考夫曼离子源装置及其控制方法与流程

1.本发明属于离子束刻蚀技术领域，更具体地说，是涉及一种考夫曼离子源装置及其控制方法。


背景技术：

2.离子束刻蚀技术作为一种超精细加工工艺，属于干法刻蚀中的纯物理性刻蚀方式，在半导体制造、微纳电子ic制造中占据重要地位。考夫曼离子源是离子束刻蚀技术中的关键装置，主要由放电室、阴极灯丝、灯丝固定架、阳极板以及离子引出系统组成，利用加热阴极灯丝的方式产生电子，这些电子在阳极电压和外部磁场作用下，不断地与反应气体碰撞使其电离，在放电室中形成等离子体，最后通过离子引出系统引出一束高能离子束轰击到材料表面，产生溅射现象，实现刻蚀目的。
3.传统的考夫曼离子源都是采用单灯丝的结构，然而由于灯丝长期受到轰击溅射的影响，寿命较短，需要进行频繁的更换，并且，每次更换灯丝都需要经历破真空、开腔、清理、拆卸离子源、更换灯丝、重新抽真空等步骤，更换过程较为繁琐且耗时较长，会增加设备宕机时间，严重影响使用效率。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种考夫曼离子源装置及其控制方法，旨在解决考夫曼离子源每次更换灯丝时更换过程较为繁琐且耗时较长，会增加设备宕机时间，严重影响使用效率的技术问题。
5.为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：
6.在第一方面，本发明提供一种考夫曼离子源装置，包括：
7.放电室；电源连接组件，包括设于所述放电室外的灯丝电源，以及与所述灯丝电源连接的两个电源触点结构，两个所述电源触点结构分别设于所述放电室相对的两侧壁，且两个所述电源触点结构均伸入所述放电室内；两个灯丝固定组件，两个所述灯丝固定组件均包括设于所述放电室内的固定底座，与所述固定底座连接的固定仓，与所述固定仓移动配合的移动仓，以及设于所述移动仓的至少两个灯丝触点端子；平移驱动组件，与两个所述移动仓均连接；以及至少两个阴极灯丝，分别对应连接在两个所述移动仓的所述灯丝触点端子之间；
8.其中，所述电源触点结构与所述灯丝固定组件的位置相对应，在所述平移驱动组件的作用下，所述平移驱动组件能够带动两个所述移动仓及全部所述阴极灯丝平移，使得其中之一所述阴极灯丝所对应的两个所述灯丝触点端子分别与两个所述电源触点结构配合接触。
9.在一种可能的实现方式中，两个所述电源触点结构均包括：导电连接杆，一端与所述灯丝电源连接，另一端贯穿于所述放电室侧壁；以及两个导电卡簧片，分别设于所述导电连接杆另一端相对的两侧，两个所述导电卡簧片共同形成用以夹持所述灯丝触点端子的夹
持空间。
10.在一种可能的实现方式中，两个所述导电卡簧片均包括：折弯安装部，与所述导电连接杆连接；以及弧形夹持部，与所述折弯安装部连接，两个所述导电卡簧片的所述弧形夹持部的弧形凸出面相对设置且形成所述夹持空间。
11.在一种可能的实现方式中，两个所述电源触点结构还均包括套设于所述导电连接杆的绝缘套，所述绝缘套贯穿于所述放电室侧壁。
12.在一种可能的实现方式中，两个所述移动仓均开设有与所述灯丝触点端子相同数量的贯通孔，所述灯丝触点端子贯穿于所述贯通孔中。
13.在一种可能的实现方式中，两个所述移动仓均开设有与所述灯丝触点端子相同数量的顶紧孔，所述顶紧孔中配合有顶紧所述灯丝触点端子的顶丝。
14.在一种可能的实现方式中，每个所述灯丝触点端子与所述阴极灯丝连接的端面均开设有供所述阴极灯丝插入的插入孔。
15.在一种可能的实现方式中，所述固定仓为具有开口的空腔结构，所述灯丝固定组件还包括盖设于所述固定仓开口的盖板。
16.在一种可能的实现方式中，所述平移驱动组件包括：两个传动杆，分别与两个所述移动仓连接；两个气缸，分别与两个所述传动杆连接；两个进气管路，分别与两个所述气缸连通，且两个所述进气管路远离所述气缸的一端合并为一支通断管路，所述通断管路用以与空气源连通；以及电磁阀，设于所述通断管路。
17.本发明提供的考夫曼离子源装置至少具有以下技术效果：与传统技术相比，本发明提供的考夫曼离子源装置，在基本不改变原有放电室结构的情况下，巧妙地利用剩余空间增加了备用灯丝和运动部件，在平移驱动组件的作用下，能够带动移动仓、阴极灯丝及灯丝触点端子进行平移，使得电源触点结构能够择一地与灯丝触点端子接触，进而使其中之一阴极灯丝处于加电工位，其余阴极灯丝处于非加电工位，避免其进入工作状态而降低使用寿命。
