一种汽车音响面板氮化铬镀膜工艺的制作方法

1.本发明涉及汽车音响面板加工技术领域，具体为一种汽车音响面板氮化铬镀膜工艺。


背景技术：

2.汽车音响面板是汽车上的重要零部件，为了提升车内材料品质通常会对音响面板进行镀膜处理，通常需要使用到汽车音响面板氮化铬镀膜工艺。
3.常见的氮化铬镀膜工艺在使用时，随着工作温度的升高，空气中的氧加速向涂层内部扩散，同时涂层中的元素原子也剧烈地向涂层表面扩散，当氮化铬涂层工作温度超过一定的温度时涂层便发生氧化，氮化铬涂层转变成氧化物层，在这种转变过程中因涂层晶格发生膨胀而在涂层内部形成较大的应用、且转变成的氧化物层本身结构疏松，从而导致了极易剥落、耐磨损差和硬度低的问题，不能满足氮化铬镀膜工艺的工作要求，为此提出一种汽车音响面板氮化铬镀膜工艺。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本发明提供了一种汽车音响面板氮化铬镀膜工艺，解决了上述背景技术提出的技术问题。
6.(二)技术方案
7.为实现上述的目的，本发明提供如下技术方案：一种汽车音响面板氮化铬镀膜工艺，包括以下步骤：
8.将面板材料装入真空釜内进行加热,设定加热温度为140-160℃，本底真空镀为1.3*10(-2)pa；
9.对面板材料表面进行离子轰击刻蚀；
10.将面板材料固定在多弧离子蒸镀坩埚内进行沉积cr/crn打底层，抽至本底真空设定气压至1.0-3.0pa，cr膜层ar流量调节范围为15-35，通入反应气体n2，同时打开加热器升温至380-520℃，通过偏压电源对面板材料表面施加负偏压，靶电流溅射面板材料表面，使铬靶通电，多弧圆靶电流25～100a，沉积cr/crn打底层1-35min；
11.通过加热装置对面板材料和膜层进行加热烘干；
12.使用电子式干膜测厚仪对面板材料表面膜层进行检测。
13.优选的，所述使用前应对面板材料表面使用除油剂或清洁剂进行清洁，除去待涂装表面的蜡、油污和灰尘杂物。
14.优选的，所述每道涂层及最终涂层须用电子式干膜测厚仪进行干膜厚度的检测，膜厚不足时须按要求进行补涂到规定的干膜厚度，干膜厚度3-6μm，湿膜9-12μm。
15.优选的，所述膜层加热方式采用电热体烘烤加热，在工件加热时，升温速度保持在5-8℃/min，一小时后可以达到380℃，膜层烘烤是指沉积过程结束后对所沉积的cr/crn打
底层进行加热烘烤，采用小电流进行微加热10-12min，电流逐渐从90安培降低到30安培。
16.优选的，所述调节氩气流量保证压强为0.1～0.25pa，然后对面板材料表面施加100－200v的直流偏压和200～400v的脉冲偏压，利用离化的ar+对面板材料表面进行轰击刻蚀，刻蚀30～120min。
17.优选的，所述cr膜层沉积1-2min时ar流量控制为15-35，偏压电源使用占空比为45-55％，负电压为130-220v，四组至六组多弧圆靶电流均为90安培，crn膜层沉积30-40min时ar流量控制为-20-90，反应气体n2控制量为0-10，两组溅射靶电流均为30安培。
18.(三)有益效果
19.与现有技术相比，本发明提供了一种汽车音响面板氮化铬镀膜工艺，具备以下有益效果：
20.1、该汽车音响面板氮化铬镀膜工艺，通过设置利用离化的ar+对面板材料表面进行轰击刻蚀后，对本底真空设定气压1.0-3.0pa，调节ar流量范围并通过反应气体n2后控制多弧圆电流使cr/crn膜层沉积，提高了膜层的耐磨性能和耐热性能，避免了当氮化铬涂层工作温度超过一定的温度时涂层便发生氧化、涂层晶格发生膨胀而在涂层内部形成较大的应用，从而导致了耐磨损差和硬度低的问题。
21.2、该汽车音响面板氮化铬镀膜工艺，通过设置电热体烘烤加热，设定升温速度保持在5-8℃/min持续时间设定一小时，能够对所沉积的cr/crn打底层进行加热稳定烘烤，提升了膜层的贴合度，避免了膜层氧化后本身结构疏松，从而导致了极易剥落的问题。
附图说明
22.图1为本发明制备方法简易流程示意图；
23.图2为本发明工艺过程中各条件实验数据示意图。
具体实施方式
24.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
25.实施例一
26.如图1，本发明提供一种技术方案，一种汽车音响面板氮化铬镀膜工艺，包括以下步骤：
27.s110、将面板材料装入真空釜内进行加热,设定加热温度为140-160℃，本底真空镀为1.3*10(-2)pa，所述使用前应对面板材料表面使用超声波清洗机进行清洁，除去待涂装表面的蜡、油污和灰尘杂物；
