一种化学气相沉积液体源材料的监测装置

1.本发明涉及镀膜技术领域，具体涉及一种化学气相沉积液体源材料的监测装置，为一种化学气相沉积液体源材料在液体源瓶中剩余量的监测装置。


背景技术：

2.化学气相沉积是一种具有广泛用途的镀膜技术。该技术利用含有薄膜元素的一种或几种源材料，在衬底表面上进行化学反应生成固体薄膜。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、制备各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料，并衍生出原子层沉积，有机金属化合物化学气相沉积等在半导体领域具有重大意义的关键镀膜技术。
3.化学源材料是实现化学气相沉积技术的核心，能够实现化学气相沉积的源材料通常为气体和液体，具有较高的价值；化学活性高，在空气中泄露会发生化学反应，甚至爆炸；另一方面源材料通常具有较高地毒性，在空气中泄露会危及人员地生命和环境安全。因此化学源材料通常存储在专用的钢瓶中。在化学气相沉积过程中，对钢瓶中源材料的实时监控，在源材料剩余量达到一定值时更换钢瓶，可以有效提高源材料的利用率，避免剩余源材料过多造成浪费和环境污染，或者在重新罐装过程中造成泄露危机工作人员生命安全。另一方面，对源瓶中剩余材料的监测，可以避免源材料不足导致镀膜失败，提高化学气相沉积效率。


技术实现要素：

4.本发明提出了一种化学气相沉积液体源材料的监测装置，通过该装置可以实时监测钢瓶中液体源的重量，实现液体源剩余量的实时监控。
5.本发明采用如下技术方案：
6.一种化学气相沉积液体源材料的监测装置，包括液体源瓶、托盘、重量传感器、第一气动截止阀、第一柔性柔性金属软管、第一真空规。
7.所述的液体源瓶用于盛装化学气相沉积镀膜的反应源材料；所述的液体源瓶包括不锈钢瓶体，液体注入口，气化液体输出口和气化液体输出口管道上的第一手动截止阀，液体注入口和气化液体输出口位于不锈钢瓶体上；气化液体输出口连接有气化液体输出口管道。
8.可选择地，所述的液体源瓶包括载气注入口和载气注入口的第二手动截止阀。所述载气注入口位于不锈钢瓶体上，所述载气注入口连接有载气注入口管道，所述第二手动截止阀设置在载气注入口管道上。所述的液体注入口在注入液体源材料后密封。
9.所述的液体源瓶放置在托盘上，托盘固定在重量传感器上，重量传感器通过监测托盘和液体源瓶总重量的变化，实时监测液体源的剩余量；
10.所述的第一气动截止阀安装在第一手动截止阀远离液体容器的一侧，第一气动截止阀的另一端通过柔性金属软管和化学气相沉积镀膜系统连接；
11.所述的第一真空规固定于化学气相沉积镀膜系统上，并和第一柔性金属软管通过
第一三通连接，用于监测柔性金属软管内的真空度。
12.所述的一种化学气相沉积液体源材料的监测装置，对于需要载气的液体源瓶，还包括载气的质量流量计、第二手动截止阀、第二气动截止阀、第二柔性金属软管、第二真空规、第三截止阀等。
13.所述的质量流量计用于向液体源瓶中注入惰性气体，所述的第二气动截止阀安装在第二手动截止阀远离不锈钢瓶体的一侧，第二气动截止阀的另一端通过第二柔性金属软管和质量流量计连接，所述的第二真空规通过第二三通和第二柔性金属软管连接；所述的质量流量计和第二真空规固定在化学气相沉积镀膜系统上。
14.所述的第二柔性金属软管通过第三三通和真空泵连接，并通过第三截止阀控制与真空泵的连接和中断。第三截止阀为手动或自动截止阀。
15.使用所述一种化学气相沉积液体源材料的监测装置，监测液体源重量的工作过程包括如下步骤：
16.(1)测量空的液体源瓶的重量m1；
17.(2)空的液体源瓶在液体源注入所述源瓶前，在所述源瓶的输出口安装第一气动截止阀和相应的连接管道，可选的，在所述源瓶载气注入口安装第二气动截止阀和相应的连接管道，并测量总重量m2；
18.(3)在源瓶中注入化学气相沉积液体源材料，密封源瓶后，将源瓶放置在托盘上，用第一柔性金属软管连接第一气动截止阀的另一个出口至化学气相沉积镀膜系统，可选的，用第二柔性金属软管连接第二气动截止阀的另一个出口至化学气相沉积镀膜系统。记录重量传感器示数m3；
19.(4)镀膜过程中，监测重量传感器的示数m3，若m3≤1.1
×
m2，则更换源瓶；