18.并且，由于电源触点结构的位置固定，保证了处于加电工位的阴极灯丝在放电室内的位置始终不变，有效地保证了离子源的质量性能，避免等离子体分布不均匀的情况；在不开腔的情况下，无需频繁更换灯丝，可以直接切换备用灯丝，增加了阴极灯丝的使用效率和使用寿命，缩短了耗费时间，减少了设备宕机时间，减少了维护保养的人力成本，提高了设备的生产效率，对提升相关设备的产能具有重要意义。
19.在第二方面，本发明还提供一种考夫曼离子源装置的控制方法，包括：
20.控制平移驱动组件带动移动仓移动，直至其中之一阴极灯丝所对应的灯丝触点端子与电源触点结构接触，以使其中之一阴极灯丝位于加电工位，其余阴极灯丝位于非加电工位；
21.打开灯丝电源，向放电室通入工艺气体，使放电室内产生等离子体，使得考夫曼离子源装置处于正常工作状态；
22.判断位于加电工位的阴极灯丝是否正常工作，当位于加电工位的阴极灯丝无法正常工作时，再次控制平移驱动组件带动移动仓移动，直至其中之另一阴极灯丝所对应的灯丝触点端子与电源触点结构接触，以使其中之另一阴极灯丝位于加电工位，其余阴极灯丝位于非加电工位，使得考夫曼离子源装置再次处于正常工作状态。
23.本发明提供的考夫曼离子源装置的控制方法能够对如上任一实现方式所述的考夫曼离子源装置进行阴极灯丝的切换。
附图说明
24.为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
25.图1为本发明一实施例提供的考夫曼离子源装置的结构示意图；
26.图2为本发明一实施例中电源连接组件、灯丝固定组件与平移驱动组件的配合示意图；
27.图3为图2所示电源连接组件与灯丝固定组件在另一角度的局部配合示意图；
28.图4为图2所示灯丝固定组件在另一角度的结构示意图；
29.图5为本发明一实施例考夫曼离子源装置的控制方法的流程图；
30.图6为本发明另一实施例考夫曼离子源装置的控制方法的流程图。
31.附图标记说明：
32.1、考夫曼离子源装置
33.100、放电室
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200、电源连接组件
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210、灯丝电源
34.220、电源触点结构
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221、导电连接杆
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222、导电卡簧片
35.223、绝缘套
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300、灯丝固定组件
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310、固定底座
36.320、固定仓
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330、移动仓
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340、灯丝触点端子
37.341、插入孔
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350、盖板
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400、平移驱动组件
38.410、传动杆
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420、气缸
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430、进气管路
39.440、电磁阀