28.s120、对面板材料表面进行离子轰击刻蚀，所述调节氩气流量保证压强为0.1.5～0.3pa，然后对面板材料表面施加100－200v的直流偏压和200～400v的脉冲偏压，利用离化的ar+对面板材料表面进行轰击刻蚀，刻蚀40～160min；
29.s130、将面板材料固定在多弧离子蒸镀坩埚内进行沉积cr/crn打底层，如图2，抽至本底真空设定气压至1.0-3.0pa，cr膜层ar流量调节范围为30，通入反应气体n2，同时打
开加热器升温至400-520℃，通过偏压电源对面板材料表面施加负偏压，靶电流溅射面板材料表面，使铬靶通电，多弧圆靶电流25～100a，沉积cr/crn打底层1-35min，所述cr膜层沉积1-2min时ar流量控制为15-35，偏压电源使用占空比为45-55％，负电压为130-220v，四组至六组多弧圆靶电流均为90安培，crn膜层沉积30-40min时ar流量控制为-20-90，反应气体n2控制量为6，两组溅射靶电流均为30安培；
30.s140、通过加热装置对面板材料和膜层进行加热烘干，所述膜层加热方式采用电热体烘烤加热，在工件加热时，升温速度保持在5-8℃/min，一小时后可以达到380℃，膜层烘烤是指沉积过程结束后对所沉积的cr/crn打底层进行加热烘烤，采用小电流进行微加热8-10min，电流逐渐从90安培降低到50安培；
31.s150、使用电子式干膜测厚仪对面板材料表面膜层进行检测，所述每道涂层及最终涂层须用电子式干膜测厚仪进行干膜厚度的检测，膜厚不足时须按要求进行补涂到规定的干膜厚度，干膜厚度3-6μm，湿膜9-12μm。
32.实施例二
33.如图1，本发明提供一种技术方案，一种汽车音响面板氮化铬镀膜工艺，包括以下步骤：
34.s110、将面板材料装入真空釜内进行加热,设定加热温度为140℃，本底真空镀为1.3*10(-2)pa，所述使用前应对面板材料表面使用表面活性剂进行清洁，除去待涂装表面的蜡、油污和灰尘杂物；
35.s120、对面板材料表面进行离子轰击刻蚀，所述调节氩气流量保证压强为0.1.5～0.3pa，然后对面板材料表面施加100－200v的直流偏压和200～400v的脉冲偏压，利用离化的ar+对面板材料表面进行轰击刻蚀，刻蚀40～160min；
36.s130、将面板材料固定在多弧离子蒸镀坩埚内进行沉积cr/crn打底层，如图2，抽至本底真空设定气压至1.0-3.0pa，cr膜层ar流量调节范围为30，通入反应气体n2，同时打开加热器升温至475℃，通过偏压电源对面板材料表面施加负偏压，靶电流溅射面板材料表面，使铬靶通电，多弧圆靶电流25～100a，沉积cr/crn打底层1-35min，所述cr膜层沉积1-2min时ar流量控制为15-35，偏压电源使用占空比为45-55％，负电压为130-220v，四组至六组多弧圆靶电流均为90安培，crn膜层沉积30-40min时ar流量控制为-20-90，反应气体n2控制量为8，两组溅射靶电流均为30安培；
37.s140、通过加热装置对面板材料和膜层进行加热烘干，所述膜层加热方式采用电热体烘烤加热，在工件加热时，升温速度保持在5-8℃/min，一小时后可以达到380℃，膜层烘烤是指沉积过程结束后对所沉积的cr/crn打底层进行加热烘烤，采用小电流进行微加热9min，电流逐渐从90安培降低到35安培；
38.s150、使用电子式干膜测厚仪对面板材料表面膜层进行检测，所述每道涂层及最终涂层须用电子式干膜测厚仪进行干膜厚度的检测，膜厚不足时须按要求进行补涂到规定的干膜厚度，干膜厚度4-8μm，湿膜10-16μm。
39.本装置的工作原理：首先使用超声波清洗设备和除油剂对面板材料表面进行清洗，出去面板材料表面沾附的蜡、油污和灰尘等杂物，随后放入真空釜内进行加热，将真空釜内的温度设置为160℃，本底真空镀为1.3*10(-2)pa，随后对面板材料表面进行离子轰击刻蚀，所述调节氩气流量保证压强为0.1～0.25pa，然后对面板材料表面施加100－200v的
