DMD坏点补偿曝光装置的制作方法

dmd坏点补偿曝光装置
技术领域
1.本实用新型与黄光微影制程有关，尤指一种dmd坏点曝光装置。


背景技术：

2.数位微反射镜曝光装置(digital micromirror device，dmd)具有复数个构成阵列的微反射镜，每个微反射镜可被分别控制而改变角度，进而切换投射区域的曝光与否，据此形成曝光图案。一个dmd曝光机上具有极多数的微反射镜，难免会有一些是故障的，故障的微反射镜就无法将光线投射至曝光区域，导致曝光图案不完整的缺失。
3.由于微反射镜的尺寸极小，肉眼尚难辨识，因此若故障的微反射镜数量不多，或者所形成的曝光图案的完整性尚在可接受范围的内，则为了节省维修开支，通常会继续使用而不会立即汰换。惟继续使用的话，所形成的曝光图案将仍具有不完整的缺失。
4.有鉴于此，如何改进上述问题即为本实用新型所欲解决的首要课题。


技术实现要素：

5.本实用新型的主要目的在于提供一种dmd坏点补偿曝光装置，其可利用dmd曝光机上未损坏的微反射镜弥补已损坏的微反射镜的工作缺失，进而达到延长使用寿命的功效。
6.为达前述的目的，本实用新型提供一种dmd坏点补偿曝光装置，其包括有：一dmd曝光机，其具有复数个构成阵列的微反射镜，该dmd曝光机与dmd控制器的控制端连接，各微反射镜由该dmd控制器控制改变角度；一电性连接于该dmd曝光机的检测单元，该检测单元的检测接收端与各微反射镜连接，用以检测各微反射镜是否可以反射光线；一电性连接于该检测单元的光线补偿投射处理器。
7.于一实施例中，该检测单元包括有一设有多个感光耦合元件的感光平台，该感光耦合元件用于接收该dmd曝光机向该感光平台的投射光线。
8.于另一实施例中，该检测单元包括有一反光平台及一位于该反光平台上方的感光镜头，该反光平台用于接收该dmd曝光机中各微反射镜的反射光线，并将该反射光线反射至该感光镜头，该感光镜头用于检测接收到的光线。
9.较佳地，该光线补偿投射处理器计算能够进行反射的微反射镜及不能进行反射的微反射镜的移动路径后获取二者移动路径交点，移动路径交点为一补偿位置，该dmd控制器控制该好点在移动到该补偿位置时进行光线补偿投射，当能够进行反射的微反射镜移动到该补偿位置时，该dmd控制器控制该好点以所应施加于该补偿位置的曝光参数进行光线补偿投射。
10.本实用新型的上述目的与优点，不难从以下所选用实施例的详细说明与附图中获得深入了解。
附图说明
11.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例
或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
12.图1为本实用新型构件的方块示意图。
13.图2a、图2b为本实用新型的使用状态示意图。
14.图3a、图3b为本实用新型的使用状态示意图。
15.其中dmd曝光机1；检测单元2；dmd控制器3；光线补偿投射处理器4；好点5；坏点6；移动路径51、61；补偿位置7；区域a1、a2、a3。
具体实施方式
16.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
17.请参阅图1，所示者为本实用新型提供的dmd坏点补偿曝光装置，其包括有一dmd曝光机1(digital micromirror device)、一检测单元2、一dmd控制器3及一光线补偿投射处理器4。该dmd曝光机1具有复数个构成阵列的微反射镜，各微反射镜可由该dmd控制器3控制而改变角度，进而切换投射区域的曝光与否，据此形成曝光图案。
18.该检测单元2电性连接于该dmd曝光机1，用以检测各微反射镜是否可以正常运作，即是否可以反射光线，据此将可反射光线的微反射镜定义为一好点，不可反射光线的微反射镜则定义为一坏点。于本实施例中，该检测单元2包括有一感光平台，其设有多个可以感知光线的感光耦合元件。当光线照往该dmd曝光机1的微反射镜，然后各微反射镜分别将光线反射至该感光平台上，此时检测该感光平台上对应各微反射镜所投射的位置是否有感知到光线，即可得知各微反射镜是否能正常运作。
19.该检测单元2的另一个实施态样，包括有一反光平台及一感光镜头，其中该感光镜头设于该反光平台的上方，该感光镜头的内部设有可以感知光线的感光耦合元件。当光线照往该dmd曝光机1的微反射镜，然后各微反射镜分别将光线反射至该反光平台上，该反光平台再将光线反射至该感光镜头，此时检测该感光镜头中对应各微反射镜所投射的位置是否有感知到光线，即可得知各微反射镜是否能正常运作。
20.借由上述该检测单元2测得该dmd曝光机1中好点与坏点的所在位置，接着随着该dmd曝光机1的移动，如第2a图所示，该光线补偿投射处理器分别计算出该好点5及该坏点6的移动路径51、61，进而找出二者的交会处，并定义上述交会处为一补偿位置7，则进行曝光时，如第2b图所示，当该好点5移动到该补偿位置7时，该dmd控制器控制该好点5进行光线补偿投射。
21.前述该好点5移动到补偿位置7时，以本应施加于该补偿位置7的曝光参数进行光线补偿投射，即该坏点6本应施加于其移动路径61的曝光参数，据此弥补该坏点6无法投射光线的缺失。例如第3a图及3b图所示，该坏点6本应于其移动路径61上经过三个应施加不同曝光参数的区域a1、a2、a3，但由于该坏点6无法投射光线，故该光线补偿投射处理器在好点
5经过这三个区域时将控制其以预定应施加的曝光参数进行光线补偿投射。
22.由于该坏点6无法正常反射光线，故该坏点6的移动路径上都不会造成曝光。然而经由前述说明，可了解本实用新型利用该好点5与该坏点6的移动路径形成交会(即补偿位置7)，进而控制该好点5在该补偿位置7上进行光线补偿投射，以弥补该坏点6无法投射光线的缺失。据此，虽然该dmd曝光机中各微反射镜并不全部都是良好的，但仍然可以改善曝光图形的缺失，进而产生延长使用寿命的功效。
23.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。