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500、阴极灯丝
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600、气体扩散板
40.700、离子源阳极板
具体实施方式
41.为了使本发明所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
42.需要说明的是，当元件被称为“固定于”、“固定”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中元件。当一个元件被认为是“连接于”、“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。当元件被称为“设置于”、“设于”、“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中元件。本文对电连接与机械连接没有进行区别描述，但可以理解的是，基于其具体应用场景应做适当理解。
43.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。
44.请一并参阅图1至图6，现对本发明实施例提供的考夫曼离子源装置1及其控制方法进行说明。
45.请参阅图1至图4，本发明实施例提供了一种考夫曼离子源装置1，包括：放电室100；电源连接组件200，包括设于放电室100外的灯丝电源210，以及与灯丝电源210连接的两个电源触点结构220，两个电源触点结构220分别设于放电室100相对的两侧壁，且两个电源触点结构220均伸入放电室100内；两个灯丝固定组件300，两个灯丝固定组件300均包括设于放电室100内的固定底座310，与固定底座310连接的固定仓320，与固定仓320移动配合的移动仓330，以及设于移动仓330的至少两个灯丝触点端子340；平移驱动组件400，与两个移动仓330均连接；以及至少两个阴极灯丝500，分别对应连接在两个移动仓330的灯丝触点端子340之间。
46.其中，电源触点结构220与灯丝固定组件300的位置相对应，在平移驱动组件400的作用下，平移驱动组件400能够带动两个移动仓330及全部阴极灯丝500平移，使得其中之一阴极灯丝500所对应的两个灯丝触点端子340分别与两个电源触点结构220配合接触。
47.需要说明的是，本发明实施例提供的考夫曼离子源装置1还包括设于放电室100内的气体扩散板600、离子源阳极板700及其他相关构件，以构成功能完整的离子源装置。此外，放电室100可以为长条形结构，在底部开设有进气孔，工艺气体进入后通过气体扩散板600均匀地扩散到整个放电室100内。
48.具体而言，在灯丝固定组件300中，固定底座310可以由不锈钢304材料制成，固定底座310可以是圆柱形、棱柱形，对此不做限制，固定底座310可以通过焊接、螺纹连接等方式固定在放电室100底部，例如，在固定底座310的底部开设螺纹孔，通过螺丝实现与放电室100底部之间的锁紧固定。固定仓320可以由不锈钢304材料制成，固定仓320可以是带有空腔的长方体、正方体等，对此不做限制。移动仓330可以由陶瓷绝缘材料制成，灯丝触点端子340可以由黄铜材料制成。
49.在两个固定仓320之间设有至少两个阴极灯丝500，每个阴极灯丝500均连接至两个移动仓330之间，且均与对应的灯丝触点端子340连接，在平移驱动组件400的作用下，移动仓330可以在固定仓320内平移，从而带动不同的灯丝触点端子340与电源触点结构220接触实现导通，从而更换不同的阴极灯丝500。
50.可以理解的是，全部的阴极灯丝500在同一水平面依次排列，每个移动仓330的灯丝触点端子340数量与阴极灯丝500数量相同。阴极灯丝500可以设有两个，构成双灯丝离子源装置，可以设有三个及以上数量，构成多灯丝离子源装置。例如，阴极灯丝500设有两个，可以是直径为0.38mm的钨丝，其中，第一灯丝位于放电室100正中间，第二灯丝与第一灯丝处于同一水平位置。
