一种研磨垫修整器的制作方法

1.本实用新型涉及研磨垫的技术领域，特别是涉及一种研磨垫修整器。


背景技术：

2.在对半导体晶片生产过程中，需要使用研磨垫对晶片的表面进行研磨抛光，研磨垫在长期使用后，需要使用研磨垫修整器对研磨垫进行修整，使研磨垫表面重新恢复至较为理想的研磨状态，而研磨垫修整器在长期使用后，其表面会附着研磨产生的微粒子，这些微粒子会填满并堵塞修整器表面上的微孔洞，使修整器失去切削能力，从而会严重影响其研磨效果，同时还会造成产品损坏的情况。


技术实现要素：

3.为解决上述技术问题，本实用新型提供一种能够对修整研磨盘表面的微粒子进行清扫和吸附，使修整研磨盘表面时刻保持清洁状态，提高研磨效果，减少产品损坏的情况的一种研磨垫修整器。
4.本实用新型的一种研磨垫修整器，包括底座、轴座、支撑轴、修整研磨盘、立板、吸尘斗、转轴、清扫辊、连通管、吸尘箱、过滤网板、吸泵、第一锥齿轮、隔震垫、电机、第二锥齿轮和联动组件，轴座固定安装在底座上端面，支撑轴下端与轴座转动连接，修整研磨盘固定安装在支撑轴上端，立板固定安装在底座上端面，吸尘斗固定安装在立板左端面，转轴转动安装在吸尘斗内部，清扫辊固定安装在转轴上，连通管输入端与吸尘斗上端面连通，吸尘箱固定安装在底座上端面，连通管输出端穿过立板并与吸尘箱上端相互连通，过滤网板固定安装在吸尘箱内部的底部，吸泵固定安装在底座上端面，并且吸泵输入端与吸尘箱相互连通，过滤网板处于吸尘箱与吸泵之间连接处的上方，第一锥齿轮固定安装在支撑轴上，并且第一锥齿轮通过联动组件与转轴相互连接，隔震垫固定安装在底座上端面，电机固定安装在隔震垫上端面，第二锥齿轮与电机输出端固定连接，并且第二锥齿轮与第一锥齿轮相互啮合；第二锥齿轮在电机的驱动下带动第一锥齿轮转动，使支撑轴带动修整研磨盘转动，从而能够对研磨垫进行修整，随着第一锥齿轮转动的同时，经联动组件的配合使用下，使转轴带动清扫辊进行转动，从而能够对修整研磨盘表面的微粒子进行清扫，同时经吸泵的配合使用下，能够将吸尘箱内部的空气进行抽出，使吸尘箱内部的压强小于外界气压，并且在连通管的连通作用下，从而能够使吸尘斗对清扫出来的微粒子进行吸附，使修整研磨盘表面时刻保持清洁状态，提高研磨效果，减少产品损坏的情况。
5.优选的，联动组件包括连接轴、支撑座、第三锥齿轮、第一同步轮、第二同步轮和同步带，支撑座固定安装在底座上端面，连接轴贯穿支撑座和立板，并且支撑座和立板均与连接轴转动连接，第三锥齿轮固定安装在连接轴左端，并且第三锥齿轮与第一锥齿轮相互啮合，第一同步轮与连接轴右端固定连接，转轴右端穿过吸尘斗和立板并与第二同步轮固定连接，第二同步轮和第一同步轮之间通过同步带相互连接；随着第一锥齿轮转动的同时，经第三锥齿轮、连接轴、第一同步轮和同步带的配合使用下，能够使第二同步轮带动转轴转
动，从而能够使清扫辊和修整研磨盘同步进行转动，提高装置的操作性和联动性。
6.优选的，还包括防护罩，防护罩固定盖装在立板右端面，并且第二同步轮、同步带和第一同步轮均处于防护罩内部；通过设置防护罩，能够对第一同步轮、第二同步轮和同步带之间的连接传动进行有效保护，减少外界环境因素而影响装置的正常工作，提高装置的可靠性。
7.优选的，还包括多组固定基座，多组固定基座均匀分部固定安装在底座下端面；通过设置固定基座，能够对底座进行固定支撑，减少装置在工作过程中发生大幅度震动和青倾倒的现象，提高装置的稳定性。
8.优选的，吸尘箱前端面设有观察窗；通过设置观察窗，能够便于了解吸尘箱内部对微粒子吸附的情况，从而能够及时对吸尘箱内部的微粒子进行清理，提高装置的操作性。
9.优选的，第一锥齿轮、第二锥齿轮和第三锥齿轮之间涂有润滑油；通过涂抹润滑油，能够对第二锥齿轮、第一锥齿轮和第三锥齿轮之间的连接传动进行润滑，减少装置在工作过程中发生卡顿的现象，提高装置的平稳性。
10.与现有技术相比本实用新型的有益效果为：第二锥齿轮在电机的驱动下带动第一锥齿轮转动，使支撑轴带动修整研磨盘转动，从而能够对研磨垫进行修整，随着第一锥齿轮转动的同时，经第三锥齿轮、连接轴、第一同步轮和同步带的配合使用下，能够使第二同步轮带动转轴转动，从而能够使清扫辊和修整研磨盘同步进行转动，进而使清扫辊能够对修整研磨盘表面的微粒子进行清扫，同时经吸泵的配合使用下，能够将吸尘箱内部的空气进行抽出，使吸尘箱内部的压强小于外界气压，并且在连通管的连通作用下，从而能够使吸尘斗对清扫出来的微粒子进行吸附，使修整研磨盘表面时刻保持清洁状态，提高研磨效果，减少产品损坏的情况。
