加热灯安装结构及半导体腔室的制作方法

1.本发明涉及半导体设备技术领域，具体地，涉及一种加热灯安装结构及半导体腔室。


背景技术：

2.化学气相沉积工艺是在晶圆表面生长外延薄膜的一种工艺。在外延薄膜生长的过程中，需要对晶圆进行加热，且晶圆的温度对外延薄膜的晶体完成性和生长速率具有影响。
3.在现有的一种化学气相沉积工艺中，腔体中设置有承载装置，晶圆放置于承载装置上，腔体上方和下方分别设置有一圈灯管，灯管发出的红外光照射到承载装置上，通过对承载装置加热，进而实现对放置于承载装置上的晶圆加热。
4.但是，当灯管安装于其安装结构上后，部分灯管会出现上下倾斜的情况，由于安装结构固定无法调节灯管，导致处于同一圈的多个灯管中的部分灯管的轴线与该灯管所处圆周的圆心的同心度较差，造成部分灯管对托盘加热的效果较差，半导体工艺结果较差。


技术实现要素：

5.本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种加热灯安装结构及半导体腔室，其能够提高加热灯的轴线与该加热灯所处圆周的圆心的同心度，从而改善加热效果，改善半导体工艺结果。
6.为实现本发明的目的而提供一种加热灯安装结构，用于将加热灯安装于半导体腔室的腔体上，所述加热灯安装结构包括固定环、灯座和与所述灯座对应设置的调节组件，其中，所述固定环用于固定设置在所述半导体腔室的腔体上，所述固定环开设有安装槽，所述灯座容置于所述安装槽中，所述灯座用于与所述加热灯固定且电连接，以向所述加热灯提供电能；所述调节组件与所述灯座连接，用于调节所述灯座的倾斜度，进而实现调节所述加热灯的倾斜度。
7.可选的，所述调节组件包括固定件、转轴和调节部件，其中，所述固定件固定设置在所述安装槽中；所述转轴的两端固定设置于所述安装槽的相对两槽壁上，所述灯座具有贯通孔，所述转轴贯穿所述灯座，且所述灯座可相对所述转轴转动；所述调节部件与所述灯座连接，并与所述固定件可升降的连接，用于通过相对于所述固定件升降，带动所述灯座以所述转轴为轴旋转，来调节所述灯座的倾斜度。
8.可选的，所述固定件包括固定框架，所述调节部件包括调节框架、调节螺杆和转动件，其中，所述调节框架套设在所述灯座上，所述固定框架固定设置在所述安装槽中，并环绕在所述调节框架的周围，所述调节螺杆贯穿所述固定框架的上边框，并与所述固定框架的上边框螺纹连接，且所述调节螺杆通过所述转动件与所述调节框架可转动的连接。
9.可选的，所述调节部件还包括锁紧件，所述锁紧件与所述调节螺杆可升降的连接，并能够与所述固定框架的上边框相抵，用于将所述调节螺杆与所述固定框架的上边框锁紧。
10.可选的，所述固定环中开设有沿所述固定环径向设置的容纳空间，所述容纳空间与所述安装槽连通，所述灯座包括电连接件，所述电连接件的第一端用于与所述加热灯的电极接头电连接，所述电连接件的第二端暴露在所述灯座外且容置于所述容纳空间中。
11.可选的，所述安装槽的数量为多个，多个所述安装槽沿所述固定环的周向间隔分布，所述灯座以及所述调节组件均为多个，且所述灯座与所述调节组件一一对应设置，多个所述灯座一一对应的设置在多个所述安装槽中。
12.可选的，所述固定环上设置有散热结构，所述散热结构用于对所述加热灯传递至所述灯座的热量进行散热。
13.可选的，所述散热结构包括多个散热凸部，多个所述散热凸部沿所述固定环的周向间隔分布。
14.可选的，所述转动件包括球关节。
15.本发明提供一种半导体腔室，包括腔体、加热灯、金属反光部件和如本发明提供的所述加热灯安装结构，其中，所述腔体用于为半导体工艺提供工艺环境，所述加热灯安装结构的所述固定环沿所述腔体的周向固定设置在所述腔体上，用于将所述加热灯与所述腔体连接，所述反光部件相对所述加热灯固定设置，用于将所述加热灯发出的光线反射入所述腔体内。
16.本发明具有以下有益效果：