20.(5)测量使用过的源瓶重量m4，则m
4-m1为源瓶中的剩余化学反应前驱体重量。
21.所述的一种化学气相沉积液体源材料的监测装置，所述的第一手动阀的打开方法包括如下步骤：
22.(1)将连接液体源瓶的第一柔性金属软管的出口端安装在化学气相沉积镀膜系统气路上；
23.(2)保持第一手动截止阀阀关闭，保持第一气动截止阀关闭，利用真空泵抽气化液体输出口的第一柔性金属软管，如果达到实验真空度v1，则判断第一柔性金属软管和相通的气路为正常，否则，检修管路，直至达到实验真空度v1；
24.(3)打开第一气动截止阀，利用真空泵抽第一柔性金属软管和第一手动截止阀之间管路的真空，如果达到实验真空度v1，则判断第一柔性金属软管和相通的气路为正常，否则，检修管路，直至能达到实验真空度v1；
25.(4)打开液体源气瓶的出口第一手动截止阀，测量出口柔性软管内的真空度v1；可选地，对于包含载气注入口的液体源瓶，还需要以下步骤：
26.(5)将连接液体源瓶的第二柔性金属软管的出口端安装在载气进气系统气路上；所述的载气进气系统气路包括第二三通、质量流量计、第三三通和第三截止阀。第三截止阀的出口连接至真空泵。
27.(6)保持第二手动截止阀阀关闭，保持第二气动截止阀关闭，打开第三截止阀，利用真空泵抽载气注入口的第二柔性金属软管，如果达到实验真空度v1，则判断第二柔性金
属软管和相通的气路为正常，否则，检修管路，直至达到实验真空度v1。
28.(7)打开第二气动截止阀，利用真空泵抽第二柔性金属软管和第二手动截止阀之间管路的真空，如果达到实验真空度v1，则判断第二柔性金属软管和相通的气路为正常，否则，检修管路，直至能达到实验真空度v1；关闭第三截止阀。
29.(8)利用质量流量计在载气进气管道中注入惰性气体，使载气进气管道中的真空度数值v2大于v1,打开液体源瓶的载气注入口的第二手动截止阀，停止质量流量计的气体注入。
30.所述的一种化学气相沉积液体源材料的监测装置，所述的抽金属软管真空的真空泵使用独立工作的真空泵，或者化学气相沉积镀膜系统的真空泵。
31.所述的一种化学气相沉积液体源材料的监测装置，液体源不使用时，第一和第二气动截止阀保持关闭；使用液体源时，首先保持第一和第二气动截止阀关闭，利用真空泵分别抽第一和第二柔性金属软管，如果达到实验真空度，则判断柔性金属软管和相通的气路为正常，分别打开第一和第二气动截止阀；否则，关闭液体源瓶的第一和第二手动截止阀，检修管路，直至能达到实验真空度，按照权利要求4所述的过程(2)-(4)重新打开第一手动截止阀，并按照权利要求4所述的过程(6)-(8)重新打开第二手动截止阀。
32.所述的一种化学气相沉积液体源材料的监测装置，所述的气动截止阀优选为耐高温的截止阀。
33.所述的一种化学气相沉积液体源材料的监测装置，液体源材料使用过程中，利用真空规始终测量柔性金属软管内的真空度、如出现真空度显著变差，如真空度≥0.5个大气压，则立刻关闭气动截止阀，以避免液体源的泄露。
34.相对于目前采用的化学气相沉积液体源材料的监测方法，本发明的技术优势为：
35.(1)采用了通过监测液体源瓶重量的方法，提供了一种普遍适用的监测钢瓶中剩余液体量的方法，实现了液体源剩余量的有效检测。
36.(2)通过液体剩余量的实时监控，可以保证化学气相沉积的可靠性，减少因为液体源耗尽导致的镀膜失败。
附图说明
37.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
38.图1：一种化学气相沉积液体源材料的监测装置示意图。
39.图2：一种包括载气注入口和气化液体出气口的化学气相沉积液体源材料的监测装置示意图。
40.图中，101液体源瓶、102托盘、103重量传感器、104第一手动截止阀、105第一气动截止阀、106第一柔性金属软管、107第一接头、108第一三通、109第一真空规、110真空腔室、111数据传输和控制线路，112工控计算机、201载气注入口、202第二手动截止阀、 203第二气动截止阀、204第二柔性金属软管、205第二接头、206第二真空规、207第二三通、208质量流量计、209第三三通、210截止阀。
具体实施方式
41.下面将结合本发明实施例中附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
