，至少一个传感器与一个触发件相对，进而触发该传感器发出信号；在第一光源130和第二光源140位于单次旋转周期内的第二位置的情况下，至少一个传感器与一个触发件相对，进而触发该传感器发出信号。需要说明的是，这里所述的传感器与触发件相对，指的是传感器与触发件之间的距离足够近，从而保证传感器被触发。此外，在第一位置和第二位置，可以是不同的传感器被不同的触发件触发，从而通过传感器和触发件的对应关系更方便且更准确地获取检测信号。
29.控制装置用于根据检测信号获取驱动机构120驱动第一光源130和第二光源140在一个单次旋转周期内旋转到对应位置时的实际旋转参数，并在理论旋转参数与实际旋转参数满足校正条件时，根据实际旋转参数校正驱动机构120在下一个单次旋转周期内的理论旋转参数。可选地，这里的理论旋转参数可以包括驱动机构120的理论旋转角度；实际旋转参数可以包括驱动机构120的实际旋转角度；理论旋转参数与实际旋转参数满足校正条件指的是，理论旋转参数与实际旋转参数不匹配，进而导致驱动机构120无法使第一光源130和第二光源140旋转至目标位置，或者第一光源130和第二光源140旋转后所处的位置与目标位置之间存在较大的差异。
30.本技术实施例中，第一光源130和第二光源140旋转的过程中，位置检测组件可以在第一光源130和第二光源140的一个单次旋转周期内获取至少两组对应不同位置的检测信号，并将检测信号传递给控制装置，进而使得控制装置可以获得驱动机构120驱动第一光源130和第二光源140在一个单次旋转周期内旋转到对应位置的实际旋转参数，将该实际旋
转参数与理论旋转参数进行对比，就可以获知驱动机构120的旋转运动所存在的误差大小，最终在该误差需要进行校正时调整驱动机构120的理论旋转参数，从而使得驱动机构120驱动第一光源130和第二光源140在一个单次旋转周期内旋转到对应位置的实际旋转角度与理论旋转角度趋于一致，以使第一光源130和第二光源140发出的光更均匀地扫过晶圆，采用该实施例可以提升紫外固化工艺的稳定性和可靠性，进而提升晶圆的加工质量。
31.此外，当位置检测组件包括多个传感器时，一旦一部分传感器出现损坏，另一部分传感器仍然可以工作，以此保证紫外固化系统可以正常运行，进而不容易出现因传感器损坏而导致驱动机构120持续驱动第一光源130和第二光源140旋转，从而避免此种情况带来的硬件损伤。
32.可选地，传感器包括第一传感器151和第二传感器153，触发件包括第一触发件152和第二触发件154。在第一光源130和第二光源140位于第一位置的情况下，第一传感器151与第一触发件152相对；在第一光源130和第二光源140位于第二位置的情况下，第二传感器153与第二触发件154相对。此时，第一触发件152与第一传感器151对应，因此只有在第一触发件152与第一传感器151相对时，第一传感器151才会被触发，如果第二触发件154与第一传感器151相对，第一传感器151则不会被触发。同理地，第二触发件154与第二传感器153对应，因此只有在第二触发件154与第二传感器153相对时，第二传感器153才会被触发。因此，该实施例无需在第一传感器151被触发时区分与第一传感器151相对的是否为其对应的触发件，同理地，也不需要在第二传感器153被触发时区分与第二传感器153相对的是否为其对应的触发件，因此该实施例可以简化紫外固化系统的控制操作。
33.传动组件的结构形式可以灵活选择，例如可以采用齿式传动组件、带式传动组件、链式传动组件等。当传动组件为带式传动组件时，该传动组件可以包括传动带122、主动轮123、第一从动轮124、第二从动轮125，甚至还可以包括惰轮，该惰轮的数量可以是一个，也可以是两个甚至更多个，当惰轮的数量为至少两个时，传动组件还可以包括第一惰轮126和第二惰轮127。传动带122绕设于主动轮123、第一从动轮124、第二从动轮125、第一惰轮126和第二惰轮127，驱动源121与主动轮123相连，第一光源130与第一从动轮124相连，第二光源140与第二从动轮125相连。当驱动源121输出旋转驱动力时，主动轮123随之旋转，从而带动传动带122运动，传动带122进一步带动第一从动轮124、第二从动轮125、第一惰轮126和第二惰轮127旋转，第一光源130和第二光源140在第一从动轮124和第二从动轮125的带动下旋转。