17.本发明提供的加热灯安装结构，借助调节组件调节其对应设置并连接的灯座的倾斜度(倾斜度指物体或斜面倾斜、歪斜的程度，与地面的夹角)，以实现调节与灯座固定且电连接的加热灯的倾斜度，也就是说，本发明提供的加热灯安装结构，借助调节组件调节其对应设置并连接的灯座倾斜的程度，与地面的夹角，以实现调节与灯座固定且电连接的加热灯倾斜的程度，与地面的夹角，从而能够将加热灯的轴线调节至与水平面平行，继而能够提高加热灯的轴线与该加热灯所处圆周的圆心的同心度，进而改善加热效果，改善半导体工艺结果。
18.本发明提供的半导体腔室，借助本发明提供的加热灯安装结构将加热灯与腔体连接，从而能够提高加热灯的轴线与该加热灯所处圆周的圆心的同心度，进而改善加热效果，改善半导体工艺结果。
附图说明
19.图1为本发明实施例提供的加热灯安装结构及半导体腔室的主视结构示意图；
20.图2为本发明实施例提供的加热灯安装结构的俯视结构示意图；
21.图3为图2中局部a的放大结构示意图；
22.图4为图2中局部a的主视放大结构示意图；
23.图5为图2的局部侧视结构示意图；
24.图6为本发明实施例提供的加热灯安装结构的转动件的主视结构示意图；
25.图7为图6的转动件的侧视结构示意图；
26.图8为本发明实施例提供的加热灯安装结构调节加热灯至水平状态时加热灯的结构示意图；
27.图9为本发明实施例提供的加热灯安装结构调节加热灯至图8状态时加热灯安装
结构的结构示意图；
28.图10为本发明实施例提供的加热灯安装结构调节加热灯至向上倾斜时加热灯的结构示意图；
29.图11为本发明实施例提供的加热灯安装结构调节加热灯至图10状态时加热灯安装结构的结构示意图；
30.附图标记说明：
31.1-加热灯安装结构；11-固定环；111-安装槽；112-容纳空间；12-灯座；121-电连接件；122-导线；13-调节组件；131-固定件；132-转轴；133-调节部件；1331-调节框架；1332-调节螺杆；1333-转动件；
32.1334-锁紧件；14-散热凸部；2-半导体腔室；21-腔体；211-腔体壁；
33.212-第一透光部件；213-第二透光部件；22-承载部件；23-支撑件；
34.24-反光部件；3-加热灯；31-灯管；32-灯丝；33-电极接头。
具体实施方式
35.为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图来对本发明提供的加热灯安装结构及半导体腔室进行详细描述。
36.如图1和图2所示，本发明实施例提供一种加热灯安装结构1，用于将加热灯3安装于半导体腔室2的腔体21上，加热灯安装结构1包括固定环11、灯座12和与灯座12对应设置的调节组件13，其中，固定环11用于固定设置在半导体腔室2的腔体21上，固定环11开设有安装槽111，灯座12容置于安装槽111中，灯座12用于与加热灯3固定且电连接，以向加热灯3提供电能；调节组件13与灯座12连接，用于调节灯座12的倾斜度，进而实现调节加热灯3的倾斜度。
37.本发明实施例提供的加热灯安装结构1，借助调节组件13调节其对应设置并连接的灯座12的倾斜度(倾斜度指物体或斜面倾斜、歪斜的程度，与地面的夹角)，以实现调节与灯座12固定且电连接的加热灯3的倾斜度，也就是说，本发明实施例提供的加热灯安装结构1，借助调节组件13调节其对应设置并连接的灯座12倾斜的程度，与地面的夹角，以实现调节与灯座12固定且电连接的加热灯3倾斜的程度，与地面的夹角，从而能够将加热灯3的轴线调节至与水平面平行，继而能够提高加热灯3的轴线与该加热灯3所处圆周的圆心的同心度，进而改善加热效果，改善半导体工艺结果。
