一种机械式的真空抽拉阀的制作方法

1.本发明涉及真空阀门领域，尤指一种机械式的真空抽拉阀。


背景技术：

2.对设备抽真空时需要打开设备抽空口，抽真空完成后需要关闭设备抽空口以进行密封，现在常用的是采用机械式抽拉阀实现设备抽空口的打开和关闭。
3.目前市面上常见的机械式抽拉阀，抽空拉杆和阀座采用径向密封结构。设备抽空口的打开和关闭以及抽空口真空塞拧紧和松脱是通过抽拉拉杆的提拉和旋转实现。采用这种结构的抽拉阀，由于密封结构的限制会产生以下不利的影响：
4.第一，打开和关闭设备抽空口需要抽上拉和下压空拉杆，拧紧和松脱真空塞需要旋转抽空拉杆。以上操作会使抽空拉杆和阀座产生相对运动，使得产生一定的真空泄漏，尤其在高真空度的情况下，泄漏产生的不利影响更加的显著。
5.第二，真空塞拧紧和松脱都需要旋转抽空拉杆，而真空塞与设备抽空口为径向密封结构，若设备抽空口与真空塞摩擦力较小，在旋转抽空拉杆时会造成真空塞“跟转”，产生一定的泄漏，为了增加摩擦力，往往需要打开泵连接口以依靠大气压来增大摩擦力，但是，此时若产生“跟转”则危害性更大。由于真空塞尺寸规格越小摩擦力相对也越小，“跟转”的现象也更加明显。


技术实现要素：

6.本发明的目的是提供一种机械式的真空抽拉阀，打开和关闭真空塞的过程中实现零泄漏。
7.本发明提供的技术方案如下：
8.一种机械式的真空抽拉阀，包括：
9.外壳，包括上壳体、下波纹管和下壳体，所述上壳体的底部包括沿径向间隔设置的安装部和下压部，所述下压部位于所述安装部的内侧，所述安装部与所述下波纹管的顶端密封连接，所述下波纹管的底端与所述下壳体的顶部密封连接，所述下壳体的底部与设备抽空口密封连接；
10.抽拉件，沿所述外壳的轴向可移动地设置在所述外壳内，所述抽拉件的顶端伸出所述上壳体的顶端，所述抽拉件的底部侧壁设有卡接槽；
11.上波纹管，设置在所述上壳体内且套设在所述抽拉件外，所述上波纹管的一端与所述抽拉件密封连接，另一端与所述上壳体密封连接；
12.外锁紧组件，包括外膜片，所述外膜片设置在所述下壳体内侧；
13.内锁紧组件，包括连接座、内膜片和配合件，所述连接座的底端用于与设置在所述设备抽空口的真空塞连接，所述内膜片固定设置在所述连接座的顶端，所述配合件设置在所述连接座外侧且位于所述内膜片上方；
14.初始状态，所述外膜片与所述配合件具有间距，所述抽拉件向下移动至所述内膜
片与所述卡接槽卡接，所述抽拉件带动所述真空塞向上移动，使所述真空塞处于打开状态；
15.所述抽拉件向下移动至所述真空塞闭合时，所述上壳体向下移动使所述下压部下压所述外膜片，所述外膜片变形与所述配合件接触并带动所述配合件向下移动，使所述配合件下压所述内膜片，解除所述内膜片与所述卡接槽的卡接。
16.在一些实施方式中，所述上壳体的内侧壁上设有限位部，所述限位部用于对所述配合件进行限位。
17.在一些实施方式中，所述外壳还包括外套管，所述外套管的一端与所述上壳体的外侧壁连接，所述外套管的另一端与所述下壳体的外侧壁螺纹连接，向下转动所述外套管时带动所述上壳体向下移动。
18.在一些实施方式中，所述外锁紧组件还包括弹簧座、第一弹簧和松扣环，所述弹簧座设置在所述下壳体上，所述外膜片设置在所述弹簧座上，所述第一弹簧设置在所述弹簧座内侧并位于所述内锁紧组件外侧，所述松扣环的底部与所述第一弹簧连接，所述松扣环的顶部与所述外膜片抵接。
19.在一些实施方式中，所述外锁紧组件还包括第二弹簧和外膜片座，所述第二弹簧套设在所述弹簧座外侧，所述外膜片座的底部与所述第二弹簧连接，所述外膜片设置在所述外膜片座上。
20.在一些实施方式中，所述下壳体内侧壁上设有内挡圈，所述内挡圈与所述外膜片座的外侧壁抵接，用于对所述外膜片座进行限位。
21.在一些实施方式中，所述内锁紧组件还包括内膜片螺套，所述内膜片螺套将所述内膜片固定在所述连接座上，所述配合件的底部伸入所述内膜片螺套内并位于所述内膜片的正上方，所述配合件可相对所述内膜片螺套轴向移动。