42.实施例1
43.图1示出了一种仅包含气化液体输出口的化学气相沉积液体源材料的监测装置，包括：液体源瓶101、托盘102、重量传感器103、第一手动截止阀104和第一气动截止阀105、第一柔性金属软管106，第一接头107、第一三通108、第一真空规109，真空腔室110，数据传输和控制线路111，工控计算机112。
44.所述的液体源瓶101用于盛装化学气相沉积镀膜的反应源材料，液体源瓶包括不锈钢瓶体，液体注入口，气化液体输出口，以及气化液体输出口管道上的第一手动截止阀104。气化液体输出口连接有气化液体输出口管道，第一手动截止阀104和第一气动截止阀105 均设置在气化液体输出口管道上。液体注入口和气化液体输出口均设置于不锈钢瓶体上。
45.气化液体输出口管道通过第一接头107和第一柔性金属软管106连接。
46.所述的液体源瓶101放置在托盘102上，托盘固定在重量传感器103上，托盘上安装有紧固结构，用于固定液体源瓶。
47.所述重量传感器103通过监测托盘102和液体源瓶101总重量的变化，实时监测液体源的剩余量。
48.所述的第一气动截止阀105安装在第一手动截止阀104远离不锈钢瓶体的一侧，第一气动截止阀105的另一端通过第一接头107与第一柔性金属软管106相连接。
49.所述的第一气动截止阀105优选为耐高温的全金属真空截止阀。
50.所述的第一柔性金属软管106为不锈钢波纹管。第一柔性金属软管106连接第一三通 108的第一端口。第一真空规109连接第一三通108的第二端口，镀膜系统的真空腔室110 连接三通的第三端口。
51.所述的第一真空规109固定在化学气相沉积镀膜系统装置上，用于监测第一柔性金属软管106内的真空度。
52.所述的数据传输和控制线路111将重量传感器103和第一真空规109的读数输入工控计算机112，并将工控计算机112输出的对第一气动截止阀105的控制信号输出。
53.所述的一种化学气相沉积液体源材料的监测装置，监测液体源重量的工作过程为：
54.(1)测量空的液体源瓶101的重量m1；
55.(2)在空的液体源瓶101在液体源注入源瓶前，在所述源瓶的输出口安装第一气动截止阀105和相应的连接管道，并测量总重量m2；
56.(3)在源瓶中注入化学气相沉积液体源材料，密封源瓶后，将源瓶放置在托盘102 上，用第一柔性金属软管106连接第一气动截止阀105的另一个出口至化学气相沉积镀膜系
统，记录重量传感器示数m3。所述的化学气相沉积镀膜系统包括第一三通108、第一真空规109、真空腔室110等，第一柔性金属软管106通过连接第一三通108的一个端口和化学气相沉积镀膜系统相连接。
57.(4)镀膜过程中，监测重量传感器的示数m3，若m3≤(1.1)
×
m2，则更换源瓶；
58.(5)测量使用过的源瓶重量m4，则m
4-m1为源瓶中的剩余化学反应前驱体重量。
59.所述的一种化学气相沉积液体源材料的监测装置，所述的第一手动截止阀104的打开方法为：
60.(1)将连接液体源瓶101的第一柔性金属软管106的出口端安装在化学气相沉积镀膜系统上；所述的化学气相沉积镀膜系统包括第一三通108、第一真空规109、真空腔室110 等，第一柔性金属软管106通过连接第一三通108的第一个端口和化学气相沉积镀膜系统相连接。
61.(2)保持第一手动截止阀104关闭，保持第一气动截止阀105关闭，利用真空泵抽气化液体输出口的第一柔性金属软管106，如果达到特定真空度v1，则判断第一柔性金属软管和相通的气路为正常，否则，检修管路，直至达到特定真空度v1；
62.(3)打开第一气动截止阀105，利用真空泵抽第一柔性金属软管106和第一手动截止阀104和第一气动截止阀105之间管路的真空，如果达到特定真空度v1，则判断第一柔性金属软管106和相通的气路为正常，否则，检修管路，直至能达到特定真空度v1；
63.(4)打开液体源瓶101的出口第一手动截止阀104，测量出口柔性软管内的真空度 v1；
64.所述的液体源不使用时，第一气动截止阀105保持关闭；使用液体源时，首先保持第一气动截止阀105关闭，利用真空泵抽第一柔性金属软管106，如果达到特定真空度v1，则判断第一柔性金属软管106和相通的气路为正常，打开第一气动截止阀105；否则，关闭液体源瓶101的第一手动截止阀104，检修管路，直至能达到特定真空度，并按照步骤(2)