38.通过将固定环11固定设置在半导体腔室2的腔体21上，并将灯座12容置于固定环11上开设的安装槽111中，可以将灯座12安装至固定环11上，从而实现将灯座12安装至半导体腔室2的腔体21上，通过将加热灯3与灯座12固定且电连接，可以将加热灯3安装至灯座12上，以通过灯座12向加热灯3提供电能，从而将加热灯3安装至固定环11上，继而实现将加热灯3安装至半导体腔室2的腔体21上，并使加热灯3能够在灯座12提供电能的情况下发出红外光，通过将调节组件13与灯座12对应设置并连接，可以借助调节组件13调节灯座12的倾斜度，从而实现调节加热灯3的倾斜度。
39.本发明实施例提供的加热灯安装结构1，在调节组件13灯座12对应设置并连接，灯座12与加热灯3固定且电连接之后，借助调节组件13调节其连接的灯座12的倾斜度，以实现调节与灯座12固定且电连接的加热灯3的倾斜度，从而能够将加热灯3的轴线调节至与水平
面平行，继而能够将加热灯3的轴线调节至与该加热灯3所处的圆周的圆心同心，进而能够改善加热效果，改善半导体工艺结果。在进行半导体工艺，需要加热灯3进行加热时，灯座12将电能提供向加热灯3，加热灯3发出红外光照射至设置在腔体21内的用于承载晶圆的承载部件22上，从而通过对承载部件22进行加热，来对承载于承载部件22上的晶圆进行加热。
40.并且，半导体腔室2还会设置有金属反光部件24，反光部件24位于加热灯3背离承载部件22的一侧，用于将加热灯3发出的背离承载部件22的红外光反射至承载部件22，以提高加热灯3发出的红外光的利用率，提高加热效率，本发明实施例提供的加热灯安装结构1，借助调节组件13调节其对应设置并连接的灯座12的倾斜度，以实现调节与灯座12固定且电连接的加热灯3的倾斜度，从而能够调节加热灯3与反光部件24之间的相对角度，使加热灯3发出的红外光的反射位置发生改变，实现调节承载部件22上光强度的分布状态，调节承载部件22的温度均匀性，进而能够改善加热效果，改善半导体工艺结果。
41.可选的，固定环11的材质可以采用散热能力强、绝缘效果好且能够进行形状塑造的材料。例如，固定环11的材质可以采用陶瓷。
42.如图3、图4、图9-图11所示，在本发明一优选实施例中，调节组件13可以包括固定件131、转轴132和调节部件133，其中，固定件131固定设置在安装槽111中；转轴132的两端固定设置于安装槽111的相对两槽壁上，灯座12具有贯通孔，转轴132贯穿灯座12，且灯座12可相对转轴132转动；调节部件133与灯座12连接，并与固定件131可升降的连接，用于通过相对于固定件131升降，带动灯座12以转轴132为轴旋转，来调节灯座12的倾斜度。
43.通过将转轴132的两端固定设置于安装槽111的相对两槽壁上，并将转轴132穿过灯座12的贯通孔，以贯穿灯座12，且使灯座12可相对转轴132转动，可以使得灯座12能够以转轴132为轴旋转的设置在安装槽111中，通过将固定件131固定设置在安装槽111中，并将调节部件133与灯座12连接，且将调节部件133与固定件131可升降的连接，可以使得调节部件133能够通过固定件131设置在安装槽111中，这样通过使调节部件133相对于固定件131上升或者下降，可以借助调节部件133带动与其连接的灯座12以转轴132为轴旋转，从而调节灯座12的倾斜度。
44.例如，当转轴132相对于调节部件133靠近灯座12与加热灯3连接的一侧时，通过使调节部件133相对于固定件131上升，可以带动灯座12以转轴132为轴旋转，使灯座12的远离加热灯3的一侧上升，灯座12的靠近加热灯3的一侧下降，使加热灯3向下倾斜，通过使调节部件133相对于固定件131下降，可以带动灯座12以转轴132为轴旋转，使灯座12的远离加热灯3的一侧下降，灯座12的靠近加热灯3的一侧上升，使加热灯3向上倾斜(如图10所示)。