34.当传动组件包括上述的传动带122、主动轮123、第一从动轮124、第二从动轮125、第一惰轮126和第二惰轮127时，第一触发件152和第二触发件154分别设置于传动带122、主动轮123、第一从动轮124、第二从动轮125、第一惰轮126和第二惰轮127中的任意两者上，即第一触发件152和第二触发件154设置于不同的旋转部件上。相比于第一触发件152和第二触发件154设置于同一个旋转部件的实施例，将第一触发件152和第二触发件154设置于不同的旋转部件上时，第一触发件152和第二触发件154的旋转轨迹不容易重叠，进而不容易出现第二触发件154与第一传感器151相对、第一触发件152与第二传感器153相对的情况，从而更便于对第一光源130和第二光源140的位置进行检测。
35.进一步可选地，由于第一从动轮124和第二从动轮125距离驱动源121较远，因此可以将第一触发件152设置于第一从动轮124，将第二触发件154设置于第二从动轮125，以使
得第一触发件152和第二触发件154的拆装不容易受到驱动源121的限制。更进一步地，第一触发件152设置于第一从动轮124的边缘处，第二触发件154设置于第二从动轮125的边缘处，以便于第一传感器151和第二传感器153更灵敏地感应到第一触发件152和第二触发件154。
36.第一传感器151、第二传感器153、第一触发件152和第二触发件154的具体设置位置可以灵活选择，只要能够在单次旋转周期内先后发出触发信号即可。第一传感器151与第一从动轮124的旋转中心之间的连线可以定义为第一连线，第二传感器153与第二从动轮125的旋转中心之间的连线可以定义为第二连线，第二触发件154与第二从动轮125的旋转中心之间的连线可以定义为第三连线，第一连线可以平行于第二连线，从而更便于布置第一传感器151和第二传感器153。
37.进一步地，在第一传感器151与第一触发件152相对的情况下，第二连线与第三连线之间的夹角大于或等于第一预设值，且小于或等于第一光源130和第二光源140在单次旋转周期内的旋转角度。换言之，在第一传感器151被触发的时刻与第二传感器153被触发的时刻之间，第一光源130和第二光源140的旋转角度不能太小，否则会降低位置检测组件的检测精度，同时该旋转角度不能超出第一光源130和第二光源140在单次旋转周期内的旋转角度，否则就无法在单次旋转周期内实现位置检测。
38.可选地，上述第一预设值可以灵活设置，为了提升位置检测组件的检测精度，可以将该第一预设值设置为30
°
，即第一传感器151被触发的时刻与第二传感器153被触发的时刻之间，第一光源130和第二光源140的旋转角度至少为30
°
。此外，第一光源130和第二光源140在单次旋转周期内的旋转角度可以为180
°
，通过第一光源130和第二光源140的单次旋转就可以使得第一光源130发出的光均匀地扫过一个晶圆，同时使第二光源140发出的光均匀地扫过另一个晶圆。因此，如此设置可以以最少的旋转次数实现紫外光均匀覆盖晶圆，以此提升固化效率。进一步地，在第一传感器151与第一触发件152相对的情况下，第二连线与第三连线之间的夹角可以等于180
°
，由于第一光源130和第二光源140在单次旋转周期内的旋转角度通常为180
°
，因此该设置方式可以满足紫外固化系统在大部分情况下的工作要求。
39.第一光源130和第二光源140通常具有初始位置，第一光源130和第二光源140以该初始位置作为旋转起点，当单次旋转周期结束后，第一光源130和第二光源140回到该初始位置，以便于进行下一次旋转。而单次旋转周期对应的起点可以是这里所说的初始位置，也可以是不同于初始位置的位置。基于此，可选地，紫外固化系统还包括第三传感器和第三触发件，第三传感器设置于基座110，第三触发件设置于传动组件，在第一光源130和第二光源140处于初始位置的情况下，第三传感器与第三触发件相对。当第三传感器被触发时，即表示第一光源130和第二光源140已经处于初始位置。此实施例中，第一光源130和第二光源140可以由初始位置开始旋转，经第一位置和第二位置后达到终点位置，然后再经过第二位置、第一位置后到达初始位置。随着传感器的数量增加，紫外固化系统应对传感器损坏这一意外情况的能力随之提升。