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(4)所述的过程重新打开第一手动截止阀。本发明中，特定真空度通常是指实验需要设定的真空度。
65.液体源材料使用过程中，利用第一真空规109始终测量第一柔性金属软管106内的真空度v1，如出现真空度显著变差的情形，如真空度≥0.5个大气压，则立刻关闭第一气动截止阀105，以避免液体源的泄露。
66.实施例2
67.图2所示为本发明的又一实施例，与图1不同之处在于：对于需要载气的液体源瓶101，所述的源瓶不光包括气化液体输出口，还包括载气注入口201，和载气注入口201的第二手动截止阀202。所述监测装置，在第二手动截止阀202远离所述源瓶101的方向依次连接有第二气动截止阀203、第二柔性金属软管204、第二接头205、第二真空规206、第二三通 207、质量流量计208、第三三通209和第三截止阀210。
68.所述载气注入口201位于液体源瓶101的不锈钢瓶体上，所述载气注入口201连接有载气注入口管道，所述第二手动截止阀202和第二气动截止阀203均设置在载气注入口管道上。载气注入口管道与第二柔性金属软管204相连通。第二柔性金属软管204通过第二接头205连接第二三通207的第一端口。
69.所述的第二真空规206连接第二三通207的第二端口，通过三通207和第二柔性金
属软管204连接，并固定在化学气相沉积镀膜系统装置上，用于监测第二柔性金属软管204 内的真空度。
70.所述的质量流量计208连接第二三通的第三端口，用来向第二柔性金属软管204内注入载气，从而促进液体源瓶101内液体的气化。所述载气为惰性气体。
71.所述的第二柔性金属软管204还通过第三三通209和真空泵连接，并通过第三截止阀 210控制与真空泵的连接和中断。第三截止阀210可以为手动或气动截止阀。
72.对于包括载气注入口的化学气相沉积液体源材料的监测装置，所述的手动阀的打开方法为：
73.(1)将连接液体源瓶101的第一柔性金属软管106的出口端安装在化学气相沉积镀膜系统上；
74.(2)保持第一手动截止阀104关闭，保持第一气动截止阀105关闭，利用真空泵抽气化液体输出口的第一柔性金属软管106，如果达到特定真空度v1，则判断第一柔性金属软管和相通的气路为正常，否则，检修管路，直至达到特定真空度v1；
75.(3)打开第一气动截止阀105，利用真空泵抽第一柔性金属软管106和第一手动截止阀104之间管路的真空，如果达到特定真空度v1，则判断第一柔性金属软管106和相通的气路为正常，否则，检修管路，直至能达到特定真空度v1；
76.(4)打开液体源瓶101的出口第一手动截止阀104，测量出口第一柔性金属软管106 内的真空度v1；
77.(5)将连接液体源瓶101的第二柔性金属软管204的出口端安装在载气进气系统气路上；所述的载气进气系统气路包括第二三通207、质量流量计208、第三三通209和第三截止阀210。第三截止阀210的出口连接至真空泵。
78.(6)保持第二手动截止阀202关闭，保持第二气动截止阀203关闭，打开截止阀210，利用真空泵抽载气注入口的第二柔性金属软管204，如果达到实验真空度v1，则判断第二柔性金属软管和相通的气路为正常，否则，检修管路，直至达到实验真空度v1；
79.(7)打开第二气动截止阀203，利用真空泵抽第二柔性金属软管204和第二手动截止阀202之间管路的真空，如果达到实验真空度v1，则判断第二柔性金属软管204和相通的气路为正常，否则，检修管路，直至能达到实验真空度；关闭第三截止阀210。
80.(8)利用质量流量计208向载气进气管道中注入惰性气体，使载气进气管道中的真空度数值v2大于v1，打开液体源瓶的载气注入口的第二手动截止阀204，停止质量流量计的气体注入。