22.在一些实施方式中，所述配合件包括内脱扣环和螺纹套，所述内脱扣环的底端伸入所述内膜片螺套内，所述内脱扣环顶端的外径大于所述内膜片螺套的内径，所述内脱扣环靠近底端的区域的外径大于内膜片螺套靠近顶端的区域的内径，所述螺纹套设置在所述内脱扣环的顶端，所述外膜片向下移动时带动所述螺纹套向下移动，所述螺纹套向下移动带动所述内脱扣环向下移动并使所述内脱扣环下压所述内膜片。
23.在一些实施方式中，还包括上套筒和限位插销，所述上套筒与所述上壳体的外侧壁螺纹连接，所述抽拉件的顶部设有限位孔，所述限位插销穿设在所述限位孔内，所述上套筒用于承托所述限位插销。
24.在一些实施方式中，所述外膜片包括第一环形部和多个第一弹片部，多个所述第一弹片部沿所述第一环形部的圆周方向间隔设置在所述第一环形部的内侧；和/或；
25.所述内膜片包括第二环形部和多个第二弹片部，多个所述第二弹片部沿所述第二环形部的圆周方向间隔设置在所述第二环形部的内侧。
26.本发明的技术效果在于：
27.真空塞的打开和关闭通过抽拉件的轴向移动实现，无需旋转抽拉件，进而无需增加真空塞与设备抽空口的摩擦力，使得在打开和关闭真空塞时无需打开泵抽空口，以维持抽拉阀内部真空环境；此外，在打开和闭合真空塞时，抽拉件的轴向移动行程通过波纹管的拉伸和压缩来提供，上波纹管与上壳体和抽拉件焊接形成密封腔体，抽拉件在密封的腔体内轴向移动不会产生泄漏，实现操作过程零泄漏。
附图说明
28.下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明：
29.图1是本技术具体实施例提供的一种机械式的真空抽拉阀处于初始状态的剖面图；
30.图2是图1中a处的放大图；
31.图3是本技术具体实施例提供的一种机械式的真空抽拉阀的抽拉件下移至与内膜片卡接时的剖面图；
32.图4是本技术具体实施例提供的一种机械式的真空抽拉阀的抽拉件打开真空塞时的剖面图；
33.图5是本技术具体实施例提供的一种机械式的真空抽拉阀的抽拉件带动真空塞关闭设备抽空口时的剖面图；
34.图6是本技术具体实施例提供的一种机械式的真空抽拉阀的抽拉件与内膜片解除卡接时的剖面图；
35.图7是本技术具体实施例提供的一种机械式的真空抽拉阀的抽拉件离开真空塞时的剖面图；
36.图8是图7中b处的放大图；
37.图9是本技术具体实施例提供的外膜片的横截面示意图；
38.图10是本技术具体实施例提供的内膜片的横截面示意图。
39.附图标号说明：
40.10、外壳；11、上壳体；111、安装部；112、下压部；113、上套筒座；114、上阀体；115、限位部；116、外挡圈；12、下波纹管；13、下壳体；131、内挡圈；14、外套管；141、第一台阶部；
41.20、抽拉件；21、手轮部；22、杆部；
42.30、上波纹管；
43.40、外锁紧组件；41、外膜片；411、第一环形部；412、第一弹片部；42、弹簧座；43、第一弹簧；44、松扣环；45、第二弹簧；46、外膜片座；
44.50、内锁紧组件；51、连接座；52、内膜片；521、第二环形部；522、第二弹片部；53、配合件；531、内脱扣环；532、螺纹套；54、内膜片螺套；
45.60、上套筒；70、限位插销；
46.100、设备抽空口；200、真空塞；300、泵抽空口。
具体实施方式
47.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
48.为使图面简洁，各图中只示意性地表示出了与本发明相关的部分，它们并不代表其作为产品的实际结构。另外，以使图面简洁便于理解，在有些图中具有相同结构或功能的部件，仅示意性地绘示了其中的一个，或仅标出了其中的一个。在本文中，“一个”不仅表示“仅此一个”，也可以表示“多于一个”的情形。