40.可选地，上述控制装置可以包括：
41.第一获取模块，用于获取驱动机构120在单次旋转周期内的理论旋转参数；
42.第二获取模块，用于根据位置检测组件的检测信号获取驱动机构120驱动第一光
源130和第二光源140在一个单次旋转周期内旋转到对应位置的实际旋转参数；
43.校正模块，用于在理论旋转参数与实际旋转参数满足校正条件时，根据实际旋转参数校正驱动机构120在下一个单次旋转周期内的理论旋转参数。
44.上述控制装置可以通过不同的模块执行不同的操作，从而更可靠地实现控制装置的功能。
45.本技术实施例中的控制装置可以是装置，也可以是终端中的部件、集成电路、或芯片。该装置可以是移动电子设备，也可以为非移动电子设备。示例性的，移动电子设备可以为手机、平板电脑、笔记本电脑、掌上电脑、车载电子设备、可穿戴设备等，非移动电子设备可以为服务器、网络附属存储器(network attached storage，nas)、个人计算机(personal computer，pc)等，本技术实施例不作具体限定。
46.本技术实施例中的控制装置可以为具有操作系统的装置。该操作系统可以为安卓(android)操作系统，可以为ios操作系统，还可以为其他可能的操作系统，本技术实施例不作具体限定。
47.如图3所示，本技术实施例还公开一种紫外固化系统的控制方法，该控制方法应用于上述任意实施例所述的紫外固化系统，其包括：
48.s100、驱动第一光源130和第二光源140以至少一个单次旋转周期旋转，并获取驱动机构120在单次旋转周期内的理论旋转参数。
49.控制驱动机构120工作，即可驱动第一光源130和第二光源140以至少一个单次旋转周期旋转。这里的理论旋转参数可以包括驱动机构120在单次旋转周期内的旋转角度。可选地，该理论旋转参数可以是无需考虑误差时驱动机构120的理论旋转参数，也可以是考虑误差后经过校正的校正旋转参数。
50.s200、在第一光源130和第二光源140的一个单次旋转周期内获取至少两组对应不同位置的检测信号。
51.在一个单次旋转周期内，当第一光源130和第二光源140处于不同位置时，位置检测组件可以获取至少两组对应的检测信号，该检测信号可以表示第一光源130和第二光源140所处的位置。
52.s300、根据检测信号获取驱动机构120驱动第一光源130和第二光源140在一个单次旋转周期内旋转到对应位置的实际旋转参数。
53.即获取位置检测组件获得检测信号的时刻之间，驱动机构120的实际旋转参数。可选地，该实际旋转参数可以包括驱动机构120的旋转角度。
54.s400、当理论旋转参数与实际旋转参数满足校正条件时，根据实际旋转参数校正驱动机构120在下一个单次旋转周期内的理论旋转参数。
55.当理论旋转参数与实际旋转参数不匹配时，就表示驱动机构120无法使第一光源130和第二光源140旋转至目标位置，或者第一光源130和第二光源140旋转后所处的位置与目标位置之间存在较大的差异。这时就需要校正驱动机构120在下一个单次旋转周期内的理论旋转参数，以使得驱动机构120根据该理论旋转参数运动后可以使第一光源130和第二光源140旋转至目标位置，或者使第一光源130和第二光源140旋转后所处的位置与目标位置之间的差异处于可接受范围。
56.上述控制方法可以获得驱动机构120在一个单次旋转周期内对应位置的实际旋转
参数，将该实际旋转参数与驱动机构120在一个单次旋转周期内对应位置的理论旋转参数进行对比，就可以获知驱动机构120的旋转运动所存在的误差大小，最终在该误差需要进行校正时调整驱动机构120的理论旋转参数，从而使得驱动机构120在一个单次旋转周期内对应位置的实际旋转角度与理论旋转角度趋于一致，以使第一光源130和第二光源140发出的光更均匀地扫过晶圆，进而提升晶圆的加工质量。
57.需要说明的是，判断理论旋转参数与实际旋转参数满足校正条件的过程中，需要对同性质的参数进行比较，具体来讲，可以将第一光源130和第二光源140在整个单次旋转周期内的理论旋转角度与实际旋转角度相比较，也可以将第一光源130和第二光源140在一个单次旋转周期内对应位置的理论旋转角度与实际旋转角度相比较，本技术实施例对此不作限制。
