一种电阻蒸发装置的制作方法

专利查询2022-5-12  149



1.本实用新型属于电阻蒸发技术领域,更具体地说,特别涉及一种电阻蒸发装置。


背景技术:

2.电阻蒸发镀膜是通过电阻加热紧贴在电阻丝上的金属丝,汽化后的金属分子沉积于基片上,获得高反射率的膜层,达到装饰美化物品表面的目的。
3.如申请号为:cn201720285585.5的专利中,公开了一种多位电阻蒸发装置,包括坩埚、电极和传动系统,传动系统包括步进电机、传动齿轮组和传动轴,坩埚安装在真空镀膜机内,且坩埚设有多个蒸发舟,电极安装在真空镀膜机的底部,传动系统位于真空镀膜机的底部,步进电机和传动轴通过传动齿轮组连接,传动轴穿过真空镀膜机的底部与坩埚连接。本实用新型通过若干个蒸发舟控制需要镀膜的厚度,当一个蒸发舟内的物料用完后,步进电机转动,控制坩埚旋转一定角度,转到下一个蒸发舟继续镀膜,对于需要多种物料镀膜的产品也相当适用,本实用新型的结构简单、工作稳定、适用范围广。
4.基于上述,电阻蒸发装置工作时,蒸发坩埚会加热过程中会现有一部分金属分子扩散溢出,影响后续大量金属分子的均匀性,且电阻蒸发扩散范围有限。


技术实现要素:

5.为了解决上述技术问题,本实用新型提供一种电阻蒸发装置,以解决电阻蒸发装置工作时,蒸发坩埚会加热过程中会现有一部分金属分子扩散溢出,影响后续大量金属分子的均匀性,且电阻蒸发扩散范围有限的问题。
6.本实用新型一种电阻蒸发装置的目的与功效,由以下具体技术手段所达成:
7.一种电阻蒸发装置,包括主框体;所述主框体的整体为圆盘状结构;电阻蒸发件,所述主框体顶部滑动安装有电阻蒸发件;盖板,所述电阻蒸发件顶部盖装有盖板;上支撑管,所述主框体上部固定设置有上支撑管;电阻蒸发件,所述电阻蒸发件为扇形状结构,电阻蒸发件共同组成一处圆盘结构,电阻蒸发件包括有蒸发坩埚,电阻蒸发件顶部卡合固定有蒸发坩埚,蒸发坩埚顶部覆盖连接盖板,盖板包括有上连接滑块、第二支撑弹簧、第一连接条和第二连接条,盖板顶部固定设置有上连接滑块,上连接滑块固定设置有第二支撑弹簧,上连接滑块滑动连接有第一连接条,第一连接条与第二连接条水平滑动连接,第二连接条为一处l形的矩形条,第二连接条尾端圆轴与内连接柱转动连接,盖板尾端滑动设置有第三连接条,第三连接条首端与第二连接条尾端圆轴固定连接,第二连接条和盖板围绕同一中心转动。
8.优选的,所述上支撑管顶部滑动嵌套连接有上连接管,上支撑管与上连接管通过固定螺丝贯穿固定,上连接管通过下固定管嵌套连接有一处主框体,上连接管与下固定管螺栓固定连接。
9.优选的,所述主框体包括下连接柱、第一电机、固定柱、第一支撑弹簧和内连接柱,主框体底部固定连接有下连接柱,下连接柱下端的齿轮与第一电机主轴啮合连接,第一电
机固定安装在设备内部,主框体滑动贯穿连接有固定柱,固定柱中部固定设置有第一支撑弹簧,主框体中部固定设置有内连接柱,第一支撑弹簧底端与主框体固定连接,固定柱顶部与电阻蒸发件底部凹槽滑动卡合,第一支撑弹簧支撑固定柱垂直移动。
10.优选的,所述盖板还包括有第二蜗杆和驱动机构,第二连接条尾端连接圆轴与第二蜗杆啮合连接,第二蜗杆与驱动机构齿轮啮合连接,驱动机构由电机主轴嵌套齿轮盘组成,第二支撑弹簧顶端与第一连接条固定连接,驱动机构与内连接柱固定连接。
11.本实用新型至少包括以下有益效果:
12.1、本实用新型在电阻蒸发件加热蒸发坩埚时,通过将盖板覆盖在蒸发坩埚上部,增强蒸发坩埚的热量聚集,避免内部原料提前溢出,增强镀膜的均匀性。
13.2、本实用新型电阻蒸发件与主框体滑动连接,通过固定柱调节和固定电阻蒸发件位置,使电阻蒸发件能够向外延伸展开,扩大蒸发扩散的面积,适配更加密集的零件加工操作。
附图说明
14.图1是本实用新型三维结构示意图。
15.图2是本实用新型上支撑管结构示意图。
16.图3是本实用新型主框体半剖结构示意图。
17.图4是本实用新型的图3中a放大部分结构示意图。
18.图5是本实用新型的图3中b放大部分结构示意图。
19.图中,部件名称与附图编号的对应关系为:
20.1、主框体;101、下连接柱;102、第一电机;103、固定柱;104、第一支撑弹簧;105、内连接柱;106、下固定管;
21.2、电阻蒸发件;201、蒸发坩埚;
22.3、盖板;301、上连接滑块;302、第二支撑弹簧;303、第一连接条;304、第二连接条;305、第二蜗杆;306、驱动机构;307、第三连接条;
23.4、上支撑管;401、上连接管;402、固定螺丝。
具体实施方式
24.下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型,但不能用来限制本实用新型的范围。
25.在本实用新型的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上;术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
26.在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过
中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定,对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
27.实施例:
28.如附图1至附图5所示:
29.本实用新型提供一种电阻蒸发装置,包括一种主框体1;主框体1,主框体1的整体为圆盘状结构;电阻蒸发件2,主框体1顶部滑动安装有电阻蒸发件2;盖板3,电阻蒸发件2顶部盖装有盖板3;上支撑管4,主框体1上部固定设置有上支撑管4;电阻蒸发件2,电阻蒸发件2为扇形状结构,电阻蒸发件2共同组成一处圆盘结构,电阻蒸发件2包括有蒸发坩埚201,电阻蒸发件2顶部卡合固定有蒸发坩埚201,蒸发坩埚201顶部覆盖连接盖板3;
30.主框体1包括下连接柱101、第一电机102、固定柱103、第一支撑弹簧104和内连接柱105,主框体1底部固定连接有下连接柱101,下连接柱101下端的齿轮与第一电机102主轴啮合连接,第一电机102固定安装在设备内部,主框体1滑动贯穿连接有固定柱103,固定柱103中部固定设置有第一支撑弹簧104,第一支撑弹簧104底端与主框体1固定连接,固定柱103顶部与电阻蒸发件2底部凹槽滑动卡合,第一支撑弹簧104支撑固定柱103垂直移动,通过固定柱103调节和固定电阻蒸发件2的位置,使电阻蒸发件2能够向外延伸展开,扩大蒸发扩散的面积,适配更加密集的零件加工操作,主框体1中部固定设置有内连接柱105,上支撑管4顶部滑动嵌套连接有上连接管401,上支撑管4与上连接管401通过固定螺丝402贯穿固定,上连接管401通过下固定管106嵌套连接有一处主框体1,通过下固定管106将多个主框体1垂直嫁接在一起,通过上支撑管4调节高度,使垂直摆列的零部件镀膜更加均匀。
31.参照图3和图5,盖板3包括有上连接滑块301、第二支撑弹簧302、第一连接条303和第二连接条304,盖板3顶部固定设置有上连接滑块301,上连接滑块301固定设置有第二支撑弹簧302,上连接滑块301滑动连接有第一连接条303,第一连接条303与第二连接条304水平滑动连接,第二连接条304为一处l形的矩形条,第二连接条304尾端圆轴与内连接柱105转动连接,盖板3尾端滑动设置有第三连接条307,第三连接条307首端与第二连接条304尾端圆轴固定连接,第二连接条304和盖板3围绕同一中心转动,通过将盖板3覆盖在蒸发坩埚201上部,增强蒸发坩埚201的热量聚集,避免内部原料提前溢出,第二支撑弹簧302顶端与第一连接条303固定连接,驱动机构306与内连接柱105固定连接,驱动机构306带动第二蜗杆305转动,第一连接条303和盖板3向上摆动,第二支撑弹簧302支撑盖板3的来回摆动促进汽化后的金属分子向四周分散,促进有四周零部件的结合。
32.参照图3和图4,盖板3还包括有第二蜗杆305和驱动机构306,第二连接条304尾端连接圆轴与第二蜗杆305啮合连接,第二蜗杆305与驱动机构306齿轮啮合连接,驱动机构306由电机主轴嵌套齿轮盘组成,第一连接条303和盖板3向上摆动,蒸发坩埚201内部的金属分子同步扩散,使镀膜更加均匀和一致。
33.本实施例的具体使用方式与作用:
34.本实用新型中,在使用时,本装置固定在镀膜箱体内部,下连接柱101与镀膜箱体转动连接,第一电机102与镀膜箱体固定连接,需要镀膜的零部件围绕本装置转动,电阻蒸发件2加热蒸发坩埚201时,通过将盖板3覆盖在蒸发坩埚201上部,增强蒸发坩埚201的热量聚集,避免内部原料提前溢出,当蒸发坩埚201内部材料符合要求后,驱动机构306带动第二
蜗杆305转动,第一连接条303和盖板3向上摆动,蒸发坩埚201内部的金属分子同步扩散,使镀膜更加均匀和一致,第二支撑弹簧302支撑上连接滑块301与盖板3摆动,避免蒸发坩埚201内部压力过大,主框体1转动时,第二支撑弹簧302支撑盖板3的来回摆动促进汽化后的金属分子向四周分散,促进有四周零部件的结合,电阻蒸发件2与主框体1滑动连接,通过固定柱103调节和固定电阻蒸发件2的位置,使电阻蒸发件2能够向外延伸展开,扩大蒸发扩散的面积,适配更加密集的零件加工操作,第一连接条303和第二连接条304更随滑动延伸,电阻蒸发件2尾端通过第三连接条307与第二连接条304同步转动,使电阻蒸发件2滑动改变位置后,盖板3依旧能保持覆盖,通过下固定管106将多个主框体1垂直嫁接在一起,通过上支撑管4调节高度,使垂直摆列的零部件镀膜更加均匀,电阻蒸发件2与蒸发坩埚201卡合固定,方便蒸发坩埚201的清理更换。
35.本实用新型未详述之处,均为本领域技术人员的公知技术。
36.本实用新型的实施例是为了示例和描述起见而给出的,而并不是无遗漏的或者将本实用新型限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本实用新型的原理和实际应用,并且使本领域的普通技术人员能够理解本实用新型从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。

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