49.还应当进一步理解，在本技术说明书和所附权利要求书中使用的术语“和/或”是指相关联列出的项中的一个或多个的任何组合以及所有可能组合，并且包括这些组合。
50.在本文中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
51.另外，在本技术的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
52.本发明的技术构思是采用波纹管焊接实现抽真空内部空间密封，采用双重膜片设计，利用波纹管轴向位移，通过膜片的压缩和放松实现真空塞的锁紧和脱开，可在真空状态下进行真空塞的拔起和松脱操作，可保证抽拉真空塞过程零泄漏，适用于高真空应用领域的抽拉阀。
53.在本技术的一个实施例中，如图1所示，一种机械式的真空抽拉阀，如图1所示，包括外壳10、抽拉件20、上波纹管30、外锁紧组件40和内锁紧组件50，整个外壳10为筒体状，抽拉件20设置在外壳10内部，外壳10包括上壳体11、下波纹管12和下壳体13，上壳体11的底部包括沿径向间隔设置的安装部111和下压部112，下压部112位于安装部111的内侧，安装部111与下波纹管12的顶端密封连接，下波纹管12的底端与下壳体13的顶部密封连接，下壳体13的底部与设备抽空口100密封连接。
54.抽拉件20沿外壳10的轴向可移动地设置在外壳10内，抽拉件20的顶端伸出上壳体11的顶端，抽拉件20的底部侧壁设有卡接槽。为便于抽拉件20在外壳10内的抽拉，抽拉件20包括手轮部21和杆部22，杆部22与手轮部21固定连接，杆部22位于外壳10内，手轮部21位于外壳10外，操作者在外壳10外手持手轮部21即可使杆部22在外壳10内移动。
55.上波纹管30设置在上壳体11内且套设在抽拉件20外，上波纹管30的一端与抽拉件20密封连接，另一端与上壳体11密封连接；上波纹管30与抽拉件20和上壳体11密封连接后，抽拉件20在外壳10内抽拉时始终处于密封环境内。
56.为便于上波纹管30与抽拉件20的密封焊接，手轮部21的直径可大于杆部22的直径，上波纹管30的顶端与手轮部21焊接，杆部22位于上波纹管30内侧。为便于上波纹管30与上壳体11的密封连接，上壳体11包括上套筒座113和上阀体114，上套筒座113的底端与上阀体114的顶端连接，上阀体114的底部设有安装部111和下压部112，上套筒座113的内径大于上阀体114的内径，上波纹管30与上阀体114的顶端密封焊接。
57.外锁紧组件40包括外膜片41，外膜片41设置在下壳体13内侧。内锁紧组件50设置在外锁紧组件40内侧。
58.内锁紧组件50包括连接座51、内膜片52和配合件53，连接座51的底端用于与设置在设备抽空口100的真空塞200连接，连接座51与真空塞200通过螺纹实现可拆卸连接，内膜片52固定设置在连接座51的顶端，配合件53设置在连接座51外侧且位于内膜片52上方；抽拉件20位于内膜片52和配合件53内侧。
59.如图1和图2所示，初始状态，外膜片41与配合件53具有间距，如图3所示，抽拉件20向下移动至内膜片52与卡接槽卡接后，如图4所示，抽拉件20带动真空塞200向上移动，使真
空塞200处于打开状态；如图5所示，抽拉件20向下移动至真空塞200闭合时，如图6所示，上壳体11向下移动使下压部112下压外膜片41，外膜片41变形与配合件53接触并带动配合件53向下移动，使配合件53下压内膜片52，解除内膜片52与卡接槽的卡接。
60.具体地，真空抽拉阀安装在设备真空口100处，真空抽拉阀的外壳10与设备连接。如图1所示，初始状态，真空塞200安装在设备抽空口100上，连接座51与真空塞200螺纹连接，内锁紧组件50为独立结构并与真空塞200连接在一起，抽拉件20脱离内锁紧组件50，并位于内锁紧组件50上方，外锁紧组件40的外膜片41与配合件53之间有间隙。如图3所示，需要打开真空塞200时，下压抽拉件20，上波纹管30收缩，抽拉件20在外壳10内向下移动，内膜片52受压卡入抽拉件20侧壁上的卡接槽内锁紧抽拉件20，使抽拉件20与连接座51固定，连接座51与真空塞200固定连接，如图4所示，上拉抽拉件20时，抽拉件20可带动内锁紧组件50和真空塞200一起向上移动，以打开设备抽空口100的真空塞200。
