一种等离子增强型化学气相淀积系统的卧式沉积装置的制作方法

1.本实用新型涉及化学气相沉积镀膜设备技术领域，具体为一种等离子增强型化学气相淀积系统的卧式沉积装置。


背景技术：

2.等离子体增强化学气相沉积是利用微波或射频等能量，使含有薄膜组成原子的气体电离成高能原子、正负离子、电子等的混合体，形成等离子体，在基板上反应，沉积薄膜，从而实现高速率成膜。
3.缺乏对气体的过滤和干燥措施，导致一些含有湿气的气体进入反应腔室，对电极板造成损伤，而且下电极板上的待沉积基板的高度不可调节，难以进行校正，并且现有的卧式沉积装置的气体反应速度较慢，并且气体与工件表面接触并不充分，影响产品质量。
4.因此需要一种等离子增强型化学气相淀积系统的卧式沉积装置对上述问题做出改善。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种等离子增强型化学气相淀积系统的卧式沉积装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
7.一种等离子增强型化学气相淀积系统的卧式沉积装置，包括装置本体，所述装置本体顶部表面固定连接有气体过滤室，所述气体过滤室顶部外部上表面固定连接有进气口，所述气体过滤室内部固定设有灰尘过滤板，所述灰尘过滤板下侧固定设有气体干燥板，所述气体过滤室底部固定设有第二电磁阀，所述气体过滤室一侧设有能量传输口，所述气体过滤室两侧均设有电机，所述电机输出端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆上螺纹连接有螺母板，所述螺母板上表面固定连接有下电极板，所述下电极板上表面等距离固定连接有支撑导柱，所述装置本体内部顶部表面固定连接有上电极板，所述装置本体一侧表面上侧固定设有第一电磁阀，所述第一电磁阀一侧固定设有抽真空组件。
8.作为本实用新型优选的方案，所述装置本体内部底部表面固定连接有加热器，所述加热器上表面等距离固定连接有加热管。
9.作为本实用新型优选的方案，所述装置本体两侧外表面下侧均固定设有第三电磁阀，所述第三电磁阀一侧固定设有气体排出组件。
10.作为本实用新型优选的方案，所述装置本体一侧外表面通过铰链连接有箱门，所述箱门外侧表面固定设有观察窗，所述箱门内侧表面固定连接有密封橡胶层。
11.作为本实用新型优选的方案，所述螺纹杆两侧均设有滑杆，所述滑杆贯穿螺母板。
12.作为本实用新型优选的方案，所述加热器设置在螺母板下侧，所述加热管贯穿螺母板。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
14.1、本实用新型中，通过设置的电机、螺纹杆和螺母板，打开箱门将工件放置在下电极板表面的支撑导柱上，关闭箱门，先启动电机转动，电机转动进一步带动螺纹杆转动，螺纹杆转动进一步带动螺母板向上运动，进一步带动下电极板向上运动，进一步带动工件向上运动，进一步根据工件的规格缩小反应的容积，能够对基板的高度进行调节，并且提高了反应速度。
15.2、本实用新型中，通过设置的灰尘过滤板和气体干燥板，打开第一电磁阀启动抽真空组件将装置本体内部进行抽真空处理，再打开第二电磁阀，先将气体分配室内的气体进入气体过滤室内，气体经过灰尘过滤板和气体干燥板的过滤干燥进入到装置本体内进行反应，通过能量传输口进行能量传输，进一步使气体进行反应对工件进行加工，能有效对进入的气体进行过滤，防止灰尘和潮湿的气体进入装置内，对电极进行损坏，延长装置的使用寿命。
16.3、本实用新型中，通过设置的加热器和支撑导柱，启动加热器对加热管进行加热，进一步升高装置本体内的温度，进一步加快气体的反应，同时通过支撑导柱使工件表面与气体接触面积增大，使气体在工件表面充分反应，能够提高气体在工件表面的反应速度，提高工作效率，同时能够使气体充分与工件表面接触，进一步提高了产品的质量。
附图说明
17.图1为本实用新型的立体图；
18.图2为本实用新型的正剖面结构示意图；
19.图3为本实用新型的螺纹杆处侧剖面结构示意图；
20.图4为本实用新型的侧剖面结构示意图。
21.图中：1、装置本体；2、能量传输口；3、进气口；4、气体过滤室；5、电机；6、箱门；7、观察窗；8、气体排出组件；9、抽真空组件；10、第一电磁阀；11、灰尘过滤板；12、第二电磁阀；13、气体干燥板；14、上电极板；15、螺纹杆；16、下电极板；17、加热管；18、支撑导柱；19、螺母板；20、加热器；21、滑杆；22、密封橡胶层；23、第三电磁阀。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例,基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.为了便于理解本实用新型，下面将参照相关对本实用新型进行更全面的描述。给出了本实用新型的若干实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。