技术特征：
1.一种dmd坏点补偿曝光装置，其特征在于，包括有：一dmd曝光机，其具有复数个构成阵列的微反射镜，该dmd曝光机与dmd控制器的控制端连接，各微反射镜由该dmd控制器控制改变角度；一电性连接于该dmd曝光机的检测单元，该检测单元的检测接收端与各微反射镜连接，用以检测各微反射镜是否可以反射光线；一电性连接于该检测单元的光线补偿投射处理器；该光线补偿投射处理器计算能够进行反射的微反射镜及不能进行反射的微反射镜的移动路径后获取二者移动路径交点，移动路径交点为一补偿位置，该dmd控制器控制该好点在移动到该补偿位置时进行光线补偿投射，当能够进行反射的微反射镜移动到该补偿位置时，该dmd控制器控制该好点以所应施加于该补偿位置的曝光参数进行光线补偿投射。2.根据权利要求1所述的dmd坏点补偿曝光装置，其特征在于，该检测单元包括有一设有多个感光耦合元件的感光平台，该感光耦合元件用于接收该dmd曝光机向该感光平台的投射光线。3.根据权利要求1所述的dmd坏点补偿曝光装置，其特征在于，该检测单元包括有一反光平台及一位于该反光平台上方的感光镜头，该反光平台用于接收该dmd曝光机中各微反射镜的反射光线，并将该反射光线反射至该感光镜头，该感光镜头用于检测接收到的光线。

技术总结
一种DMD坏点补偿曝光装置，包括有一DMD曝光机、一检测单元及一光线补偿投射处理器。DMD曝光机，其具有复数个构成阵列的微反射镜，该DMD曝光机与DMD控制器的控制端连接，各微反射镜由该DMD控制器控制改变角度；一电性连接于该DMD曝光机的检测单元，该检测单元的检测接收端与各微反射镜连接，用以检测各微反射镜是否可以反射光线；一电性连接于该检测单元的光线补偿投射处理器。线补偿投射处理器。线补偿投射处理器。


技术研发人员：刘大有 简志桦 赖建华 陈世勋
受保护的技术使用者：刘大有
技术研发日：2021.03.22
技术公布日：2022/3/8