一种具有倾斜功能的石英舟清洗载具的制作方法

1.本实用新型涉及半导体清洗设备技术领域，尤其涉及一种具有倾斜功能的石英舟清洗载具。


背景技术：

2.硅片扩散工艺，是将硅片插在石英舟上，然后将石英舟连同硅片一起放入石英管，并一起放入高温扩散炉中，之后在炉管的尾部通入一定量含有扩散源的气体，在高温条件下，通过扩散源气体与硅片发生化学反应，完成扩散工艺。由于每次扩散工艺后，石英舟表面都会残存一定量扩散后的微粒，而石英舟又直接与硅片接触，因此，石英舟表面的清洁度直接影响到整个扩散工艺的质量。
3.石英舟清洗时，大都是将清洗液倒入清洗槽中，然后将石英舟放入清洗槽内，通过浸泡的方式对石英舟清洗。石英舟清洗设备需要使用石英舟清洗载具来进行石英舟的搬运输送。
4.传统的石英舟清洗载具在使用过程中存在不足之处，一是其不能带动石英舟进行稳定的位移，安全性较差；二是其不具备倾斜功能，导致清洗过后的石英舟积存清洗液。因此，需要对传统的石英舟清洗载具进行优化改进。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于克服传统技术中存在的上述问题，提供一种具有倾斜功能的石英舟清洗载具。
6.为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型是通过以下技术方案实现：
7.一种具有倾斜功能的石英舟清洗载具，该清洗载具包括导向轨座、活动式龙门架、水平位移导向机构、水平位移驱动机构、竖向位移驱动机构和吊具组件，所述导向轨座共有两个且平行固定于清洗箱的顶部，所述活动式龙门架的底侧两端部分别与对应的导向轨座通过水平位移导向机构进行滑动连接，所述活动式龙门架的底部安装有能够带动其进行水平位移的水平位移驱动机构，所述活动式龙门架上对称设有两个能够独立动作的竖向位移驱动机构，所述活动式龙门架通过两个竖向升降机构共同安装有吊具组件。
8.进一步地，上述具有倾斜功能的石英舟清洗载具中，所述水平位移导向机构为由轨条和滑块构成的直线导轨副，所述滑块固定于活动式龙门架的底侧端部处，所述轨条固定于导向轨座上。
9.进一步地，上述具有倾斜功能的石英舟清洗载具中，所述水平位移驱动机构包括水平位移驱动电机、水平位移驱动轴、驱动齿轮和齿条，所述水平位移驱动电机的输出轴经皮带轮与水平位移驱动轴进行传动连接，所述水平位移驱动轴由活动式龙门架提供转动支撑，所述导向轨座的内侧沿其长度方向固定有齿条，所述水平位移驱动轴的轴体固定有与齿条啮合的驱动齿轮。
10.进一步地，上述具有倾斜功能的石英舟清洗载具中，所述竖向位移驱动机构包括
竖向位移驱动电机、转向齿轮组、驱动丝杆、从动丝杆套、安装板、导向杆和导向套，所述竖向位移驱动电机固定于活动式龙门架的顶板外侧，所述驱动丝杆沿竖直方向设置且由活动式龙门架提供转动支撑，所述活动式龙门架位于驱动丝杆的两侧对称固定有导向杆，所述竖向位移驱动电机的输出轴经转向齿轮组与驱动丝杆进行传动连接，所述驱动丝杆的外侧套设有与其啮合的从动丝杆套，所述导向杆的套设有能够沿其轴向进行滑动的导向套，所述从动丝杆套、导向套共同固定于安装板的内侧，所述安装板的外侧固定有便于固定安装吊具组件用的安装框。
11.进一步地，上述具有倾斜功能的石英舟清洗载具中，所述吊具组件包括竖向吊杆、连接头、横向吊杆和吊钩，所述竖向吊杆的顶端与安装框固定，底端经连接头与横向吊杆连接，所述横向吊杆上安装有若干吊钩。
12.进一步地，上述具有倾斜功能的石英舟清洗载具中，所述连接头的底端开设有便于卡入横向吊杆的卡槽，所述卡槽卡入横向吊杆后其上方留有便于横向吊杆作倾斜动作的活动空间；所述连接头位于卡槽上方处穿设有第一螺栓，所述竖向吊杆的底端开设有相配合的圆穿孔，所述连接头位于卡槽处穿设有第二螺栓，所述横向吊杆上开设有便于其作倾斜动作的腰形穿孔。
13.本实用新型的有益效果是：
14.本实用新型结构设计合理，清洗载具带有倾斜功能，可以将石英舟内的多余残留液体快速排出，便于后续处理，节省冲洗水资源的消耗；可完成石英舟工件的稳定搬运操作，避免出现易碎、不安全问题，避免时间和人工的大量浪费。
15.当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上的所有优点。
附图说明
16.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
17.图1为本实用新型的结构示意图；
18.图2为本实用新型省略吊具组件后的结构示意图；
19.图3为本实用新型中连接头的结构示意图；
20.图4为本实用新型中横向吊杆的局部结构示意图；