58.可选地，驱动机构120可以包括步进电机。此时，上述理论旋转参数可以包括驱动机构120驱动第一光源130和第二光源140在一个单次旋转周期内的第一位置和第二位置之间旋转时的理论输出步数，实际旋转参数包括驱动机构120驱动第一光源130和第二光源140在第一位置和第二位置之间旋转时的实际输出步数。上文提到的校正条件为：
59.|s1-s0|/s0＞第二预设值。
60.其中，s1为实际输出步数，s0为理论输出步数。即，实际输出步数与理论输出步数之间的差值的绝对值与理论输出步数之间的比值大于第二预设值。这里的第二预设值为可接受的误差值，一旦|s1-s0|/s0大于该可接受的误差值，就需要对驱动机构120的旋转参数进行校正。可选地，第二预设值可以为0.05、0.03、0.01、0.001或者其他数值，本技术实施例对此不作限制。
61.上述实施例对第一光源130和第二光源140旋转时的误差设置了可接受的范围，在该可接受的范围内可以不校正驱动机构120的旋转参数，因此该实施例降低了紫外固化系统的控制程序的负担，使得该控制程序可以更可靠地运行。
62.上述步骤s400中，对驱动机构120在下一个单次旋转周期内的理论旋转参数进行校正时，校正所得的理论旋转参数可以是当前的单次旋转周期所对应的旋转角度、输出步数等参数，如果下一个单次旋转周期内第一光源130和第二光源140的旋转范围与当前的单次旋转周期相同，则可以直接采用该校正后的理论旋转参数，如果下一个单次旋转周期内第一光源130和第二光源140的旋转范围与当前的单次旋转周期不同，就无法直接采用该校正后的理论旋转参数而需要进一步计算。为此，可选的实施例中，上述步骤s400中的根据实际旋转参数校正驱动机构120在下一个单次旋转周期内的理论旋转参数，具体为：
63.根据实际输出步数获得校正输出步数，校正输出步数为驱动机构120每旋转1
°
对应的输出步数，校正输出步数满足以下关系：
64.s2＝s1/θ；
65.其中，θ为当前的单次旋转周期内，驱动机构120在第一位置和第二位置之间旋转时的旋转角度。如此设置后，无论下一个单次旋转周期内第一光源130和第二光源140的旋转范围如何，校正后的理论旋转参数都是驱动机构120每旋转1
°
对应的输出步数，在下一个单次旋转周期，可以直接采用该校正输出步数控制驱动机构120旋转，因此该实施例可以适用于任意旋转角度的单次旋转周期，更便于紫外固化系统的控制。
66.在实际运行的过程中，可能会出现以下两种情况：第一种，当第一传感器151被触
发后，驱动机构120的旋转角度达到其在第一位置和第二位置之间旋转的理论角度时，第二传感器153仍然没有被触发，之后随着驱动机构120继续旋转，第二传感器153才被触发，此种情况下，理论输出步数小于实际输出步数；第二种，当第一传感器151被触发后，驱动机构120的旋转角度未达到其在第一位置和第二位置之间旋转的理论角度时，第二传感器153就被触发，此种情况下，理论输出步数大于实际输出步数。在后一种情况下，当前的单次旋转周期尚未结束就已经可以得出需要对驱动机构120进行校正这一结论，基于此，可选地，紫外固化系统的控制方法还包括：
67.s500、当|s1-s0|/s0＞第二预设值且理论输出步数大于实际输出步数时，判断驱动机构120的校正模式是否为实时校正模式，如果是，则关闭驱动机构120或控制驱动机构120以校正输出步数旋转，否则，控制驱动机构120继续运行。
68.当驱动机构120的校正模式为实时校正模式时，在校正驱动机构120的理论旋转参数的同时，关闭驱动机构120或控制驱动机构120以校正输出步数旋转，从而使得驱动机构120不再以过大的驱动误差旋转，以便于更快地校正驱动机构120的旋转参数。当驱动机构120的校正模式不是实时校正模式，即驱动机构120的校正模式为延迟校正模式时，驱动机构120可以继续驱动第一光源130和第二光源140旋转，以使得第一光源130和第二光源140发出的光在当前的单次旋转周期内扫过晶圆的范围较大，从而尽量弱化驱动误差对光线照射均匀性所带来的不良影响。