81.所述的液体源不使用时，第一气动截止阀105和第二气动截止阀203保持关闭；使用液体源时，首先保持第一气动截止阀105和第二气动截止阀203关闭，利用真空泵分别抽第一柔性金属软管106和第二柔性金属软管204，如果真空规206和第一真空规109和第二真空规206测量的真空度达到特定真空度v1，则判断第一柔性金属软管106和第二柔性金属软管204相通的气路为正常。利用质量流量计208向载气进气管道中注入惰性气体，使载气进气管道中的真空规206测量的真空度数值v2大于真空规109测量的真空度v1，分别打开第一气动截止阀105，第二气动截止阀203。否则，关闭液体源瓶101的第一手动截止阀104和第二手动截止阀202，检修管路，直至能达到特定真空度，并按照步骤(2)-(4) 所述的过程重新打开第一手动截止阀104，并按照步骤(6)-(8)所述的过程重新打开第二手动截止阀202。
82.本发明中，特定真空度通常是指实验需要设定的真空度。
83.液体源材料使用过程中，分别利用第一真空规109和第二真空规206始终测量第一柔性金属软管106和第二柔性金属软管204内的真空度v1和v2，如出现真空度显著变差的情形，如真空度≥0.5个大气压，则立刻关闭第一气动截止阀105和第二气动截止阀203，以避免液体源的泄露。
84.所述的连接截止阀210的抽金属软管真空的真空泵使用化学气相沉积镀膜系统的真空泵，也可以通过直接和真空泵连接实现。
85.以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

技术特征：
1.一种化学气相沉积液体源材料的监测装置，其特征在于，包括液体源瓶、托盘、重量传感器、第一气动截止阀、第一柔性金属软管、第一真空规；所述的液体源瓶用于盛装化学气相沉积镀膜的反应源材料；所述的液体源瓶包括不锈钢瓶体、液体注入口、气化液体输出口和气化液体输出口管道上的第一手动截止阀，液体注入口和气化液体输出口位于不锈钢瓶体上，气化液体输出口连接有气化液体输出口管道；可选地所述的液体源瓶还包括载气注入口，和载气注入口的第二手动截止阀，所述载气注入口位于不锈钢瓶体上，所述载气注入口连接有载气注入口管道，所述第二手动截止阀设置在载气注入口管道上；所述的液体注入口在注入液体源材料后密封；所述的液体源瓶放置在托盘上，托盘固定在重量传感器上，重量传感器通过监测托盘和液体源瓶总重量的变化，实时监测液体源的剩余量；所述的第一气动截止阀安装在第一手动截止阀远离不锈钢瓶体的一侧，第一气动截止阀的另一端通过第一柔性金属软管和化学气相沉积镀膜系统连接；所述的第一真空规固定于化学气相沉积镀膜系统上，并和第一柔性金属软管通过第一三通连接，用于监测第一柔性金属软管内的真空度。2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积液体源材料的监测装置，其特征在于，对于需要载气的液体源瓶，所述监测装置还包括载气的质量流量计、第二手动截止阀、第二气动截止阀、第二柔性金属软管、第二真空规、第三截止阀；所述的质量流量计用于向液体源瓶中注入惰性气体，所述的第二气动截止阀安装在第二手动截止阀远离不锈钢瓶体的一侧，第二气动截止阀的另一端通过第二柔性金属软管和质量流量计连接，所述的第二真空规通过第二三通和第二柔性金属软管连接；所述的质量流量计和第二真空规固定在化学气相沉积镀膜系统上；所述的第二柔性金属软管还通过第三三通和真空泵连接，并通过第三截止阀控制与真空泵的连接和中断。第三截止阀为手动或自动截止阀。3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积液体源材料的监测装置，其特征在于，使用所述装置监测液体源重量的工作过程包括如下步骤：(1)测量空的液体源瓶的重量m1；(2)空的液体源瓶在液体源注入所述源瓶前，在所述源瓶的输出口安装第一气动截止阀和相应的连接管道，可选的，在所述源瓶载气注入口安装第二气动截止阀和相应的连接管道，并测量总重量m2；(3)在源瓶中注入化学气相沉积液体源材料，密封源瓶后，将源瓶放置在托盘上，用第一柔性金属软管连接第一气动截止阀的另一个出口至化学气相沉积镀膜系统，可选的，用第二柔性金属软管连接第二气动截止阀的另一个出口至化学气相沉积镀膜系统。记录重量传感器示数m3；(4)镀膜过程中，监测重量传感器的示数m3，若m3≤1.1
×
m2，则更换源瓶；(5)测量使用过的源瓶重量m4，则m