61.如图5所示，关闭真空塞200时，下压抽拉件20至下限，真空塞200封闭，如图6所示，向下移动上壳体11，也即向下移动上阀体114，下波纹管12收缩，下压部112向下压外膜片41，外膜片41锁紧配合件53，带动配合件53向下移动，配合件53向下移动时下压内膜片52，使内膜片52脱离抽拉件20上的卡接槽，如图7所示，抽拉件20与内锁紧组件50脱离可上升复位。上壳体11向上移动复位后，外膜片41脱离配合件53，内膜片52复位回复到初始状态，即可重新进行真空塞200的拔出和封闭操作。
62.本发明中，上波纹管30与抽拉件20和上壳体11密封焊接，下波纹管12与上壳体11和下壳体13密封焊接后形成除泵抽空口300和设备抽空口100之外的抽空密封夹层空间，并利用上波纹管30和下波纹管12可轴向拉伸、压缩性能，实现对真空塞200的锁紧、脱开所需的行程需要，打开和关闭真空塞200的操作过程为压缩和拉伸波纹管，因此真空操作不产生泄露。
63.在一些实施例中，如图1和图4所示，上壳体11的内侧壁上设有限位部115，限位部115用于对配合件53进行限位。内锁紧组件50与真空塞200连接在一起，限位部115对配合件53进行限位，抽拉件20未带动内锁紧组件50和真空塞200一起向上移动时，限位部115无法起到限位作用，抽拉件20向上移动到极限位置时仍可继续上移，说明真空塞200未拔出。若抽拉件20带动内锁紧组件50和真空塞200一起向上移动，则抽拉件20移动到配合件53与限位部115接触时，抽拉件20则无法向上移动，说明真空塞200被拔出。
64.在一些实施例中，如图6和图7所示，外壳10还包括外套管14，外套管14的一端与上壳体11的外侧壁连接，外套管14的另一端与下壳体13的外侧壁螺纹连接，向下转动外套管14时带动上壳体11向下移动。
65.如图1所示，上壳体11的上阀体114的外侧壁设置有外挡圈116，外套管14的顶部与外挡圈116抵接，外套管14的底部与下壳体13螺纹连接，外套管14的内侧壁设有第一台阶部141，上阀体114的外侧壁设有第二台阶部，第一台阶部141与第二台阶部抵接，向下转动外套管14时，外套管14通过第一台阶部141和第二台阶部带动上阀体114一起向下移动，上阀体114向下移动时下波纹管12收缩，下压部112向下移动使外膜片41向下移动变形至锁紧配合件53，配合件53的外侧壁可设置与外膜片41配合的凹槽，外膜片41通过凹槽锁紧配合件53。
66.在一些实施例中，如图2所示，外锁紧组件40还包括弹簧座42、第一弹簧43和松扣
环44，弹簧座42设置在下壳体13上，外膜片41设置在弹簧座42上，第一弹簧43设置在弹簧座42内侧并位于内锁紧组件50外侧，松扣环44的底部与第一弹簧43连接，松扣环44的顶部与外膜片41抵接。弹簧座42和松扣环44的横截面均为环形，内锁紧组件50位于弹簧座42和松扣环44内侧。初始状态，松扣环44在第一弹簧43的弹力作用下向上顶住外膜片41，使外膜片41离开配合件53。下压部112向下压外膜片41时，外膜片41向下移动变形至锁紧配合件53。
67.如图9所示，外膜片41包括第一环形部411和多个第一弹片部412，多个第一弹片部412沿第一环形部411的圆周方向间隔设置在第一环形部411的内侧。多个第一弹片部412环绕内锁紧组件50设置，配合件53的外侧壁沿圆周方向设有环形的凹槽，多个第一弹片部412与环形的凹槽卡接。多个第一弹片部412间隔设置，以便于第一弹片部412受压变形。