69.前文提到，当|s1-s0|/s0大于第二预设值时，就需要对驱动机构120的旋转参数进行校正，进一步地，紫外固化系统的控制方法还包括：
70.s600、当|s1-s0|/s0≤第二预设值时，驱动机构120在下一个单次旋转周期内每旋转1
°
对应的输出步数为s0/θ。
71.其中，θ为当前的单次旋转周期内，驱动机构120在第一位置和第二位置之间旋转时的旋转角度。换言之，当|s1-s0|/s0≤第二预设值，即实际输出步数与理论输出步数之间的差值的绝对值与理论输出步数之间的比值小于或等于第二预设值时，就表示驱动误差处于可接受范围内，此时可以不对驱动机构120的旋转参数进行校正，因此下一个单次旋转周期内，驱动机构120仍然以当前的单次旋转周期所对应的理论输出步数驱动第一光源130和第二光源140旋转。此实施例可以降低紫外固化系统的控制程序的负担，使得该控制程序可以更可靠地运行，同时，在下一个单次旋转周期内，可以直接采用驱动机构120每旋转1
°
对应的理论输出步数作为驱动依据，从而适用于任意旋转角度的单次旋转周期，更便于紫外固化系统的控制。
72.进一步可选地，紫外固化系统的控制方法还包括：
73.s700、当|s1-s0|/s0＞第三预设值时，发出报警信号。
74.其中，第三预设值大于第二预设值。当|s1-s0|/s0＞第三预设值时，表示驱动机构120的驱动误差过大，无法通过校正的方式调整，甚至可能已经出现了驱动机构120故障的情况，此时需要发出报警信号，以提醒操作人员，使得操作人员及时执行对应的操作。可选地，这里的第三预设值可以为0.1、0.05、0.03、0.01、0.001等，本技术实施例对此不作限制。
75.可以理解地，对驱动机构120的旋转参数进行校正这一操作可以在每个单次旋转周期内都进行，但考虑到驱动机构120的驱动误差需要经过一段时间的累计才会达到需要校正的程度，因此在另一实施例中，获取驱动机构120在单次旋转周期内的理论旋转参数之
前还包括：
76.s101、获取校正指令。
77.该校正指令指的是需要执行校正操作的指令，该指令可以由操作人员通过按钮等结构输入。
78.此时，获取驱动机构120在单次旋转周期内的理论旋转参数，具体为：
79.响应于上述校正指令，获取驱动机构120在单次旋转周期内的理论旋转参数。
80.即只有在接收到校正指令的情况下，才进行上文所述的各步骤。可见，该实施例可以减少执行校正操作的次数，从而简化紫外固化系统的控制方法。
81.下文以图1和图2所示的实施例对本技术所公开的紫外固化系统进行详细说明。为了方便说明，将第一光源130和第二光源140所处的方位分别以0
°
、90
°
、180
°
、270
°
标记。
82.以第一光源130和第二光源140从0
°
旋转至180
°
，且驱动机构120在第一位置和第二位置之间旋转时的角度为180
°
为例，驱动机构120在第一位置和第二位置之间旋转时的理论输出步数为s0，驱动机构120在第一位置和第二位置之间旋转时的实际输出步数为s1，对比s0与s1，此时可以分以下两种情况：
83.第一种情况，s1大于s0，即由于驱动误差的存在，驱动机构120输出s0步后，第二传感器153仍然没有被触发。如果(s1-s0)/s0小于或等于第二预设值，则在下一个单次旋转周期内，驱动机构120将按照每旋转1
°
输出s0/180步输出，即下一次自0
°
旋转至180
°
或其他旋转角度为180
°
的行程中，按照总输出步数为s0输出，不进行校正；如果(s1-s0)/s0大于第二预设值，则在下一个单次旋转周期内，驱动机构120将按照每旋转1
°
输出s1/180步输出，即下一次自0
°
旋转至180
°
或其他旋转角度为180
°
的行程中，按照总输出步数为s1输出。然后对下一个单次旋转周期的输出步数再一次进行判断。如果下一个单次旋转周期内，第一光源130和第二光源140的旋转范围不是0
°
至180
°
，系统将会根据当前的单次旋转周期的校正结果计算，以确定驱动机构120的理论输出步数。例如，校正后，驱动机构120在下一个单次旋转周期内将按照每旋转1
°
输出s0/180步输出，下一个单次旋转周期需要第一光源130和第二光源140从90
°
旋转至225
°
(旋转角度为135