51.本发明实施例提供的考夫曼离子源装置1至少具有以下技术效果：与传统技术相比，本发明实施例提供的考夫曼离子源装置1，在基本不改变原有放电室100结构的情况下，巧妙地利用剩余空间增加了备用灯丝和运动部件，在平移驱动组件400的作用下，能够带动移动仓330、阴极灯丝500及灯丝触点端子340进行平移，使得电源触点结构220能够择一地与灯丝触点端子340接触，进而使其中之一阴极灯丝500处于加电工位，其余阴极灯丝500处于非加电工位，避免其进入工作状态而降低使用寿命。
52.并且，由于电源触点结构220的位置固定，保证了处于加电工位的阴极灯丝500在放电室100内的位置始终不变，有效地保证了离子源的质量性能，避免等离子体分布不均匀的情况；在不开腔的情况下，无需频繁更换灯丝，可以直接切换备用灯丝，增加了阴极灯丝
500的使用效率和使用寿命，缩短了耗费时间，减少了设备宕机时间，减少了维护保养的人力成本，提高了设备的生产效率，对提升相关设备的产能具有重要意义。
53.对于电源触点结构220的具体组成不做限制，下面举例说明。
54.请参阅图1至图3，在一些可能的实施方式中，两个电源触点结构220均包括：导电连接杆221，一端与灯丝电源210连接，另一端贯穿于放电室100侧壁；以及两个导电卡簧片222，分别设于导电连接杆221另一端相对的两侧，两个导电卡簧片222共同形成用以夹持灯丝触点端子340的夹持空间。
55.具体而言，导电连接杆221可以是特制不锈钢材料，导电卡簧片222可以是黄铜材料，导电连接杆221和导电卡簧片222可以实现导通。两个导电卡簧片222共同形成夹持空间，且夹持空间的间距小于等于灯丝触点端子340的配合间距，当灯丝触点端子340移动至夹持空间时，能够与导电卡簧片222接触实现导通，当灯丝触点端子340移开夹持空间时，能够与导电卡簧片222实现断路，在实现良好接触的同时，切换速度更加快捷。
56.基于上述电源触点结构220的描述，请参阅图2和图3，在一个具体的实施方式中，两个导电卡簧片222均包括：折弯安装部，与导电连接杆221连接；以及弧形夹持部，与折弯安装部连接，两个导电卡簧片222的弧形夹持部的弧形凸出面相对设置且形成夹持空间。
57.本实施方式中，导电连接杆221可以是圆柱形，折弯安装部与该导电连接杆221的侧面和端面均接触，可以通过螺丝固定在导电连接杆221上，实现二者的可靠连接。两个弧形夹持部的弧形凸出面相对设置，也就是二者之间的距离呈先减小后增大的趋势，一方面可以减小摩擦力，便于灯丝触点端子340的滑进和滑出，另一方面可以利用自身的变形复位能力，实现对灯丝触点端子340的夹紧作用。可以理解的是，灯丝触点端子340的配合截面可以是圆形的，矩形的，或其他规则或不规则形状。
58.此外，在其他实施方式中，导电卡簧片222还可以仅包括直接焊接至导电连接杆221的夹持部，也可以采用平面状的夹持部，并不局限于此。
59.基于上述电源触点结构220的描述，请参阅图2和图3，在一个具体的实施方式中，两个电源触点结构220还均包括套设于导电连接杆221的绝缘套223，绝缘套223贯穿于放电室100侧壁。本实施方式中，绝缘套223可以采用陶瓷材料，用于隔离导电连接杆221和放电室100侧壁，起到绝缘作用。
60.当然，在其他可能的实施方式中，电源触点结构220还可以是一体形成的导电片、导电杆、带卡槽的导电体等，并不局限于此。
61.请参阅图4，在一些可能的实施方式中，两个移动仓330均开设有与灯丝触点端子340相同数量的贯通孔，灯丝触点端子340贯穿于贯通孔中。具体而言，贯通孔与灯丝触点端子340对应设置，移动仓330可以为长方体状，则垂直于阴极灯丝500的两个表面中，一个表面设有供阴极灯丝500穿过的小孔，另一个表面设有供灯丝触点端子340穿过的贯通孔，如此设置，能够提高阴极灯丝500的可靠性和平直性，减少阴极灯丝500的下垂程度。
62.在一些可能的实施方式中，两个移动仓330均开设有与灯丝触点端子340相同数量的顶紧孔，顶紧孔中配合有顶紧灯丝触点端子340的顶丝。具体而言，为了保证灯丝触点端子340的位置可靠性，在移动仓330的仓体壁设置顶紧孔，通过在顶紧孔中配置顶丝实现灯丝触点端子340的锁紧。
63.请参阅图3和图4，在一些可能的实施方式中，每个灯丝触点端子340与阴极灯丝