68.优选地，如图2和图8所示，外锁紧组件40还包括第二弹簧45和外膜片座46，第二弹簧45套设在弹簧座42外侧，外膜片座46的底部与第二弹簧45连接，外膜片41设置在外膜片座46上。如图8所示，外膜片座46套设在弹簧座42外侧且通过第二弹簧45对外膜片座46进行轴向限位，外膜片41的第一环形部411通过螺栓固定在外膜片座46内侧，外膜片41的第一弹片部412在松扣环44的作用下向上倾斜设置，此时多个第一弹片部412形成的圆环内径较大，第一弹片部412与配合件53之间有间隙，第一弹片部412未锁紧配合件53。
69.第二弹簧45的刚性大于第一弹簧43的刚性，上壳体11的下压部112向下移动时，第一弹簧43先收缩变形使外膜片41的第一弹片部412在下压部112的作用下向下移动变形，多个第一弹片部412形成的圆环内径变小，使第一弹片部412配合件53；然后下压部112继续下压第二弹簧45收缩变形使外膜片座46向下移动并带动外膜片41向移动，外膜片41向下移动带动配合件53向下移动以下压内膜片52。通过设置第二弹簧45，且第二弹簧45的刚性大于第一弹簧43的刚性，可使外膜片41锁紧配合件53的同时提供配合件53下移的行程。
70.如图2和图8所示，下壳体13内侧壁上设有内挡圈131，内挡圈131与外膜片座46的外侧壁抵接，用于对外膜片座46进行限位。上壳体11的下压部112上移回复到原位后，外膜片座46和外膜片41在第二弹簧45的弹力作用下向上移动复位，松扣环44在第一弹簧43的弹力作用下向上移动复位，外膜片座46向上移动到与内挡圈131抵接时停止向上移动，完成复位，此时第一弹簧43和第二弹簧45均处于收缩状态，以使松扣环44向上顶住外膜片41。
71.在一些实施例中，如图1和图2所示，内锁紧组件50还包括内膜片螺套54，内膜片螺套54将内膜片52固定在连接座51上，配合件53的底部伸入内膜片螺套54内并位于内膜片52的正上方，配合件53可相对内膜片螺套54轴向移动。
72.如图10所示，内膜片52包括第二环形部521和多个第二弹片部522，多个第二弹片部522沿第二环形部521的圆周方向间隔设置在第二环形部521的内侧。内膜片螺套54将内膜片52的第二环形部521固定在连接座51上，内膜片52的多个第二弹片部522可与抽拉件20外侧壁设置的环形卡接槽卡接。
73.如图2和图8所示，配合件53包括内脱扣环531和螺纹套532，内脱扣环531的底端伸入内膜片螺套54内，内脱扣环531顶端的外径大于内膜片螺套54的内径，内脱扣环531靠近底端的区域的外径大于内膜片螺套54靠近顶端的区域的内径，螺纹套532设置在内脱扣环531的顶端，外膜片41向下移动时带动螺纹套532向下移动，螺纹套532向下移动带动内脱扣环531向下移动并使内脱扣环531下压内膜片52。
74.内脱扣环531靠近底端的区域的外径大于内膜片螺套54靠近顶端的区域的内径，
内脱扣环531的底端与内膜片螺套54的顶端过盈配合，可防止内脱扣环531从内膜片螺套54的顶端脱出，但是内脱扣环531在内膜片螺套54内可顺畅地向下移动，以使内脱扣环531可向下移动以下压内膜片52。初始状态，内脱扣环531的底部与内膜片52接触，通过内膜片52支撑内脱扣环531，防止内脱扣环531从内膜片螺套54的底部脱出，由于内脱扣环531和螺纹套532的重量不是很大，内脱扣环531与内膜片52接触时不会使内膜片52过多的向下位移变形，以使抽拉件20伸入内锁紧组件50内时内膜片52可顺利地锁紧抽拉件20。
75.在一些实施例中，如图4所示，真空抽空阀还包括上套筒60和限位插销70，上套筒60与上壳体11的外侧壁螺纹连接，抽拉件20的顶部设有限位孔，限位插销70穿设在限位孔内，上套筒60用于承托限位插销70。上套筒60与上壳体11的上套筒座113螺纹连接，上套筒60可相对上套筒座113轴向移动，抽拉件20打开真空塞200并带动真空塞200向上移动到上限位置时，上波纹管30处于伸长状态，为防止抽拉件20在上波纹管30的回复力作用下降，可将限位插销70插入限位孔内，然后调节上套筒60的位置，使上套筒60可支撑限位插销70，以固定抽拉件20，防止抽空过程中抽拉件20和真空塞200下降关闭设备抽空口100。通过上波纹管30的收缩和伸长来增加抽拉件20的移动行程，可缩小整个真空抽拉阀的体积。
