一种集成电路所需化学品的供应柜的制作方法

1.本实用新型涉及集成电路中的化学品供应柜，尤其涉及一种可对取样管进行防脱落保护的化学品供应柜。


背景技术：

2.集成电路半导体芯片厂的建设规模越来越大，对制程所用的高纯度化学品的需求也水涨船高。为了保证化学品品质，每种化学品在更换管路系统中的滤芯后或做季度检时，会对化学品中的particle(微颗粒)做测试。
3.半导体芯片厂所用的化学品大概有三十多种，基本每天都会有化学品的取样操作，在取样过程中，需要将取样管接入化学品供应柜的接头处，并将螺母拧紧，如果取样点的螺母没有固定牢靠，就会有取样管脱落的风险，导致人员受伤，事实上也已经发生过因取样管脱落导致人员受伤的事故。
4.因此，针对以上缺陷，需要对集成电路所需化学品的供应柜进行有效创新。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种集成电路所需化学品的供应柜，该供应柜利用夹持机构对取样管进行防脱落夹持，避免出现因取样管脱落导致人员受伤的情况。
6.为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：
7.一种集成电路所需化学品的供应柜，包括供应柜本体、保护罩和夹持机构，于所述供应柜本体的面罩上设置保护罩，于所述面罩上设置和取样接头的位置与数量相对应的第一通孔，于所述保护罩上至少设置一个第二通孔和夹持机构，所述第二通孔的位置和至少部分所述第一通孔的位置相对应，所述夹持机构和所述第二通孔的数量相对应，以便在取样管通过第二通孔和第一通孔连接取样接头以便取样时，夹持机构可以同时对取样管进行夹持，所述夹持机构包括因夹持需要而相向移动并相邻的两个所述夹持板，且两个所述夹持板相对的一侧设置对应的缺口，一个所述夹持机构中的两个所述缺口拼合成一个夹持口；
8.相应的，所述保护罩通过设置于所述保护罩两端的支撑板架设于所述面罩上，为夹持机构预留设置空间；
9.相应的，于所述保护罩上设置一个第二通孔，所述第二通孔的位置和其中一个所述第一通孔的位置相对应；
10.相应的，于所述保护罩上设置位置和数量与所述第一通孔相对应的第二通孔；
11.相应的，所述第一通孔和所述第二通孔为圆形孔；
12.相应的，所述夹持口的尺寸小于所述第一通孔和所述第二通孔的尺寸；
13.相应的，所述缺口为半圆形，两个所述缺口拼合成圆形的夹持口；
14.相应的，所述夹持板通过滑块滑动设置于条形孔中，所述条形孔设置于所述保护罩上；
15.相应的，一个所述夹持机构中的两个所述夹持板设置于同一个所述条形孔中，所述条形孔在其长度方向上的中轴线和所述第二通孔其中一条中轴线相平行，且所述条形孔和所述第二通孔的中心存在垂直距离；
16.相应的，一个所述夹持机构中的两个所述夹持板设置于两个不同的所述条形孔中，两个所述条形孔在各自长度方向上的中轴线和所述第二通孔中的同一条中轴线平行或重叠。
17.本实用新型的有益效果为：该供应柜利用夹持机构对取样管进行防脱落夹持，避免出现因取样管脱落导致人员受伤的情况。
附图说明
18.图1是本实用新型一实施例所述的集成电路所需化学品的供应柜上保护罩的结构示意图；
19.图2是将图1所示的保护罩安装于供应柜本体上的侧面结构示意图；
20.图3是一个实施例中取样接头、第一通孔、保护罩以及夹持机构的结构对应示意图；
21.图4是另一个实施例中取样接头、第一通孔、保护罩以及夹持机构的结构对应示意图；
22.图5-图9是条形孔的几种不同设置方式示意图；
23.图中：
24.11、柜体；12、取样接头；13、面罩；14、第一通孔；
25.2、保护罩；21、第二通孔；
26.3、夹持板；31、缺口；
27.4、滑块；5、条形孔。
具体实施方式
28.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
29.此外，术语“第一”、“第二”、“一号”、“二号”、“三号”、“四号”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“部分”具体到数量包括一个或多个，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
30.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
31.以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
32.如图1和2所示，在本实用新型的一个实施例中，集成电路所需化学品的供应柜包括供应柜本体、保护罩2和夹持机构，供应柜本体为现有的结构，包括柜体11、设置于柜体11内的取样接头12以及盖合于柜体11上的面罩13，于面罩13上设置和取样接头12的位置与数量相对应的第一通孔14；
33.于面罩13上设置保护罩2。鉴于在保护罩2和面罩13之间(也即保护罩2的内侧)设置夹持机构便于操作(并不意味排除了在保护罩2外侧或其他侧设置夹持机构的方式)，因此，本实施例中，为了在保护罩2和面罩13之间预留空间用于设置夹持机构，保护罩2通过设置于保护罩2两端的支撑板架设于面罩13上，支撑板可以采用螺丝或粘贴的方式固定；