45.但是，转轴132与调节部件133的相对位置并不以此为限，例如，也可以是转轴132相对于调节部件133远离灯座12与加热灯3连接的一侧，此时，通过使调节部件133相对于固定件131上升，可以带动灯座12以转轴132为轴旋转，使灯座12的远离加热灯3的一侧下降，灯座12的靠近加热灯3的一侧上升，使加热灯3向上倾斜，通过使调节部件133相对于固定件131下降，可以带动灯座12以转轴132为轴旋转，使灯座12的远离加热灯3的一侧上升，灯座12的靠近加热灯3的一侧下降，使加热灯3向下倾斜。
46.如图4、图6和图7所示，在本发明一优选实施例中，固定件131可以包括固定框架，调节部件133可以包括调节框架1331、调节螺杆1332和转动件1333，其中，调节框架1331套设在灯座12上，固定框架固定设置在安装槽111中，并环绕在调节框架1331的周围，调节螺
杆1332贯穿固定框架的上边框，并与固定框架的上边框螺纹连接，且调节螺杆1332通过转动件1333与调节框架1331可转动的连接。
47.可以通过将固定框架的下边框与安装槽111的槽底固定连接，以将固定框架固定设置在安装槽111中，通过将固定框架环绕在调节框架1331的周围，并将调节螺杆1332贯穿固定框架的上边框，且使调节螺杆1332与固定框架的上边框螺纹连接，以实现调节部件133与固定件131可升降的连接，通过将调节螺杆1332通过转动件1333与调节框架1331可转动的连接，并将调节框架1331套设在灯座12上，以实现调节部件133与灯座12连接。
48.通过旋转调节螺杆1332可以使调节螺杆1332相对于固定框架上升或者下降，以带动与调节螺杆1332连接的调节框架1331上升或者下降，从而带动套设于调节框架1331中的灯座12以转轴132为轴旋转，进而调节灯座12的倾斜度。由于调节框架1331套设在灯座12上，因此，灯座12在以转轴132为轴旋转时，也会使得调节框架1331随之倾斜，这就使得调节框架1331会相对于调节螺杆1332倾斜，通过使调节螺杆1332通过转动件1333与调节框架1331可转动的连接，可以使得调节框架1331能够顺利的相对于调节螺杆1332倾斜，避免调节框架1331与调节螺杆1332卡滞。
49.如图6和图7所示，在本发明一优选实施例中，转动件1333可以包括球关节。转动件1333采用球关节，具有较大的载荷能力，抗冲击、自调心等优势。
50.如图4、图9和图11所示，在本发明一优选实施例中，调节部件133可以还包括锁紧件1334，锁紧件1334与调节螺杆1332可升降的连接，并能够与固定框架的上边框相抵，用于将调节螺杆1332与固定框架的上边框锁紧。
51.由于调节螺杆1332与固定框架的上边框螺纹连接，因此，借助锁紧件1334将调节螺杆1332与固定框架的上边框锁紧，可以避免调节螺杆1332与固定框架发生偶然的旋转，从而避免调节螺杆1332发生偶然的升降，导致加热灯3的倾斜度发生偶然的变化，继而能够提高加热灯安装结构1的稳定性，进而能够提高加热稳定性，以及半导体工艺的稳定性。
52.当锁紧件1334与固定框架的上边框相抵时，锁紧件1334将调节螺杆1332与固定框架的上边框锁紧，当旋转调节螺杆1332，使调节螺杆1332相对于固定框架上升后，锁紧件1334与固定框架的上边框之间出现间隙，锁紧件1334不再与固定框架的上边框相抵，此时，需要使锁紧件1334相对于调节螺杆1332下降，使锁紧件1334与固定框架的上边框相抵，从而使锁紧件1334将调节螺杆1332与固定框架的上边框锁紧，当需要旋转调节螺杆1332，使调节螺杆1332相对于固定框架下降时，可以先使锁紧件1334相对于调节螺杆1332上升，使锁紧件1334与固定框架的上边框之间出现间隙，给调节螺杆1332留出相对于固定框架下降的空间，再使调节螺杆1332相对于固定框架下降，之后，可以再使锁紧件1334相对于调节螺杆1332下降，使锁紧件1334与固定框架的上边框相抵，从而使锁紧件1334将调节螺杆1332与固定框架的上边框锁紧，或者可以再使锁紧件1334相对于调节螺杆1332上升，给调节螺杆1332留出相对于固定框架进一步下降的空间。