76.本发明实施例提供的机械式的真空抽拉阀的工作过程为：
77.如图1至图4所示，初始状态，内锁紧组件50与真空塞200连接在一起，下压抽拉件20，上波纹管30收缩变形，抽拉件20在外壳10内向下移动至内锁紧组件50内，内膜片52锁紧抽拉件20，上拉抽拉件20，抽拉件20带着真空塞200离开设备抽空口100，继续上拉抽拉件20至设备抽空口100完全打开，此时上波纹管30处于伸长状态，在抽拉件20的限位孔内插入限位插销70，并向上转动上套筒60，通过上套筒60和限位插销70将抽拉件20固定。
78.如图5至图7所示，设备抽真空完成后，拔出限位插销70，下压抽拉件20，抽拉件20带动真空塞200一起向下移动，真空塞200封闭设备抽空口100，向下转动外套管14，外套管14带动上壳体11的下压部112向下移动并使外膜片41变形锁紧螺纹套532，然后下压部112继续下压，使外膜片41和外膜片座46一起向下移动，外膜片41向下移动带动螺纹套532和内脱扣环531一起向下移动，内脱扣环531向下压内膜片52，内膜片52向下变形离开抽拉件20，解除对抽拉件20的锁定，抽拉件20与内锁紧组件50脱离，上移抽拉件20使抽拉件20回到初始位置，抽拉件20回到初始位置后，向上转动外套管14，下压部112离开外膜片41，外膜片41在第一弹簧43和第二弹簧45的弹力作用下向上移动复位，外膜片41离开螺纹套532，解除对内膜片52的下压力，内膜片52在弹力作用下复位。
79.本发明具体实施例的技术效果如下：
80.(1)结构本体无需密封件实现高真空，真空抽拉阀结构本体通过波纹管焊接实现密封，利用波纹管可轴向拉伸、压缩性能，实现对真空塞的锁紧、脱开所需的行程需要。
81.(2)真空操作无泄漏，由于真空抽拉阀结构本体通过波纹管焊接连接形成腔体，操作过程为压缩和拉伸波纹管，因此真空操作不产生泄漏。
82.(3)真空塞操作可靠，内锁紧组件及限位部的配合，可易于判断抽拉件是否将真空塞拔起或者松脱，操作过程可靠。内锁紧组件为独立结构，可在真空抽拉阀拆卸后进行真空塞的松脱，操作简便、可靠，避免操作过程真空塞未拔起或未封住而进行后续操作。
83.(4)通用性高，真空抽拉阀的外壳与设备抽空口处的适配件螺纹连接，且通过金属件密封，密封可靠，通过更换设备抽空处的适配件，可以满足不同设备抽空接口使用。
84.(5)结构可靠，外壳采用金属件焊接，内部无密封件易损件，结构使用可靠。
85.以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

技术特征：
1.一种机械式的真空抽拉阀，其特征在于，包括：外壳，包括上壳体、下波纹管和下壳体，所述上壳体的底部包括沿径向间隔设置的安装部和下压部，所述下压部位于所述安装部的内侧，所述安装部与所述下波纹管的顶端密封连接，所述下波纹管的底端与所述下壳体的顶部密封连接，所述下壳体的底部与设备抽空口密封连接；抽拉件，沿所述外壳的轴向可移动地设置在所述外壳内，所述抽拉件的顶端伸出所述上壳体的顶端，所述抽拉件的底部侧壁设有卡接槽；上波纹管，设置在所述上壳体内且套设在所述抽拉件外，所述上波纹管的一端与所述抽拉件密封连接，另一端与所述上壳体密封连接；外锁紧组件，包括外膜片，所述外膜片设置在所述下壳体内侧；内锁紧组件，包括连接座、内膜片和配合件，所述连接座的底端用于与设置在所述设备抽空口的真空塞连接，所述内膜片固定设置在所述连接座的顶端，所述配合件设置在所述连接座外侧且位于所述内膜片上方；初始状态，所述外膜片与所述配合件具有间距，所述抽拉件向下移动至所述内膜片与所述卡接槽卡接，所述抽拉件带动所述真空塞向上移动，使所述真空塞处于打开状态；所述抽拉件向下移动至所述真空塞闭合时，所述上壳体向下移动使所述下压部下压所述外膜片，所述外膜片变形与所述配合件接触并带动所述配合件向下移动，使所述配合件下压所述内膜片，解除所述内膜片与所述卡接槽的卡接。