°
)，此时，驱动机构120的理论输出步数为135*s0/180，然后根据驱动机构120在第一位置和第二位置之间旋转时的实际输出步数再次校对。如果(s1-s0)/s0＞第三预设值，则可以判定驱动机构120有较大的损伤，或者传感器发生故障。此时需要对硬件进行及时检修，以免发生不必要的损坏或人员伤害，故此时可以发出报警信号，并可以停止整个紫外固化系统的所有动作。
84.第二种情况，s0大于s1，即由于驱动误差的存在，驱动机构120还未输出s0步，第二传感器153就已经被触发。如果(s0-s1)/s0小于或等于第二预设值，则不对驱动机构120的输出步数进行校正,下一个单次旋转周期内驱动机构120按照每旋转1
°
输出s0/180步输出；如果(s0-s1)/s0大于第二预设值，此时可以进一步判断驱动机构120的校正模式是否为实时校正模式，如果是实时校正模式，则立即关闭驱动机构120，同时，下一次自0
°
旋转至180
°
或其他旋转角度为180
°
的行程中，按照总输出步数为s1输出；如果是延迟校正模式，则控制驱动机构120继续运行，同时，下一个单次旋转周期内，驱动机构120按每旋转1
°
输出s1/180步输出。如果s0-s1/s0＞第三预设值，则可以判定驱动机构120有较大的损伤，或者传感器发生故障。此时需要对硬件进行及时检修，以免发生不必要的损坏或人员伤害，故此时可以发出报警信号，并可以停止整个紫外固化系统的所有动作。
85.另一实施例中，第一光源130和第二光源140自0
°
旋转至180
°
，驱动机构120位于第一位置时，第一触发件152位于5
°
处，第二触发件154位于175
°
处。该实施例与驱动机构120在第一位置和第二位置之间旋转时的角度为180
°
的实施例的区别在于，当第二传感器153与第二触发件154相对时，第一光源130和第二光源140的单次旋转周期并未结束。当需要对驱动机构120的输出步数进行校正时，在下一个单次旋转周期内，驱动机构120按照每旋转1
°
输出s1/170步数输出。对于第一光源130和第二光源140的剩余旋转运动，本例中第一光源130和第二光源140的剩余旋转角度为180
°‑
175
°
＝5
°
，如果驱动机构120的校正模式为实时校正模式，则剩余的旋转角度内，驱动机构120以总步数为5*s1/170旋转；如果驱动机构120的校正模式为延迟校正模式，则控制驱动机构120以当前的单次旋转周期的理论输出步数旋转，同时在下一个单次旋转周期内，驱动机构120按照每旋转1
°
输出s1/170步数输出。
86.需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素。此外，需要指出的是，本技术实施方式中的方法和装置的范围不限按示出或讨论的顺序来执行功能，还可包括根据所涉及的功能按基本同时的方式或按相反的顺序来执行功能，例如，可以按不同于所描述的次序来执行所描述的方法，并且还可以添加、省去、或组合各种步骤。另外，参照某些示例所描述的特征可在其他示例中被组合。
87.通过以上的实施方式的描述，本领域的技术人员可以清楚地了解到上述实施例方法可借助软件加必需的通用硬件平台的方式来实现，当然也可以通过硬件，但很多情况下前者是更佳的实施方式。基于这样的理解，本技术的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质(如rom/ram、磁碟、光盘)中，包括若干指令用以使得一台终端(可以是手机，计算机，服务器，或者网络设备等)执行本技术各个实施例所述的方法。
88.上面结合附图对本技术的实施例进行了描述，但是本技术并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本技术的启示下，在不脱离本技术宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，均属于本技术的保护之内。

技术特征：