4-m1为源瓶中的剩余化学反应前驱体重量。4.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积液体源材料的监测装置，其特征在于，所述的第一手动阀的打开方法包括如下步骤：(1)将连接液体源瓶的第一柔性金属软管的出口端安装在化学气相沉积镀膜系统气路上；
(2)保持第一手动截止阀阀关闭，保持第一气动截止阀关闭，利用真空泵抽气化液体输出口的第一柔性金属软管，如果达到实验真空度v1，则判断第一柔性金属软管和相通的气路为正常，否则，检修管路，直至达到实验真空度v1；(3)打开第一气动截止阀，利用真空泵抽第一柔性金属软管和第一手动截止阀之间管路的真空，如果达到实验真空度v1，则判断第一柔性金属软管和相通的气路为正常，否则，检修管路，直至能达到实验真空度v1；(4)打开液体源气瓶的出口第一手动截止阀，测量出口柔性软管内的真空度v1；可选地，对于包含载气注入口的液体源瓶，还需要以下步骤：(5)将连接液体源瓶的第二柔性金属软管的出口端安装在载气进气系统气路上；所述的载气进气系统气路包括第二三通、质量流量计、第三三通和第三截止阀。第三截止阀的出口连接至真空泵。(6)保持第二手动截止阀阀关闭，保持第二气动截止阀关闭，打开第三截止阀，利用真空泵抽载气注入口的第二柔性金属软管，如果达到实验真空度v1，则判断第二柔性金属软管和相通的气路为正常，否则，检修管路，直至达到实验真空度v1。(7)打开第二气动截止阀，利用真空泵抽第二柔性金属软管和第二手动截止阀之间管路的真空，如果达到实验真空度v1，则判断第二柔性金属软管和相通的气路为正常，否则，检修管路，直至能达到实验真空度v1；关闭第三截止阀。(8)利用质量流量计在载气进气管道中注入惰性气体，使载气进气管道中的真空度数值v2大于v1,打开液体源瓶的载气注入口的第二手动截止阀，停止质量流量计的气体注入。5.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积液体源材料的监测装置，其特征在于，抽金属软管真空的真空泵使用独立工作的真空泵，或者化学气相沉积镀膜系统的真空泵。6.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积液体源材料的监测装置，其特征在于，液体源不使用时，第一和第二气动截止阀保持关闭；使用液体源时，首先保持第一和第二气动截止阀关闭，利用真空泵分别抽第一和第二柔性金属软管，如果达到实验真空度，则判断柔性金属软管和相通的气路为正常，分别打开第一和第二气动截止阀；否则，关闭液体源瓶的第一和第二手动截止阀，检修管路，直至能达到实验真空度，按照权利要求4所述的过程(2)-(4)重新打开第一手动截止阀，并按照权利要求4所述的过程(6)-(8)重新打开第二手动截止阀。7.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积液体源材料的监测装置，其特征在于，所述的第一和第二气动截止阀为耐高温的截止阀。8.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积液体源材料的监测装置，其特征在于，液体源材料使用过程中，利用真空规始终测量柔性金属软管内的真空度、如出现真空度显著变差，如真空度≥0.5个大气压，则立刻关闭气动截止阀，以避免液体源的泄露。

技术总结
本发明涉及一种化学气相沉积液体源材料的监测装置，所述的装置包括液体源瓶、托盘、重量传感器、截止阀、柔性金属软管、真空规。液体源瓶用于盛装化学气相沉积镀膜的反应源材料；液体源瓶放置在托盘上，托盘固定在重量传感器上。所述的重量传感器通过监测托盘和液体源瓶总重量的变化，实时监测液体源的剩余量；液体源瓶进出口安装自动截止阀，自动截止阀的另一端通过柔性金属软管和化学气相沉积镀膜系统连接；所述的真空规和柔性金属软管连接，用于监测柔性金属软管内的真空度。所述的化学气相沉积源材料监控装置，实现了化学反应液体源瓶内剩余材料的监控，可有效提高化学气相沉积源材料使用效率和安全性。材料使用效率和安全性。材料使用效率和安全性。


技术研发人员：柳存定 黎明
受保护的技术使用者：中国科学院光电技术研究所
技术研发日：2021.12.06
技术公布日：2022/3/8