2.根据权利要求1所述的一种机械式的真空抽拉阀，其特征在于，所述上壳体的内侧壁上设有限位部，所述限位部用于对所述配合件进行限位。3.根据权利要求1所述的一种机械式的真空抽拉阀，其特征在于，所述外壳还包括外套管，所述外套管的一端与所述上壳体的外侧壁连接，所述外套管的另一端与所述下壳体的外侧壁螺纹连接，向下转动所述外套管时带动所述上壳体向下移动。4.根据权利要求1所述的一种机械式的真空抽拉阀，其特征在于，所述外锁紧组件还包括弹簧座、第一弹簧和松扣环，所述弹簧座设置在所述下壳体上，所述外膜片设置在所述弹簧座上，所述第一弹簧设置在所述弹簧座内侧并位于所述内锁紧组件外侧，所述松扣环的底部与所述第一弹簧连接，所述松扣环的顶部与所述外膜片抵接。5.根据权利要求4所述的一种机械式的真空抽拉阀，其特征在于，所述外锁紧组件还包括第二弹簧和外膜片座，所述第二弹簧套设在所述弹簧座外侧，所述外膜片座的底部与所述第二弹簧连接，所述外膜片设置在所述外膜片座上。6.根据权利要求5所述的一种机械式的真空抽拉阀，其特征在于，所述下壳体内侧壁上设有内挡圈，所述内挡圈与所述外膜片座的外侧壁抵接，用于对所述外膜片座进行限位。7.根据权利要求1所述的一种机械式的真空抽拉阀，其特征在于，所述内锁紧组件还包括内膜片螺套，所述内膜片螺套将所述内膜片固定在所述连接座上，所述配合件的底部伸入所述内膜片螺套内并位于所述内膜片的正上方，所述配合件可相对所述内膜片螺套轴向移动。8.根据权利要求7所述的一种机械式的真空抽拉阀，其特征在于，
所述配合件包括内脱扣环和螺纹套，所述内脱扣环的底端伸入所述内膜片螺套内，所述内脱扣环顶端的外径大于所述内膜片螺套的内径，所述内脱扣环靠近底端的区域的外径大于内膜片螺套靠近顶端的区域的内径，所述螺纹套设置在所述内脱扣环的顶端，所述外膜片向下移动时带动所述螺纹套向下移动，所述螺纹套向下移动带动所述内脱扣环向下移动并使所述内脱扣环下压所述内膜片。9.根据权利要求1所述的一种机械式的真空抽拉阀，其特征在于，还包括上套筒和限位插销，所述上套筒与所述上壳体的外侧壁螺纹连接，所述抽拉件的顶部设有限位孔，所述限位插销穿设在所述限位孔内，所述上套筒用于承托所述限位插销。10.根据权利要求1所述的一种机械式的真空抽拉阀，其特征在于，所述外膜片包括第一环形部和多个第一弹片部，多个所述第一弹片部沿所述第一环形部的圆周方向间隔设置在所述第一环形部的内侧；和/或；所述内膜片包括第二环形部和多个第二弹片部，多个所述第二弹片部沿所述第二环形部的圆周方向间隔设置在所述第二环形部的内侧。

技术总结
本发明属于真空阀门领域，公开了一种机械式的真空抽拉阀，包括外壳、抽拉件、上波纹管、外锁紧组件和内锁紧组件，外壳包括上壳体、下波纹管和下壳体；抽拉件可移动地设置在外壳内，上波纹管的一端与抽拉件密封连接，另一端与上壳体密封连接；外锁紧组件包括外膜片；内锁紧组件包括连接座、内膜片和配合件；初始状态，外膜片与配合件具有间距，抽拉件向下移动至内膜片与抽拉件卡接，抽拉件带动真空塞向上移动，使真空塞处于打开状态；抽拉件向下移动至真空塞闭合时，上壳体向下移动使下压部下压外膜片，外膜片变形带动配合件向下移动，使配合件下压内膜片，解除内膜片与所述抽拉件的卡接。本发明可在打开和关闭真空塞的过程中实现零泄漏。零泄漏。零泄漏。


技术研发人员：李强 王健 崔腾飞 程子云 何慧翔 吴昊 李子木 程亦薇 张智伟
受保护的技术使用者：上海齐耀动力技术有限公司
技术研发日：2021.11.29
技术公布日：2022/3/8