1.一种紫外固化系统，其特征在于，包括驱动机构(120)、第一光源(130)、第二光源(140)、位置检测组件和控制装置；其中，所述驱动机构(120)用于驱动所述第一光源(130)和所述第二光源(140)以至少一个单次旋转周期旋转；所述位置检测组件用于在所述第一光源(130)和所述第二光源(140)的一个所述单次旋转周期内获取至少两组对应不同位置的检测信号，并将所述检测信号传递给所述控制装置；所述控制装置用于根据所述检测信号获取所述驱动机构(120)驱动所述第一光源(130)和所述第二光源(140)在一个所述单次旋转周期内旋转到对应位置的实际旋转参数，并在理论旋转参数与所述实际旋转参数满足校正条件时，根据所述实际旋转参数校正所述驱动机构(120)在下一个单次旋转周期内的理论旋转参数。2.根据权利要求1所述的紫外固化系统，其特征在于，所述驱动机构(120)包括驱动源(121)和传动组件，所述驱动源(121)与所述传动组件相连，所述第一光源(130)和所述第二光源(140)均设置于所述传动组件，所述驱动机构(120)通过所述传动组件驱动所述第一光源(130)和所述第二光源(140)以至少一个单次旋转周期旋转；所述位置检测组件包括多个传感器和多个触发件，多个所述触发件均设置于所述传动组件上；在所述第一光源(130)和所述第二光源(140)位于所述单次旋转周期内的第一位置的情况下，至少一个所述传感器与一个所述触发件相对；在所述第一光源(130)和所述第二光源(140)位于所述单次旋转周期内的第二位置的情况下，至少一个所述传感器与一个所述触发件相对。3.根据权利要求2所述的紫外固化系统，其特征在于，所述传感器包括第一传感器(151)和第二传感器(153)，所述触发件包括第一触发件(152)和第二触发件(154)；在所述第一光源(130)和所述第二光源(140)位于所述第一位置的情况下，所述第一传感器(151)与所述第一触发件(152)相对；在所述第一光源(130)和所述第二光源(140)位于所述第二位置的情况下，所述第二传感器(153)与所述第二触发件(154)相对。4.根据权利要求3所述的紫外固化系统，其特征在于，所述传动组件包括传动带(122)、主动轮(123)、第一从动轮(124)、第二从动轮(125)、第一惰轮(126)和第二惰轮(127)，所述传动带(122)绕设于所述主动轮(123)、所述第一从动轮(124)、所述第二从动轮(125)、所述第一惰轮(126)和所述第二惰轮(127)，所述驱动源(121)与所述主动轮(123)相连，所述第一光源(130)与所述第一从动轮(124)相连，所述第二光源(140)与所述第二从动轮(125)相连；所述第一触发件(152)和所述第二触发件(154)分别设置于所述传动带(122)、所述主动轮(123)、所述第一从动轮(124)、所述第二从动轮(125)、所述第一惰轮(126)和所述第二惰轮(127)中的任意两者上。5.根据权利要求4所述的紫外固化系统，其特征在于，所述第一触发件(152)设置于所述第一从动轮(124)，所述第二触发件(154)设置于所述第二从动轮(125)；所述第一传感器(151)与所述第一从动轮(124)的旋转中心之间的连线为第一连线，所述第二传感器(153)与所述第二从动轮(125)的旋转中心之间的连线为第二连线，所述第二触发件(154)与所述第二从动轮(125)的旋转中心之间的连线为第三连线，所述第一连线平
行于所述第二连线；在所述第一传感器(151)与所述第一触发件(152)相对的情况下，所述第二连线与所述第三连线之间的夹角大于或等于第一预设值，且小于或等于所述第一光源(130)和所述第二光源(140)在所述单次旋转周期内的旋转角度。6.根据权利要求5所述的紫外固化系统，其特征在于，所述第一预设值为30
°
，所述第一光源(130)和所述第二光源(140)在所述单次旋转周期内的所述旋转角度为180
°