直流偏压和200～400v的脉冲偏压，利用离化的ar+对面板材料表面进行轰击刻蚀，刻蚀30～120min，之后将面板材料固定在多弧离子蒸镀坩埚内进行沉积cr/crn打底层，抽至本底真空设定气压至1.0-3.0pa，cr膜层ar流量调节范围为15-35，通入反应气体n2，同时打开加热器升温至380-520℃，通过偏压电源对面板材料表面施加负偏压，靶电流溅射面板材料表面，使铬靶通电，多弧圆靶电流25～100a，沉积cr/crn打底层1-35min，所述cr膜层沉积1-2min时ar流量控制为15-35，偏压电源使用占空比为45-55％，负电压为130-220v，四组至六组多弧圆靶电流均为90安培，crn膜层沉积30-40min时ar流量控制为-20-90，反应气体n2控制量为0-10，两组溅射靶电流均为30安培，通过电热体烘烤对面板材料和膜层进行加热公函，设定升温速度保持在7℃/min，一小时后可以达到420℃，膜层烘烤是指沉积过程结束后对所沉积的cr/crn打底层进行加热烘烤，采用小电流进行微加热10-12min，电流逐渐从90安培降低到30安培，烘干完成后为了保证镀膜的平整度通过电子式干膜测厚仪对面板材料表面干膜厚度进行检测，膜厚不足时须按要求进行补涂到规定的干膜厚度，干膜厚度3-6μm，湿膜9-12μm。
40.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
41.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：
1.一种汽车音响面板氮化铬镀膜工艺，其特征在于，包括以下步骤：s110、将面板材料装入真空釜内进行加热,设定加热温度为140-160℃，本底真空镀为1.3*10(-2)pa；s120、对面板材料表面进行离子轰击刻蚀；s130、将面板材料固定在多弧离子蒸镀坩埚内进行沉积cr/crn打底层，抽至本底真空设定气压至1.0-3.0pa，cr膜层ar流量调节范围为15-35，通入反应气体n2，同时打开加热器升温至380-520℃，通过偏压电源对面板材料表面施加负偏压，靶电流溅射面板材料表面，使铬靶通电，多弧圆靶电流25～100a，沉积cr/crn打底层1-35min；s140、通过加热装置对面板材料和膜层进行加热烘干；s150、使用电子式干膜测厚仪对面板材料表面膜层进行检测。2.根据权利要求1所述的一种汽车音响面板氮化铬镀膜工艺，其特征在于：所述使用前应对面板材料表面使用除油剂或清洁剂进行清洁，除去待涂装表面的蜡、油污和灰尘杂物。3.根据权利要求1所述的一种汽车音响面板氮化铬镀膜工艺，其特征在于：所述每道涂层及最终涂层须用电子式干膜测厚仪进行干膜厚度的检测，膜厚不足时须按要求进行补涂到规定的干膜厚度，干膜厚度3-6μm，湿膜9-12μm。4.根据权利要求1所述的一种汽车音响面板氮化铬镀膜工艺，其特征在于：所述膜层加热方式采用电热体烘烤加热，在工件加热时，升温速度保持在5-8℃/min，一小时后可以达到380℃，膜层烘烤是指沉积过程结束后对所沉积的cr/crn打底层进行加热烘烤，采用小电流进行微加热10-12min，电流逐渐从90安培降低到30安培。5.根据权利要求1所述的一种汽车音响面板氮化铬镀膜工艺，其特征在于：所述调节氩气流量保证压强为0.1～0.25pa，然后对面板材料表面施加100－200v的直流偏压和200～400v的脉冲偏压，利用离化的ar+对面板材料表面进行轰击刻蚀，刻蚀30～120min。6.根据权利要求1所述的一种汽车音响面板氮化铬镀膜工艺，其特征在于：所述cr膜层沉积1-2min时ar流量控制为15-35，偏压电源使用占空比为45-55％，负电压为130-220v，四组至六组多弧圆靶电流均为90安培，crn膜层沉积30-40min时ar流量控制为-20-90，反应气体n2控制量为0-10，两组溅射靶电流均为30安培。

技术总结
本发明涉及汽车音响面板加工技术领域，且公开了一种汽车音响面板氮化铬镀膜工艺，将面板材料装入真空釜内进行加热,设定加热温度为140-160℃，本底真空镀为1.3*10(-2)Pa，对面板材料表面进行离子轰击刻蚀，将面板材料固定在多弧离子蒸镀坩埚内进行沉积Cr/CrN打底层，抽至本底真空设定气压至1.0-3.0Pa。该汽车音响面板氮化铬镀膜工艺使用时，通过设置利用离化的Ar+对面板材料表面进行轰击刻蚀后，对本底真空设定气压1.0-3.0Pa，调节Ar流量范围并通过反应气体N2后控制多弧圆电流使Cr/CrN膜层沉积，提高了膜层的耐磨性能和耐热性能，避免了当氮化铬涂层工作温度超过一定的温度时涂层便发生氧化，从而导致了耐磨损差和硬度低的问题。问题。问题。


技术研发人员：贾建国
受保护的技术使用者：昆山英利悦电子有限公司
技术研发日：2021.11.30
技术公布日：2022/3/8