500连接的端面均开设有供阴极灯丝500插入的插入孔341。具体而言，为了保证阴极灯丝500和灯丝触点端子340能够实现可靠的连接关系，在每个灯丝触点端子340的一端设置插入孔341，使得阴极灯丝500能够插入在灯丝触点端子340内，保证了二者的良好接触，同时也提高了阴极灯丝500的平直性。
64.基于或不基于上述灯丝固定组件300的描述，请参阅图2和图4，在一些可能的实施方式中，固定仓320为具有开口的空腔结构，灯丝固定组件300还包括盖设于固定仓320开口的盖板350。具体而言，固定仓320和盖板350为可拆卸式连接关系，便于更换维护移动仓330、更换灯丝触点端子340和更换阴极灯丝500，提高整个装置的使用寿命和可维护性。
65.请参阅图1和图2，在一些可能的实施方式中，平移驱动组件400包括：两个传动杆410，分别与两个移动仓330连接；两个气缸420，分别与两个传动杆410连接；两个进气管路430，分别与两个气缸420连通，且两个进气管路430远离气缸420的一端合并为一支通断管路，通断管路用以与空气源连通；以及电磁阀440，设于通断管路。
66.具体而言，传动杆410贯穿至固定仓320中与移动仓330连接，同时，传动杆410穿出至放电室100外与气缸420连接，传动杆410在贯穿放电室100侧壁的位置处需要做好密封处理。气缸420设于放电室100外，能够减少对放电室100内空间的占用。通断管路与空气源连通，在电磁阀440的控制下，利用压缩空气的通断实现对两个气缸420的同步控制，进而实现阴极灯丝500的切换功能。
67.当然，在其他实施方式中，两个进气管路430可以不合并，分别与空气源连通，此时，需要保证操作的同步性，以保证两个移动仓330的同步性和一致性。此外，平移驱动组件400还可以采用电机传动的方式控制传动杆410的运动，并不局限于此。
68.基于同一发明构思，请参阅图5，本发明实施例还提供了一种考夫曼离子源装置的控制方法，包括：
69.s100、控制平移驱动组件带动移动仓移动，直至其中之一阴极灯丝所对应的灯丝触点端子与电源触点结构接触，以使其中之一阴极灯丝位于加电工位，其余阴极灯丝位于非加电工位。
70.s200、打开灯丝电源，向放电室通入工艺气体，使放电室内产生等离子体，使得考夫曼离子源装置处于正常工作状态。
71.s300、判断位于加电工位的阴极灯丝是否正常工作，当位于加电工位的阴极灯丝无法正常工作时，再次控制平移驱动组件带动移动仓移动，直至其中之另一阴极灯丝所对应的灯丝触点端子与电源触点结构接触，以使其中之另一阴极灯丝位于加电工位，其余阴极灯丝位于非加电工位，使得考夫曼离子源装置再次处于正常工作状态。
72.本发明实施例提供的考夫曼离子源装置的控制方法能够对如上任一实施方式所述的考夫曼离子源装置进行阴极灯丝的切换。
73.请参阅图6，在一个具体的实施方式中，在考夫曼离子源装置中，阴极灯丝设有两个，分别定义为第一灯丝和第二灯丝，控制方法具体包括：
74.将第一灯丝和第二灯丝分别固定在对应的灯丝触点端子上，同时将第一灯丝放置于放电室正中位置，将其灯丝触点端子卡在电源连接组件中的导电卡簧片之间，使第一灯丝两端与灯丝电源连接，处于加电工作状态；使第二灯丝及其灯丝触点端子悬空，处于不加电悬空状态。
75.当第一灯丝断裂或者性能下降无法进行正常工艺时，通过平移驱动组件实现移动仓的平移，使第一灯丝及其灯丝触点端子从导电卡簧片处脱离，处于不加电悬空状态，同时使得第二灯丝及其灯丝触点端子与导电卡簧片相接触，处于加电工作状态，并位于放电室正中位置，实现两根阴极灯丝的自动切换。
76.可以理解的是，上述实施例中的各部分可以进行自由地组合或删减以形成不同的组合实施例，在此不再赘述各个组合实施例的具体内容，在此说明之后，可以认为本发明说明书已经记载了各个组合实施例，能够支持不同的组合实施例。
77.以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

技术特征：