附图说明
11.图1是本实用新型的结构示意图；
12.图2是图1中a部局部放大结构示意图；
13.图3是吸尘斗和转轴等结构的部分轴测结构示意图；
14.附图中标记：1、底座；2、轴座；3、支撑轴；4、修整研磨盘；5、立板；6、吸尘斗；7、转轴；8、清扫辊；9、连通管；10、吸尘箱；11、过滤网板；12、吸泵；13、第一锥齿轮；14、隔震垫；15、电机；16、第二锥齿轮；17、连接轴；18、支撑座；19、第三锥齿轮；20、第一同步轮；21、第二同步轮；22、同步带；23、防护罩；24、固定基座。
具体实施方式
15.为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。
16.一种研磨垫修整器，包括底座1、轴座2、支撑轴3、修整研磨盘4、立板5、吸尘斗6、转轴7、清扫辊8、连通管9、吸尘箱10、过滤网板11、吸泵12、第一锥齿轮13、隔震垫14、电机15、第二锥齿轮16、连接轴17、支撑座18、第三锥齿轮19、第一同步轮20、第二同步轮21和同步带22，轴座2固定安装在底座1上端面，支撑轴3下端与轴座2转动连接，修整研磨盘4固定安装
在支撑轴3上端，立板5固定安装在底座1上端面，吸尘斗6固定安装在立板5左端面，转轴7转动安装在吸尘斗6内部，清扫辊8固定安装在转轴7上，连通管9输入端与吸尘斗6上端面连通，吸尘箱10固定安装在底座1上端面，连通管9输出端穿过立板5并与吸尘箱10上端相互连通，过滤网板11固定安装在吸尘箱10内部的底部，吸泵12固定安装在底座1上端面，并且吸泵12输入端与吸尘箱10相互连通，过滤网板11处于吸尘箱10与吸泵12之间连接处的上方，第一锥齿轮13固定安装在支撑轴3上，隔震垫14固定安装在底座1上端面，电机15固定安装在隔震垫14上端面，第二锥齿轮16与电机15输出端固定连接，并且第二锥齿轮16与第一锥齿轮13相互啮合，支撑座18固定安装在底座1上端面，连接轴17贯穿支撑座18和立板5，并且支撑座18和立板5均与连接轴17转动连接，第三锥齿轮19固定安装在连接轴17左端，并且第三锥齿轮19与第一锥齿轮13相互啮合，第一同步轮20与连接轴17右端固定连接，转轴7右端穿过吸尘斗6和立板5并与第二同步轮21固定连接，第二同步轮21和第一同步轮20之间通过同步带22相互连接；第二锥齿轮16在电机15的驱动下带动第一锥齿轮13转动，使支撑轴3带动修整研磨盘4转动，从而能够对研磨垫进行修整，随着第一锥齿轮13转动的同时，经第三锥齿轮19、连接轴17、第一同步轮20和同步带22的配合使用下，能够使第二同步轮21带动转轴7转动，从而能够使清扫辊8和修整研磨盘4同步进行转动，进而使清扫辊8能够对修整研磨盘4表面的微粒子进行清扫，同时经吸泵12的配合使用下，能够将吸尘箱10内部的空气进行抽出，使吸尘箱10内部的压强小于外界气压，并且在连通管9的连通作用下，从而能够使吸尘斗6对清扫出来的微粒子进行吸附，使修整研磨盘4表面时刻保持清洁状态，提高研磨效果，减少产品损坏的情况。
17.如图1至图3所示，本实用新型的一种研磨垫修整器，其在工作时，首先启动电机15，第二锥齿轮16在电机15的驱动下带动第一锥齿轮13转动，使支撑轴3带动修整研磨盘4转动，从而使修整研磨盘4对研磨垫进行修整，随着第一锥齿轮13转动的同时，经第三锥齿轮19、连接轴17、第一同步轮20和同步带22的配合使用下，使第二同步轮21带动转轴7转动，从而使清扫辊8进行转动，进而使清扫辊8对修整研磨盘4表面的微粒子进行清扫，启动电机15的同时也启动吸泵12，吸泵12将吸尘箱10内部的空气进行抽出，使吸尘箱10内部的压强小于外界气压，并且在连通管9的连通作用下，使吸尘斗6对清扫出来的微粒子进行吸附，从而使修整研磨盘4表面时刻保持清洁状态，直至研磨修整完成即可。
18.本实用新型的一种研磨垫修整器，其安装方式、连接方式或设置方式均为常见机械方式，只要能够达成其有益效果的均可进行实施。
19.本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
20.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。