21.附图中，各标号所代表的部件列表如下：
22.6-清洗载具，1-导向轨座，2-活动式龙门架，3-竖向位移驱动电机， 4-转向齿轮组，5-驱动丝杆，6-从动丝杆套，7-安装板，8-导向杆，9
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水平位移驱动电机，10-水平位移驱动轴，11-驱动齿轮，12-齿条，13
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辅助导向板，14-导向座，15-滑块，16-轨条，17-竖向吊杆，18-连接头，18a
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卡槽，18b-第一螺栓，18c-第二螺栓，19-横向吊杆，19a-腰形穿孔，20
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吊杆，7-石英舟工件。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行
清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
24.一种具有倾斜功能的石英舟清洗载具，如图1-图4所示，包括导向轨座1、活动式龙门架2、水平位移导向机构、水平位移驱动机构、竖向位移驱动机构和吊具组件。导向轨座1共有两个且平行固定于清洗箱1的顶部，活动式龙门架2的底侧两端部分别与对应的导向轨座通过水平位移导向机构进行滑动连接，驱动箱2主要是为活动式龙门架2提供安全防护。活动式龙门架2的底部安装有能够带动其进行水平位移的水平位移驱动机构，活动式龙门架2上对称设有两个能够独立动作的竖向位移驱动机构，活动式龙门架2通过两个竖向升降机构共同安装有吊具组件。
25.本实施例中，水平位移导向机构为由轨条16和滑块15构成的直线导轨副，滑块15固定于活动式龙门架2的底侧端部处，轨条16固定于导向轨座1上。为了进一步提高导向效果，活动式龙门架2上还固定有辅助导向板13，导向轨座1上固定有导向座14，辅助导向板13 和导向座14滑动连接。
26.本实施例中，水平位移驱动机构包括水平位移驱动电机9、水平位移驱动轴10、驱动齿轮11和齿条12，水平位移驱动电机9的输出轴经皮带轮与水平位移驱动轴10进行传动连接，水平位移驱动轴10由活动式龙门架2提供转动支撑，导向轨座1的内侧沿其长度方向固定有齿条12，水平位移驱动轴10的轴体固定有与齿条12啮合的驱动齿轮11。
27.本实施例中，竖向位移驱动机构包括竖向位移驱动电机3、转向齿轮组4、驱动丝杆5、从动丝杆套6、安装板7、导向杆8和导向套，竖向位移驱动电机3固定于活动式龙门架2的顶板外侧，驱动丝杆5 沿竖直方向设置且由活动式龙门架2提供转动支撑，活动式龙门架2 位于驱动丝杆5的两侧对称固定有导向杆8。竖向位移驱动电机3的输出轴经转向齿轮组4与驱动丝杆5进行传动连接，驱动丝杆5的外侧套设有与其啮合的从动丝杆套6，导向杆8的套设有能够沿其轴向进行滑动的导向套。从动丝杆套6、导向套共同固定于安装板7的内侧，安装板7的外侧固定有便于固定安装吊具组件用的安装框。
28.本实施例中，吊具组件包括竖向吊杆17、连接头18、横向吊杆19 和吊钩20，竖向吊杆17的顶端与安装框固定，底端经连接头18与横向吊杆19连接，横向吊杆19上安装有若干吊钩20。
29.本实施例中，如图3和图4所示，连接头18的底端开设有便于卡入横向吊杆19的卡槽18a，卡槽18a卡入横向吊杆19后其上方留有便于横向吊杆19作倾斜动作的活动空间。连接头18位于卡槽上方实体处穿设有第一螺栓18b，竖向吊杆17的底端开设有相配合的圆穿孔。连接头18位于卡槽处18a穿设有第二螺栓18c，横向吊杆19上开设有便于其作倾斜动作的腰形穿孔19a。
30.本实施例的一个具体应用为：
31.吊具组件挂好石英舟工件7后，活动式龙门架2沿x轴移动至对应槽上方，带动y轴a侧的下移，使石英舟工件7倾斜；y轴双侧下移，y轴a侧到达位置停止，b侧继续运动，往复进行直至两侧均到达指定位置，此时石英舟工件7完全浸入溶液中；开启液体循环系统，使石英舟工件7与溶液充分接触；清洗完成后，y轴b侧上移一段距离，使石英舟工件倾斜；y轴两侧同时缓慢上移，y轴b侧到达位置停止，a侧继续运动，往复进行直至到达指定悬空位置，此
时石英舟工件7完全露出。
32.以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。