1.考夫曼离子源装置，其特征在于，包括：放电室；电源连接组件，包括设于所述放电室外的灯丝电源，以及与所述灯丝电源连接的两个电源触点结构，两个所述电源触点结构分别设于所述放电室相对的两侧壁，且两个所述电源触点结构均伸入所述放电室内；两个灯丝固定组件，两个所述灯丝固定组件均包括设于所述放电室内的固定底座，与所述固定底座连接的固定仓，与所述固定仓移动配合的移动仓，以及设于所述移动仓的至少两个灯丝触点端子；平移驱动组件，与两个所述移动仓均连接；以及至少两个阴极灯丝，分别对应连接在两个所述移动仓的所述灯丝触点端子之间；其中，所述电源触点结构与所述灯丝固定组件的位置相对应，在所述平移驱动组件的作用下，所述平移驱动组件能够带动两个所述移动仓及全部所述阴极灯丝平移，使得其中之一所述阴极灯丝所对应的两个所述灯丝触点端子分别与两个所述电源触点结构配合接触。2.如权利要求1所述的考夫曼离子源装置，其特征在于，两个所述电源触点结构均包括：导电连接杆，一端与所述灯丝电源连接，另一端贯穿于所述放电室侧壁；以及两个导电卡簧片，分别设于所述导电连接杆另一端相对的两侧，两个所述导电卡簧片共同形成用以夹持所述灯丝触点端子的夹持空间。3.如权利要求2所述的考夫曼离子源装置，其特征在于，两个所述导电卡簧片均包括：折弯安装部，与所述导电连接杆连接；以及弧形夹持部，与所述折弯安装部连接，两个所述导电卡簧片的所述弧形夹持部的弧形凸出面相对设置且形成所述夹持空间。4.如权利要求2所述的考夫曼离子源装置，其特征在于，两个所述电源触点结构还均包括套设于所述导电连接杆的绝缘套，所述绝缘套贯穿于所述放电室侧壁。5.如权利要求1所述的考夫曼离子源装置，其特征在于，两个所述移动仓均开设有与所述灯丝触点端子相同数量的贯通孔，所述灯丝触点端子贯穿于所述贯通孔中。6.如权利要求1所述的考夫曼离子源装置，其特征在于，两个所述移动仓均开设有与所述灯丝触点端子相同数量的顶紧孔，所述顶紧孔中配合有顶紧所述灯丝触点端子的顶丝。7.如权利要求1所述的考夫曼离子源装置，其特征在于，每个所述灯丝触点端子与所述阴极灯丝连接的端面均开设有供所述阴极灯丝插入的插入孔。8.如权利要求1、5、6、7任一项所述的考夫曼离子源装置，其特征在于，所述固定仓为具有开口的空腔结构，所述灯丝固定组件还包括盖设于所述固定仓开口的盖板。9.如权利要求1所述的考夫曼离子源装置，其特征在于，所述平移驱动组件包括：两个传动杆，分别与两个所述移动仓连接；两个气缸，分别与两个所述传动杆连接；两个进气管路，分别与两个所述气缸连通，且两个所述进气管路远离所述气缸的一端合并为一支通断管路，所述通断管路用以与空气源连通；以及电磁阀，设于所述通断管路。
10.如权利要求1至9任一项所述的考夫曼离子源装置的控制方法，其特征在于，包括：控制平移驱动组件带动移动仓移动，直至其中之一阴极灯丝所对应的灯丝触点端子与电源触点结构接触，以使其中之一阴极灯丝位于加电工位，其余阴极灯丝位于非加电工位；打开灯丝电源，向放电室通入工艺气体，使放电室内产生等离子体，使得考夫曼离子源装置处于正常工作状态；判断位于加电工位的阴极灯丝是否正常工作，当位于加电工位的阴极灯丝无法正常工作时，再次控制平移驱动组件带动移动仓移动，直至其中之另一阴极灯丝所对应的灯丝触点端子与电源触点结构接触，以使其中之另一阴极灯丝位于加电工位，其余阴极灯丝位于非加电工位，使得考夫曼离子源装置再次处于正常工作状态。

技术总结
本发明提供了一种考夫曼离子源装置及其控制方法，属于离子束刻蚀技术领域，考夫曼离子源装置包括：放电室；电源连接组件，包括设于放电室外的灯丝电源，以及与灯丝电源连接的两个电源触点结构，两个电源触点结构分别设于放电室相对的两侧壁，且两个电源触点结构均伸入放电室内；两个灯丝固定组件，两个灯丝固定组件均包括设于放电室内的固定底座，与固定底座连接的固定仓，与固定仓移动配合的移动仓，以及设于移动仓的至少两个灯丝触点端子；平移驱动组件，与两个移动仓均连接；以及至少两个阴极灯丝，分别对应连接在两个移动仓的灯丝触点端子之间；电源触点结构与灯丝固定组件的位置相对应，在平移驱动组件的作用下，实现不同阴极灯丝的更换。极灯丝的更换。极灯丝的更换。


技术研发人员：程壹涛 吴海 赵英伟 吴爱华 王露寒 任泽生 刘成群 王利芹 张文朋
受保护的技术使用者：中国电子科技集团公司第十三研究所
技术研发日：2021.11.12
技术公布日：2022/3/8