53.可选的，锁紧件1334可以包括锁紧螺母。
54.如图4和图5所示，在本发明一优选实施例中，固定环11中可以开设有沿固定环11径向设置的容纳空间112，容纳空间112与安装槽111连通，灯座12可以包括电连接件121，电连接件121的第一端用于与加热灯3的电极接头33电连接，电连接件121的第二端暴露在灯座12外且容置于容纳空间112中。
55.通过使容置于安装槽111中的灯座12中的电连接件121的第一端与加热灯3的电极接头33电连接，可以使电连接件121将电能通过电极接头33提供向加热灯3，也就是说，灯座12是通过电连接件121向加热灯3提供电能的，因此，电连接件121在工作时是带电的，通过在固定环11中开设沿固定环11径向设置的容纳空间112，并使容纳空间112与安装槽111连通，可以使容置于安装槽111中的灯座12中的电连接件121的第二端能够穿入至容纳空间112中，借助容纳空间112将电连接件121暴露在灯座12外的第二端容置于其中，可以避免电连接件121的第二端暴露在外界环境中，从而避免触电的情况发生，提高使用安全性。
56.可选的，电连接件121可以包括接线柱，加热灯3可以包括灯管31、灯丝32和电极接头33，其中，灯丝32设置于灯管31内，并与电极接头33电连接，接线柱的第一端插入至灯座12中，第二端暴露在灯座12外，接线柱插入至灯座12中的第一端与电极接头33电连接，接线柱暴露在灯座12外的第二端可以通过导线122与电源电连接，接线柱暴露在灯座12外的第二端的材质可以采用铜。
57.如图1-图3所示，安装槽111的数量可以为多个，多个安装槽111沿固定环11的周向间隔分布，灯座12以及调节组件13可以均为多个，且灯座12与调节组件13一一对应设置，多个灯座12一一对应的设置在多个安装槽111中。
58.通过沿固定环11的周向间隔开设多个安装槽111，并将多个灯座12一一对应的设置在多个安装槽111中，即，每个安装槽111中设置一个灯座12，可以将多个灯座12沿固定环11的周向间隔的安装至固定环11上，从而实现将多个灯座12安装至半导体腔室2的腔体21上，并使多个灯座12处于同一周向上，通过将多个加热灯3与多个灯座12一一对应的固定且电连接，即，每个加热灯3与一个灯座12固定且电连接，可以将多个加热灯3沿固定环11的周向间隔的安装至固定环11上，并通过多个灯座12一一对应的向多个加热灯3提供电能，继而实现将多个加热灯3安装至半导体腔室2的腔体21上，并使多个加热灯3处于同一周向上，且使多个加热灯3能够在多个灯座12一一对应的提供电能的情况下发出红外光，通过将多个调节组件13与多个灯座12一一对应设置并连接，可以借助多个调节组件13一一对应的调节多个灯座12的倾斜度，从而实现一一对应的调节多个加热灯3的倾斜度。
59.如图2所示，可选的，多个安装槽111可以沿固定环11的周向均匀间隔分布。即，在固定环11的周向上，相邻的两个安装槽111之间的间距相同，这样可以使多个灯座12沿固定环11的周向均匀间隔分布，即，在固定环11的周向上，相邻的两个灯座12之间的间距相同，从而可以使多个加热灯3沿固定环11的周向均匀间隔分布，即，在固定环11的周向上，相邻的两个加热灯3之间的间距相同，继而可以提高加热灯3发出的红外光照射至承载部件22上的均匀性，进而改善加热效果，改善半导体工艺结果。
60.在本发明一优选实施例中，固定环11上可以设置有散热结构，散热结构用于对加热灯3传递至灯座12的热量进行散热。