。7.根据权利要求3所述的紫外固化系统，其特征在于，还包括第三传感器和第三触发件，在所述第一光源(130)和所述第二光源(140)处于初始位置的情况下，所述第三传感器与所述第三触发件相对。8.根据权利要求1-7任一项所述的紫外固化系统，其特征在于，所述控制装置包括：第一获取模块，用于获取所述驱动机构(120)在所述单次旋转周期内的理论旋转参数；第二获取模块，用于根据所述位置检测组件的检测信号获取所述驱动机构(120)驱动所述第一光源(130)和所述第二光源(140)在一个所述单次旋转周期内旋转到对应位置的实际旋转参数；校正模块，用于在所述理论旋转参数与所述实际旋转参数满足校正条件时，根据所述实际旋转参数校正所述驱动机构(120)在下一个单次旋转周期内的理论旋转参数。9.一种紫外固化系统的控制方法，应用于权利要求1至8中任一项所述的紫外固化系统，其特征在于，包括：驱动所述第一光源(130)和所述第二光源(140)以至少一个单次旋转周期旋转，并获取所述驱动机构(120)在所述单次旋转周期内的理论旋转参数；在所述第一光源(130)和所述第二光源(140)的一个所述单次旋转周期内获取至少两组对应不同位置的检测信号；根据所述检测信号获取所述驱动机构(120)驱动所述第一光源(130)和所述第二光源(140)在一个所述单次旋转周期内旋转到对应位置的实际旋转参数；当所述理论旋转参数与所述实际旋转参数满足校正条件时，根据所述实际旋转参数校正所述驱动机构(120)在下一个单次旋转周期内的理论旋转参数。10.根据权利要求9所述的控制方法，其特征在于，所述理论旋转参数包括所述驱动机构(120)驱动所述第一光源(130)和所述第二光源(140)在一个所述单次旋转周期内的第一位置和第二位置之间旋转时的理论输出步数，所述实际旋转参数包括所述驱动机构(120)驱动所述第一光源(130)和所述第二光源(140)在所述第一位置和所述第二位置之间旋转时的实际输出步数；所述校正条件为：|s1-s0|/s0＞第二预设值；其中，s1为所述实际输出步数，s0为所述理论输出步数。11.根据权利要求10所述的控制方法，其特征在于，所述根据所述实际旋转参数校正所述驱动机构(120)在下一个单次旋转周期内的理论旋转参数，具体为：根据所述实际输出步数获得校正输出步数，所述校正输出步数为所述驱动机构(120)每旋转1
°
对应的输出步数，所述校正输出步数满足以下关系：s2＝s1/θ；
其中，θ为当前的所述单次旋转周期内，所述驱动机构(120)在所述第一位置和所述第二位置之间旋转时的旋转角度。12.根据权利要求10所述的控制方法，其特征在于，所述控制方法还包括：当|s1-s0|/s0＞第二预设值且所述理论输出步数大于所述实际输出步数时，判断所述驱动机构(120)的校正模式是否为实时校正模式，如果是，则关闭所述驱动机构(120)或控制所述驱动机构(120)以所述校正输出步数旋转，否则，控制所述驱动机构(120)继续运行。13.根据权利要求10所述的控制方法，其特征在于，所述控制方法还包括：当|s1-s0|/s0≤第二预设值时，所述驱动机构(120)在下一个单次旋转周期内每旋转1
°
对应的输出步数为s0/θ；其中，θ为当前的所述单次旋转周期内，所述驱动机构(120)在所述第一位置和所述第二位置之间旋转时的旋转角度。14.根据权利要求10所述的控制方法，其特征在于，所述控制方法还包括：当|s1-s0|/s0＞第三预设值时，发出报警信号；其中，所述第三预设值大于所述第二预设值。15.根据权利要求9所述的控制方法，其特征在于，所述获取所述驱动机构(120)在所述单次旋转周期内的理论旋转参数之前还包括：获取校正指令；所述获取所述驱动机构(120)在所述单次旋转周期内的理论旋转参数具体为：响应于所述校正指令，获取所述驱动机构(120)在所述单次旋转周期内的理论旋转参数。

技术总结
本申请公开了一种紫外固化系统及其控制方法，紫外固化系统包括驱动机构、第一光源、第二光源、位置检测组件和控制装置；其中，驱动机构用于驱动第一光源和第二光源以至少一个单次旋转周期旋转；位置检测组件用于在第一光源和第二光源的一个单次旋转周期内获取至少两组对应不同位置的检测信号，并将检测信号传递给控制装置；控制装置用于根据检测信号获取驱动机构驱动第一光源和第二光源在一个单次旋转周期内旋转到对应位置的实际旋转参数，并在理论旋转参数与实际旋转参数满足校正条件时，根据实际旋转参数校正驱动机构在下一个单次旋转周期内的理论旋转参数。该方案能够解决晶圆的加工质量较差的问题。圆的加工质量较差的问题。圆的加工质量较差的问题。


技术研发人员：顾文亮
受保护的技术使用者：北京北方华创微电子装备有限公司
技术研发日：2021.11.25
技术公布日：2022/3/8