34.保护罩2设置有一个或多个，当一个保护罩2就能覆盖全部取样接头12所处的区域时，可以只设置一个，也可以通过多个保护罩2实现对全部取样接头12所处区域的覆盖，于保护罩2上设置第二通孔21。a、对于只设置一个保护罩2的，一个保护罩2上第二通孔21的位置和数量与第一通孔14的位置和数量相对应；b、对于设置有多个保护罩2的，例如，为两个取样接头12配置两个保护罩2，则每个保护罩2上设置一个第二通孔21和夹持机构，第二通孔21的位置和其中一个第一通孔14的位置相对应，即设置有多个保护罩2时，多个保护罩2上第二通孔21的总数和位置与第一通孔14的数量和位置相对应。本实施例中，为了简化描述，于面罩13上设置一个覆盖全部取样接头12所处区域的保护罩2，于保护罩2上设置位置和数量与第一通孔14相对应的第二通孔21，第一通孔14和第二通孔21均为圆形孔，且两者直径相同；
35.保护罩2上还设置有和第二通孔21相对应的夹持机构，鉴于在本实施例中采用一个保护罩2并于该保护罩2上设置位置和数量与第一通孔14相对应的第二通孔21，因此，本实施例中，夹持机构的数量和第一通孔14的数量相对应，而第一通孔14的数量和取样接头12的数量相对应，则夹持机构的数量和取样接头12的数量相对应；
36.夹持机构包括因夹持需要而相向移动并相邻的两个夹持板3(并不局限于板型，例如还可以是夹持臂的形式)，且两个夹持板3相对的一侧设置对应的缺口31，一个夹持机构中的两个缺口31拼合成一个夹持口，本实施例中，缺口31为半圆形，两个缺口31拼合成圆形的夹持口，夹持口的半径小于第二通孔21的半径，此外，夹持口的内径等于或大于取样管的外径且小于取样管上螺母的外径，以此达到卡接取样管的目的。所述的因夹持需要可以理解为存在夹持需求并可达到夹持目的，简化为当存在取样接头12时，就存在夹持需求。例如，存在两个取样接头12时，其就存在两个取样管的夹持需求，存在三个取样接头12时，其就存在三个取样管的夹持需求；
37.更为具体的，例如，1)如图3所示，供应柜本体内横向排列设置两个取样接头12，保护罩2上横向排列设置四个夹持板3，从左到右分别编号为一号、二号、三号和四号，则分别两两组成一个夹持机构，即一号和二号组成一个夹持机构，三号和四号组成一个夹持机构，两个夹持机构分别对应两个取样接头12，分别夹持对应的取样管，二号和三号虽然属于可进行相向移动并相邻的两个夹持板3，但在该状况下，不存在第三个待对应分配的取样接头12，因此二号和三号间没有夹持需求，二号和三号进行的相向移动是为了实现各自所在的
夹持机构的夹持或卸载，因此，不能将二号和三号作为一组夹持机构，继而二号和三号的相对侧不需要设置对应的缺口31；2)但是，如图4所示，当供应柜本体内横向排列设置三个取样接头12，而保护罩2上依然只横向排列设置前述四个夹持板3时，一号和二号组成一个夹持机构，三号和四号组成一个夹持机构，还存在一个取样接头12没有对应的夹持机构，此时只剩二号和三号没有组成夹持机构，因此，二号和三号间存在夹持需求，同时二号和三号间又满足相向移动并相邻的条件，此时，二号和三号可以作为一组夹持机构，继而二号和三号的相对侧设置对应的缺口31。因此，夹持机构的数量始终等于取样接头12的数量。需要特别注意的是，第1)种情况下，夹持板3的数量是取样接头12数量的两倍，则每两个相向移动并相邻的夹持板3组成一个夹持机构，且任意一个夹持板3和夹持机构存在唯一对应关系；第2)种情况下，夹持板3为三个或三个以上，且夹持板3的数量较取样接头12的数量多但又不足以是取样接头12数量的两倍，则每两个相向移动并相邻的夹持板3组成一个夹持机构，且部分夹持板3和夹持机构不存在唯一对应关系。如此，最终达到夹持机构的数量和取样接头12的数量对应的目的。需要注意的是，一个夹持机构上的两个夹持板3虽然结构相同，即存在对应的缺口31，但是夹持板3的长度、宽度、厚度等尺寸可以不同，以满足夹持口和取样接头12位置对应的需求；
38.夹持板3通过滑块4滑动设置于条形孔5中，条形孔5设置于保护罩2上。为了满足夹持板3对取样管的夹持或卸载目的，1)如图5所示，当一个夹持机构中的两个夹持板3设置于同一个条形孔5中时，条形孔5在其长度方向上的中轴线a1和第二通孔21其中一条中轴线a2相平行，且条形孔5和第二通孔21的中心存在垂直距离l；2)当一个夹持机构中的两个夹持板3设置于两个不同的条形孔5中时，两个条形孔5在各自长度方向上的中轴线和第二通孔21中的同一条中轴线平行或重叠。对于2)，具体包括：a、如图6所示，两个条形孔5在各自长度方向上的中轴线分别为a3和a4，a3和a4均和第二通孔21中的同一条中轴线a5平行；b、如图7所示，两个条形孔5在各自长度方向上的中轴线a6和第二通孔21中的同一条中轴线a6重叠；c、如图8所示，两个条形孔5在各自长度方向上的中轴线a7重叠，且该中轴线a7和第二通孔21中的一条中轴线a8平行；d、如图9所示，其中一个条形孔5在其长度方向上的中轴线a9和第二通孔21中的一条中轴线a9重叠，而另一个条形孔5在其长度方向上的中轴线a10和第二通孔21中的同一条中轴线a9平行。
39.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。