24.需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
25.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
26.请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：
27.实施例1，请参照图1、2、3和4，一种等离子增强型化学气相淀积系统的卧式沉积装置，包括装置本体1，装置本体1顶部表面固定连接有气体过滤室4，气体过滤室4顶部外部上表面固定连接有进气口3，气体过滤室4内部固定设有灰尘过滤板11，灰尘过滤板11下侧固定设有气体干燥板13，气体过滤室4底部固定设有第二电磁阀12，气体过滤室4一侧设有能量传输口2，气体过滤室4两侧均设有电机5，电机5输出端固定连接有螺纹杆15，螺纹杆15上螺纹连接有螺母板19，螺母板19上表面固定连接有下电极板16，下电极板16上表面等距离固定连接有支撑导柱18，装置本体1内部顶部表面固定连接有上电极板14，装置本体1一侧表面上侧固定设有第一电磁阀10，第一电磁阀10一侧固定设有抽真空组件9；打开箱门6将工件放置在下电极板16表面的支撑导柱18上，关闭箱门6，先启动电机5转动，电机5转动进一步带动螺纹杆15转动，螺纹杆15转动进一步带动螺母板19向上运动，进一步带动下电极板16向上运动，进一步带动工件向上运动，进一步根据工件的规格缩小反应的容积。
28.实施例2，请参照图1、2、3和4，一种等离子增强型化学气相淀积系统的卧式沉积装置，包括装置本体1，装置本体1顶部表面固定连接有气体过滤室4，气体过滤室4顶部外部上表面固定连接有进气口3，气体过滤室4内部固定设有灰尘过滤板11，灰尘过滤板11下侧固定设有气体干燥板13，气体过滤室4底部固定设有第二电磁阀12，气体过滤室4一侧设有能量传输口2，气体过滤室4两侧均设有电机5，电机5输出端固定连接有螺纹杆15，螺纹杆15上螺纹连接有螺母板19，螺母板19上表面固定连接有下电极板16，下电极板16上表面等距离固定连接有支撑导柱18，装置本体1内部顶部表面固定连接有上电极板14，装置本体1一侧表面上侧固定设有第一电磁阀10，第一电磁阀10一侧固定设有抽真空组件9；装置本体1内部底部表面固定连接有加热器20，加热器20上表面等距离固定连接有加热管17；装置本体1内部底部表面固定连接有加热器20，加热器20上表面等距离固定连接有加热管17；打开第一电磁阀10启动抽真空组件9将装置本体1内部进行抽真空处理，再打开第二电磁阀12，先将气体分配室内的气体进入气体过滤室4内，气体经过灰尘过滤板11和气体干燥板13的过滤干燥进入到装置本体1内进行反应，通过能量传输口2进行能量传输，进一步使气体进行反应对工件进行加工，同时启动加热器20对加热管17进行加热，进一步升高装置本体1内的温度，进一步加快气体的反应，同时通过支撑导柱18使工件表面与气体接触面积增大，使气体在工件表面充分反应。
29.实施例3，请参照图1、2、3和4，装置本体1两侧外表面下侧均固定设有第三电磁阀23，第三电磁阀23一侧固定设有气体排出组件8；装置本体1一侧外表面通过铰链连接有箱门6，箱门6外侧表面固定设有观察窗7，箱门6内侧表面固定连接有密封橡胶层22；螺纹杆15两侧均设有滑杆21，滑杆21贯穿螺母板19；加热器20设置在螺母板19下侧，加热管17贯穿螺母板19。
30.工作原理：使用时，打开箱门6将工件放置在下电极板16表面的支撑导柱18上，关闭箱门6，先启动电机5转动，电机5转动进一步带动螺纹杆15转动，螺纹杆15转动进一步带
动螺母板19向上运动，进一步带动下电极板16向上运动，进一步带动工件向上运动，进一步根据工件的规格缩小反应的容积，再打开第一电磁阀10启动抽真空组件9将装置本体1内部进行抽真空处理，再打开第二电磁阀12，先将气体分配室内的气体进入气体过滤室4内，气体经过灰尘过滤板11和气体干燥板13的过滤干燥进入到装置本体1内进行反应，通过能量传输口2进行能量传输，进一步使气体进行反应对工件进行加工，同时启动加热器20对加热管17进行加热，进一步升高装置本体1内的温度，进一步加快气体的反应，同时通过支撑导柱18使工件表面与气体接触面积增大，使气体在工件表面充分反应，可通过观察窗7，观察工件的处理情况，处理完成后，打开第三电磁阀23并启动气体排出组件8将反应气体排出。
31.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。