61.这样的设计是由于加热灯3在工作中的温度能够高达1000℃-2000℃，且加热灯3的高温会传递至灯座12，使得灯座12的温度升高，而灯座12中的电连接件121的材质通常为铜，且灯座12自身的散热能力有限，使得电连接件121在长时间的高温环境中会发生氧化，导致局部电阻增大，从而可能会出现烧毁的情况，本发明实施例提供的加热灯安装结构1，借助散热结构对加热灯3传递至灯座12的热量进行散热，可以避免烧毁的情况出现，进而提高使用安全性。
62.如图2和图5所示，在本发明一优选实施例中，散热结构可以包括多个散热凸部14，多个散热凸部14沿固定环11的周向间隔分布。
63.由于灯座12的热量会散发至安装槽111中并传递至固定环11，因此，通过在固定环11上设置多个散热凸部14，可以增加固定环11与外界环境的接触面积，从而可以提高固定环11的散热效果，进而可以提高灯座12的散热效果。
64.如图2所示，可选的，多个散热凸部14可以沿固定环11的周向均匀间隔分布。
65.即，在固定环11的周向上，相邻的两个散热凸部14之间的间距相同，这样可以使固定环11能够均匀的散热，使灯座12能够均匀的散热，从而提高灯座12的散热效果。
66.如图1所示，本发明实施例还提供一种半导体腔室2，包括腔体21、加热灯3、金属反光部件24和如本发明实施例提供的加热灯安装结构1，其中，腔体21用于为半导体工艺提供工艺环境，加热灯安装结构1的固定环11沿腔体21的周向固定设置在腔体21上，用于将加热灯3与腔体21连接，反光部件24相对加热灯3固定设置，用于将加热灯3发出的光线发射入腔体21内。
67.本发明实施例提供的半导体腔室2，借助本发明实施例提供的加热灯安装结构1将加热灯3与半导体腔室2的腔体21连接，从而能够提高加热灯3的轴线与该加热灯3所处圆周的圆心的同心度，进而改善加热效果，改善半导体工艺结果。
68.并且，本发明实施例提供的半导体腔室2包括反光部件24，反光部件24相对加热灯3固定设置，用于将加热灯3发出的红外光反射入腔体内，以提高加热灯3发出的红外光的利用率，提高加热效率，本发明实施例提供的半导体腔室2，借助加热灯安装结构1调节加热灯3的倾斜度，从而能够调节加热灯3与反光部件24之间的相对角度，使加热灯3发出的红外光的反射位置发生改变，继而能够调节腔体内光强度的分布状态，调节腔体内的温度均匀性，进而能够改善加热效果，改善半导体工艺结果。
69.如图1所示，半导体腔室2可以还包括承载部件22和支撑件23，腔体21可以包括腔体壁211、第一透光部件212和第二透光部件213，其中，腔体壁211呈环状，第一透光部件212设置在腔体壁211的顶部，用于使位于其上方的加热灯3发出的红外光透过进入腔体21内，第二透光部件213设置在腔体壁211的底部，用于使位于其下方的加热灯3(图中未示出)发出的红外光透过进入腔体21内，腔体壁211、第一透光部件212和第二透光部件213可以形成腔体21为半导体工艺提供工艺环境，承载部件22位于腔体21内，用于承载晶圆，反光部件24设置腔体21外，并位于多个加热灯3背离承载部件22的一侧，用于将多个加热灯3发出的背离承载部件22一侧的红外光透过第一透光部件212反射至承载部件22，支撑件23穿过第二透光部件213与承载部件22的底部连接，用于支撑承载部件22。
70.可选的，反光部件24可以包括金属反光板。
71.可选的，第一透光部件212可以包括第一石英透光窗。
72.可选的，第二透光部件213可以包括第二石英透光窗。
73.综上所述，本发明实施例提供的加热灯安装结构1及半导体腔室2，能够提高加热灯3的轴线与该加热灯3所处圆周的圆心的同心度，从而改善加热效果，改善半导体工艺结果。
74.可以解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神
和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

