一种化学机械研磨垫研磨器的制作方法

专利查询2022-6-2  135



1.本实用新型涉及研磨设备的技术领域,特别是涉及一种化学机械研磨垫研磨器。


背景技术:

2.化学机械研磨垫研磨器是用于研磨研磨垫的辅助装置,其在研磨设备的领域中得到了广泛的使用;由于化学机械研磨垫长时间使用后研磨的物料会在研磨垫上积累,影响后续的物料的研磨,需要定期的进行清理,但现有的化学机械研磨垫研磨器难以调节研磨垫的研磨位置,导致装置的使用便捷性较差。


技术实现要素:

3.为解决上述技术问题,本实用新型提供一种便于快速调节研磨垫的打磨位置,提高其使用便捷性的化学机械研磨垫研磨器。
4.本实用新型的一种化学机械研磨垫研磨器,包括底座、固定架、第一电机、齿轮、齿条、连接板、移动板、固定组件、第一t型滑块、第二电机、第一锥齿轮、第二锥齿轮、丝杠轴、滑杆、第二t型滑块、第三电机和研磨盘,第一电机通过固定架固定在底座的顶端左侧,第一电机的输出端与齿轮连接,齿轮与齿条啮合传动连接,并且齿条固定在连接板的底端,齿条的前后两端设置有限位块,并且连接板固定在移动板的左端中部,研磨垫通过固定组件固定在移动板的右端,移动板固定在第一t型滑块的顶端中部,并且第一t型滑块与底座的顶端左侧滑动卡装,第二电机固定在底座的顶端右侧,第二电机的输出端与第一锥齿轮连接,第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合传送连接,第二锥齿轮固定在丝杠轴的底部,并且丝杠轴与底座的顶端转动连接,滑杆固定在底座的顶端并位于丝杠轴的左侧,第二t型滑块与丝杠轴螺装连接,并且第二t型滑块与滑杆滑动连接,第三电机固定在第二t型滑块的左端,第三电机的输出端与研磨盘连接,并且研磨盘可与研磨垫接触;通过第三电机带动研磨盘转动,并通过研磨盘对研磨垫进行研磨,并且通过第一电机带动齿轮转动,齿轮与齿条啮合传动连接,使得连接板在第一t型滑块的配合使用下,带动移动板前后移动,同时可通过第二电机带动第一锥齿轮转动,第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合传动连接,使得丝杠轴转动,从而使得第二t型滑块在滑杆的配合使用下,带动第三电机和研磨盘上下移动,便于快速调节研磨垫的打磨位置,提高装置使用便捷性。
5.优选的,固定组件包括两组电动推杆、两组直角加夹持块、两组螺杆、两组转动把手和两组压块,两组电动推杆分别对称固定在移动板右端的上下两侧,电动推杆的输出端与直角加夹持块连接,并且两组直角加夹持块分别与移动板右端的上下两侧滑动卡装,螺杆与直角加夹持块螺装连接,转动把手固定在螺杆的右端,并且螺杆的左端与压块转动连接,压块与直角加夹持块内侧壁滑动卡装;通过控制电动推杆,带动直角加夹持块上下移动,通过两组直角加夹持块对研磨垫进行加持固定,同时通过转动转动把手,使得螺杆带动压块向左侧移动,通过压块对研磨垫进行挤压固定,避免研磨垫研磨时出现晃动,提高装置的使用稳定性。
6.优选的,还包括吸气机、吸尘箱、吸尘网和多组吸尘管,吸气机固定在底座的底端中部,吸气机的输入端与吸尘箱的底端连通,并且吸尘箱固定在底座的顶端中部,吸尘网固定在吸尘箱内部,多组吸尘管均匀固定在吸尘箱的顶端,并且吸尘管的顶端设置有吸尘嘴;通过设置吸气机、吸尘箱、吸尘网和吸尘管,吸收研磨时产生的粉尘,避免粉尘扩散到空气中造成大气污染,提高装置的环保使用性。
7.优选的,还包括推手和多组万向轮,推手固定在底座的右端,多组万向轮均匀固定在底座的底端,并且万向轮上设置有刹车制动片;通过设置推手和万向轮,便于装置的整体移动,提高装置的灵活使用性。
8.优选的,还包括两组限位板,两组限位板分别固定在滑杆的顶端和底部,并均与丝杠轴转动连接;通过设置限位板,对第二t型滑块进行限位,避免第二t型滑块与丝杠轴脱离,同时避免与第二锥齿轮相撞,进一步提高装置的使用稳定性。
9.优选的,还包括多组加强杆,多组加强杆均匀固定在移动板左端的底部,并且加强杆的另一端与第一t型滑块的顶端连接;通过设置加强杆,加强移动板与第一t型滑块连接的强度,提高装置的结构稳定性。
10.优选的,第一电机、第二电机和第三电机均为消音电机;通过设置消音电机,减小噪音污染,避免对操作者造成听力损伤,提高装置的使用可靠性。
11.与现有技术相比本实用新型的有益效果为:通过第三电机带动研磨盘转动,并通过研磨盘对研磨垫进行研磨,并且通过第一电机带动齿轮转动,齿轮与齿条啮合传动连接,使得连接板在第一t型滑块的配合使用下,带动移动板前后移动,同时可通过第二电机带动第一锥齿轮转动,第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合传动连接,使得丝杠轴转动,从而使得第二t型滑块在滑杆的配合使用下,带动第三电机和研磨盘上下移动,便于快速调节研磨垫的打磨位置,提高装置使用便捷性。
附图说明
12.图1是本实用新型的正视及其部分剖视结构示意图;
13.图2是本实用新型的局部轴测结构示意图;
