一种半导体用湿电子产品过滤装置的制作方法

1.本实用新型涉及过滤装置领域，具体涉及一种半导体用湿电子产品过滤装置。


背景技术：

2.目前市面没有用于半导体湿电子产品的小型过滤装置，通常做法是随意把气泵和过滤器简单连接，放置于地上，连接管道比较凌乱，不利于存放收纳，由于简单连接无法有效避免运行过程中由震动造成连接部的松动和损坏，缩短了泵、滤壳及配件的使用寿命。


技术实现要素：

3.本实用新型所要解决的技术问题是一种半导体用湿电子产品过滤装置，体积小，泵和滤壳固定位置合理，管道及连接件不易松动，便于移动和存储收纳。
4.本实用新型是通过以下技术方案来实现的：一种半导体用湿电子产品过滤装置，包括有支撑架、过滤器、气动泵，支撑架上设置有过滤器安装位和气动泵安装位，过滤器安装位上安装有过滤器，气动泵安装位上安装有气动泵；支撑架的底部安装固定有万向轮，气动泵上安装有进气管和出气管，进气管和出气管均通过固定件固定在支撑架上，支撑架的底部形成有下凹的废料收集区，过滤器和气动泵设置在废料收集区的上端。
5.作为优选的技术方案，过滤器安装位和气动泵安装位均固定有承载板，承载板上固定有减震垫，减震垫上放置有气动泵或者是过滤器。
6.作为优选的技术方案，支撑架上安装有把手。
7.作为优选的技术方案，过滤器上设置有进料口和出料口，进料口处安装有进料管，出料口安装有出料管。
8.作为优选的技术方案，支撑架的底部形成有一块底板，废料收集区设置在底板处。
9.本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，过滤器和气动泵存放方便，管道及连接件不易松动，能有效延长设备和管道配件的使用寿命；体积小，且底部安装有万向轮，方便移动和收纳。
附图说明
10.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
11.图1为本实用新型的整体图。
具体实施方式
12.本说明书中公开的所有特征，或公开的所有方法或过程中的步骤，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合。
13.本说明书包括任何附加权利要求、摘要和附图中公开的任一特征，除非特别叙述，均可被其他等效或具有类似目的的替代特征加以替换。即，除非特别叙述，每个特征只是一系列等效或类似特征中的一个例子而已。
14.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“一端”、“另一端”、“外侧”、“上”、“内侧”、“水平”、“同轴”、“中央”、“端部”、“长度”、“外端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
15.此外，在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
16.本实用新型使用的例如“上”、“上方”、“下”、“下方”等表示空间相对位置的术语是出于便于说明的目的来描述如附图中所示的一个单元或特征相对于另一个单元或特征的关系。空间相对位置的术语可以旨在包括设备在使用或工作中除了图中所示方位以外的不同方位。例如，如果将图中的设备翻转，则被描述为位于其他单元或特征“下方”或“之下”的单元将位于其他单元或特征“上方”。因此，示例性术语“下方”可以囊括上方和下方这两种方位。设备可以以其他方式被定向旋转90度或其他朝向，并相应地解释本文使用的与空间相关的描述语。
17.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“套接”、“连接”、“贯穿”、“插接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
18.如图1所示，包括有支撑架1、过滤器2、气动泵3，支撑架1上设置有过滤器安装位和气动泵安装位，过滤器安装位上安装有过滤器2，气动泵安装位上安装有气动泵3；支撑架1的底部安装固定有万向轮5，气动泵3上安装有进气管6和出气管7，进气管6和出气管7均通过固定件26(比如是胶带、卡扣等结构，用于稳定进气管和出气管)固定在支撑架1上，支撑架1的底部形成有下凹的废料收集区8，过滤器2和气动泵3设置在废料收集区8的上端。
19.其中，过滤器安装位和气动泵安装位均固定有承载板9，承载板9上固定有减震垫22，减震垫上放置有气动泵3或者是过滤器2，增加了过滤器和气动泵安装的稳定性，气动泵3和过滤器2之间通过输料管15连接，气动泵3上安装有进料管13。
20.其中，支撑架1上安装有把手16。通过把手移动整个装置。
21.其中，过滤器2上设置有出料口，出料口安装有出料管12。
22.其中，支撑架1的底部设置有一块底板11，废料收集区8(可以用于收集废料)设置在底板11处。
23.本技术方案在使用时，气动泵和过滤器分开摆放在支撑架上，摆放更整洁。可手持把手，在万向轮的作用下推动整个装置移动，操作简单灵活。
24.以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。


技术特征：
1.一种半导体用湿电子产品过滤装置，其特征在于：包括有支撑架(1)、过滤器(2)、气动泵(3)，支撑架(1)上设置有过滤器安装位和气动泵安装位，过滤器安装位上安装有过滤器(2)，气动泵安装位上安装有气动泵(3)；支撑架(1)的底部安装固定有万向轮(5)，气动泵(3)上安装有进气管(6)和出气管，进气管(6)和出气管均通过固定件(26)固定在支撑架(1)上，支撑架(1)的底部形成有下凹的废料收集区(8)，过滤器(2)和气动泵(3)设置在废料收集区(8)的上端。2.根据权利要求1所述的一种半导体用湿电子产品过滤装置，其特征在于：过滤器安装位和气动泵安装位处均固定有承载板(9)，承载板(9)上固定有减震垫(22)，减震垫(22)上放置有气动泵(3)或者是过滤器(2)，气动泵(3)和过滤器(2)之间通过输料管(15)连接，气动泵(3)上安装有进料管(13)。3.根据权利要求1所述的一种半导体用湿电子产品过滤装置，其特征在于：支撑架(1)上安装有把手(16)。4.根据权利要求1所述的一种半导体用湿电子产品过滤装置，其特征在于：过滤器(2)上设置有出料口，出料口安装有出料管(12)。5.根据权利要求1所述一种半导体用湿电子产品过滤装置，其特征在于：支撑架(1)的底部设置有一块底板(11)，废料收集区(8)设置在底板(11)处。

技术总结
本实用新型公开了一种半导体用湿电子产品过滤装置，包括有支撑架、过滤器、气动泵，支撑架上设置有过滤器安装位和气动泵安装位，过滤器安装位上安装有过滤器，气动泵安装位上安装有气动泵；支撑架的底部安装固定有万向轮，气动泵上安装有进气管和出气管，进气管和出气管均通过固定件固定在支撑架上，支撑架的底部形成有下凹的废料收集区，过滤器和气动泵设置在废料收集区的上端。本实用新型结构简单，过滤器和气动泵存放方便；底部安装有万向轮，便于移动。于移动。于移动。


技术研发人员：於婷 孙炳良 刘素华 张磊
受保护的技术使用者：芯越微电子材料（嘉兴）有限公司
技术研发日：2021.07.21
技术公布日：2022/3/8