技术特征：
1.一种加热灯安装结构，用于将加热灯安装于半导体腔室的腔体上，其特征在于，所述加热灯安装结构包括固定环、灯座和与所述灯座对应设置的调节组件，其中，所述固定环用于固定设置在所述半导体腔室的腔体上，所述固定环开设有安装槽，所述灯座容置于所述安装槽中，所述灯座用于与所述加热灯固定且电连接，以向所述加热灯提供电能；所述调节组件与所述灯座连接，用于调节所述灯座的倾斜度，进而实现调节所述加热灯的倾斜度。2.根据权利要求1所述的加热灯安装结构，其特征在于，所述调节组件包括固定件、转轴和调节部件，其中，所述固定件固定设置在所述安装槽中；所述转轴的两端固定设置于所述安装槽的相对两槽壁上，所述灯座具有贯通孔，所述转轴贯穿所述灯座，且所述灯座可相对所述转轴转动；所述调节部件与所述灯座连接，并与所述固定件可升降的连接，用于通过相对于所述固定件升降，带动所述灯座以所述转轴为轴旋转，来调节所述灯座的倾斜度。3.根据权利要求2所述的加热灯安装结构，其特征在于，所述固定件包括固定框架，所述调节部件包括调节框架、调节螺杆和转动件，其中，所述调节框架套设在所述灯座上，所述固定框架固定设置在所述安装槽中，并环绕在所述调节框架的周围，所述调节螺杆贯穿所述固定框架的上边框，并与所述固定框架的上边框螺纹连接，且所述调节螺杆通过所述转动件与所述调节框架可转动的连接。4.根据权利要求3所述的加热灯安装结构，其特征在于，所述调节部件还包括锁紧件，所述锁紧件与所述调节螺杆可升降的连接，并能够与所述固定框架的上边框相抵，用于将所述调节螺杆与所述固定框架的上边框锁紧。5.根据权利要求1所述的加热灯安装结构，其特征在于，所述固定环中开设有沿所述固定环径向设置的容纳空间，所述容纳空间与所述安装槽连通，所述灯座包括电连接件，所述电连接件的第一端用于与所述加热灯的电极接头电连接，所述电连接件的第二端暴露在所述灯座外且容置于所述容纳空间中。6.根据权利要求1所述的加热灯安装结构，其特征在于，所述安装槽的数量为多个，多个所述安装槽沿所述固定环的周向间隔分布，所述灯座以及所述调节组件均为多个，且所述灯座与所述调节组件一一对应设置，多个所述灯座一一对应的设置在多个所述安装槽中。7.根据权利要求1所述的加热灯安装结构，其特征在于，所述固定环上设置有散热结构，所述散热结构用于对所述加热灯传递至所述灯座的热量进行散热。8.根据权利要求7所述的加热灯安装结构，其特征在于，所述散热结构包括多个散热凸部，多个所述散热凸部沿所述固定环的周向间隔分布。9.根据权利要求3所述的加热灯安装结构，其特征在于，所述转动件包括球关节。10.一种半导体腔室，其特征在于，包括腔体、加热灯、金属反光部件和如权利要求1-9任意一项所述的加热灯安装结构，其中，所述腔体用于为半导体工艺提供工艺环境，所述加热灯安装结构的所述固定环沿所述腔体的周向固定设置在所述腔体上，用于将所述加热灯与所述腔体连接，所述反光部件相对所述加热灯固定设置，用于将所述加热灯发出的光线反射入所述腔体内。

技术总结
本发明提供一种加热灯安装结构及半导体腔室，其中，加热灯安装结构用于将加热灯安装于半导体腔室的腔体上，加热灯安装结构包括固定环、灯座和与灯座对应设置的调节组件，固定环用于固定设置在半导体腔室的腔体上，固定环开设有安装槽，灯座容置于安装槽中，灯座用于与加热灯固定且电连接，以向加热灯提供电能；调节组件与灯座连接，用于调节灯座的倾斜度，进而实现调节加热灯的倾斜度。本发明提供的加热灯安装结构及半导体腔室，能够提高加热灯的轴线与该加热灯所处圆周的圆心的同心度，从而改善加热效果，改善半导体工艺结果。改善半导体工艺结果。改善半导体工艺结果。


技术研发人员：商家强
受保护的技术使用者：北京北方华创微电子装备有限公司
技术研发日：2021.11.29
技术公布日：2022/3/8