14.图3是本实用新型图1中a处的放大结构示意图;
15.图4是本实用新型图1中b处的放大结构示意图;
16.附图中标记:1、底座;2、固定架;3、第一电机;4、齿轮;5、齿条;6、连接板;7、移动板;8、第一t型滑块;9、第二电机;10、第一锥齿轮;11、第二锥齿轮;12、丝杠轴;13、滑杆;14、第二t 型滑块;15、第三电机;16、研磨盘;17、电动推杆;18、直角加夹持块;19、螺杆;20、转动把手;21、压块;22、吸气机;23、吸尘箱;24、吸尘网;25、吸尘管;26、推手;27、万向轮;28、限位板; 29、加强杆。
具体实施方式
17.为了便于理解本实用新型,下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。本实用新型可以以许多不同的形式来实现,并不限于本文所描述的实施例。相反地,提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。
18.实施例1
19.第一电机3通过固定架2固定在底座1的顶端左侧,第一电机3的输出端与齿轮4连接,齿轮4与齿条5啮合传动连接,并且齿条5固定在连接板6的底端,齿条5的前后两端设置有限位块,并且连接板6固定在移动板7的左端中部,两组电动推杆17分别对称固定在移动板7右端的上下两侧,电动推杆17的输出端与直角加夹持块18连接,并且两组直角加夹持块18分别与移动板7右端的上下两侧滑动卡装,螺杆19与直角加夹持块18螺装连接,转动把手20固定在螺杆19的右端,并且螺杆 19的左端与压块21转动连接,压块21与直角加夹持块18内侧壁滑动卡装,移动板7固定在第一t型滑块8的顶端中部,并且第一t型滑块8与底座1的顶端左侧滑动卡装,第二电机9固定在底座1的顶端右侧,第二电机9的输出端与第一锥齿轮10连接,第一锥齿轮10与第二锥齿轮 11啮合传送连接,第二锥齿轮11固定在丝杠轴12的底部,并且丝杠轴 12与底座1的顶端转动连接,滑杆13固定在底座1的顶端并位于丝杠轴 12的左侧,第二t型滑块14与丝杠轴12螺装连接,并且第二t型滑块14 与滑杆13滑动连接,第三电机15固定在第二t型滑块14的左端,第三电机15的输出端与研磨盘16连接,并且研磨盘16可与研磨垫接触;通过控制电动推杆17,带动直角加夹持块18上下移动,通过两组直角加夹持块18对研磨垫进行加持固定,同时通过转动转动把手20,使得螺杆19带动压块21向左侧移动,通过压块21对研磨垫进行挤压固定,避免研磨垫研磨时出现晃动,提高装置的使用稳定性,之后通过第三电机15带动研磨盘16转动,并通过研磨盘16对研磨垫进行研磨,并且通过第一电机3带动齿轮4转动,齿轮4与齿条5啮合传动连接,使得连接板6在第一t型滑块8的配合使用下,带动移动板7前后移动,同时可通过第二电机9带动第一锥齿轮10转动,第一锥齿轮10与第二锥齿轮11 啮合传动连接,使得丝杠轴12转动,从而使得第二t型滑块14在滑杆 13的配合使用下,带动第三电机15和研磨盘16上下移动,便于快速调节研磨垫的打磨位置,提高装置使用便捷性。
20.如图1至图4所示,本实用新型的一种化学机械研磨垫研磨器,其在工作时,首先通过控制电动推杆17,带动直角加夹持块18上下移动,通过两组直角加夹持块18对研磨垫进行加持固定,同时通过转动转动把手20,使得螺杆19带动压块21向左侧移动,通过压块21对研磨垫进行挤压固定,避免研磨垫研磨时出现晃动,提高装置的使用稳定性,之后通过第三电机15带动研磨盘16转动,并通过研磨盘16对研磨垫进行研磨,并且通过第一电机3带动齿轮4转动,齿轮4与齿条5啮合传动连接,使得连接板6在第一t型滑块8的配合使用下,带动移动板7前后移动,同时可通过第二电机9带动第一锥齿轮10转动,第一锥齿轮10 与第二锥齿轮11啮合传动连接,使得丝杠轴12转动,从而使得第二t 型滑块14在滑杆13的配合使用下,带动第三电机15和研磨盘16上下移动,便于快速调节研磨垫的打磨位置,提高装置使用便捷性,然后通过设置吸气机22、吸尘箱23、吸尘网24和吸尘管25,吸收研磨时产生的粉尘,避免粉尘扩散到空气中造成大气污染,提高装置的环保使用性,并且通过设置推手26和万向轮27,便于装置的整体移动,提高装置的灵活使用性。
21.本实用新型的一种化学机械研磨垫研磨器,其安装方式、连接方式或设置方式均为常见机械方式,只要能够达成其有益效果的均可进行实施。
22.本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
23.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型技术原理的前提下,还可以做出若干改进和变型,这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。

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