一种有机金属化合物气相淀积系统的制作方法

1.本实用新型涉及有机金属化合物气相淀积技术领域，具体为一种有机金属化合物气相淀积系统。


背景技术：

2.金属有机物化学气相沉积系统是一种用于物理学领域的工艺试验仪器，金属有机物化学气相沉积是一种利用有机金属热分解反应进行气相外延生长薄膜的化学气相沉积技术，用该法制备薄膜时，作为含有化合物半导体元素的原料化合物，必须满足常温稳定且易处理，在室温附近有适当的蒸气压，反应的副产物不应妨碍晶体生长，不应污染生长层等条件，因此常选用金属的烷基或芳基衍生物，羟基衍生物、羟基衍生物等为原料，它最主要的特点是沉积温度低，另外由于不采用卤化物原料，因此在沉积中不存在刻蚀反应，适用范围广，几乎可生长所有化合物和合金半导体，生长温度范围宽，适宜大批量生产。
3.现有的有机金属化合物气相淀积系统在使用时，金属有机化合物气体通过载气输送到反应室，在一定温度下进行外延生长在进行的过程中，产生的易燃剧毒物质不能够进行集中收集处理，容易对反应的效率造成影响。
4.因此需要一种有机金属化合物气相淀积系统对上述问题做出改善。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种有机金属化合物气相淀积系统，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
7.一种有机金属化合物气相淀积系统，包括壳体和连接管，所述壳体的左侧固定连接有第一密封垫，且第一密封垫的左侧固定连接有密封盖，所述连接管位于密封盖的左侧，且连接管的左侧固定连接有连接盘，所述壳体的下方固定连接有支撑脚，且壳体的内部开设有安装槽，所述安装槽的内部活动连接有安装块，且安装块的左侧固定连接有加热器，所述加热器的下方水平安设有导热板，且导热板的右侧水平安设有安装管，所述壳体的右侧固定连接有第二密封垫，且第二密封垫的右侧固定活动连接有固定罩，所述固定罩的内部开设有凹槽，且凹槽的右侧垂直安设有过滤网，所述过滤网的上方固定连接有卡块，且卡块的后端开设有卡槽，所述固定罩的右侧活动连接有支撑座，且支撑座的上方固定连接有真空泵。
8.作为本实用新型优选的方案，所述壳体的中轴线与第一密封垫的中轴线相重合，且第一密封垫的左侧表面与密封盖的右侧表面之间紧密贴合。
9.作为本实用新型优选的方案，所述连接管呈水平状安置于密封盖的左侧表面，且连接管的左侧表面与连接盘的右侧表面之间紧密贴合。
10.作为本实用新型优选的方案，所述安装块呈对称状安置于加热器的左右两侧，且加热器的通过安装块与安装槽构成滑动结构。
11.作为本实用新型优选的方案，所述导热板的右侧表面与壳体的内表面之间紧密贴合，且壳体的中轴线与第二密封垫的中轴线相重合。
12.作为本实用新型优选的方案，所述安装管呈水平状安置于固定罩的内表面，且固定罩的右侧表面与支撑座的左侧表面之间紧密贴合。
13.作为本实用新型优选的方案，所述卡块的外部尺寸与卡槽的内部尺寸相吻合，且过滤网的上表面与卡块的下表面之间紧密贴合。
14.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
15.1、本实用新型中，通过设置的壳体、第一密封垫、密封盖、连接管和连接盘之间的配合设置，第一密封垫与壳体紧密贴合，使得密封盖与壳体接触固定后，第一密封垫能够保证壳体内部的密封性，同时通过连接盘能够使得有机金属化合物气体流入连接管中。
16.2、本实用新型中，通过设置的壳体、安装槽、安装块、加热器、导热板和第二密封垫之间的配合设置，安装块固定在加热器的两侧，通过安装块与安装槽的滑动配合，便于使用者对加热器进行安装与拆卸，同时导热板通过焊接固定在壳体的内部，使得导热板具有良好的导热性。
17.3、本实用新型中，通过设置的安装管、固定罩、过滤网、块、卡槽和支撑座之间的配合设置，安装管与固定罩通过焊接进行固定，使得固定罩通过螺栓与壳体进行固定后，通过安装管能够将产生的易燃剧毒物质收集到固定罩内部，同时过滤网通过卡块固定在卡槽中，使得过滤网能够起到过滤的作用。
附图说明
18.图1为本实用新型的立体图；
19.图2为本实用新型的主视剖视结构示意图；
20.图3为本实用新型的俯视结构示意图；
21.图4为本实用新型的侧视结构示意图。
22.图中：1、壳体；2、第一密封垫；3、密封盖；4、连接管；5、连接盘；6、支撑脚；7、安装槽；8、安装块；9、加热器；10、导热板；11、安装管；12、第二密封垫；13、固定罩；14、凹槽；15、过滤网；16、卡块；17、卡槽；18、支撑座；19、真空泵。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
24.为了便于理解本实用新型，下面将参照相关对本实用新型进行更全面的描述。给出了本实用新型的若干实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。
25.需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接
到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
26.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
27.请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：
28.实施例1，请参照图1、2、3和4，一种有机金属化合物气相淀积系统，包括壳体1和连接管4，壳体1的左侧固定连接有第一密封垫2，且第一密封垫2的左侧固定连接有密封盖3，连接管4位于密封盖3的左侧，且连接管4的左侧固定连接有连接盘5，壳体1的下方固定连接有支撑脚6，且壳体1的内部开设有安装槽7，安装槽7的内部活动连接有安装块8，且安装块8的左侧固定连接有加热器9，加热器9的下方水平安设有导热板10，且导热板10的右侧水平安设有安装管11，壳体1的右侧固定连接有第二密封垫12，且第二密封垫12的右侧固定活动连接有固定罩13，固定罩13的内部开设有凹槽14，且凹槽14的右侧垂直安设有过滤网15，过滤网15的上方固定连接有卡块16，且卡块16的后端开设有卡槽17，固定罩13的右侧活动连接有支撑座18，且支撑座18的上方固定连接有真空泵19。
29.实施例2，请参照图1、2、3和4，壳体1的中轴线与第一密封垫2的中轴线相重合，且第一密封垫2的左侧表面与密封盖3的右侧表面之间紧密贴合，连接管4呈水平状安置于密封盖3的左侧表面，且连接管4的左侧表面与连接盘5的右侧表面之间紧密贴合，壳体1、第一密封垫2、密封盖3、连接管4和连接盘5之间的配合设置，第一密封垫2与壳体1紧密贴合，使得密封盖3与壳体1接触固定后，第一密封垫2能够保证壳体1内部的密封性，同时通过连接盘5能够使得有机金属化合物气体流入连接管4中。
30.实施例3，请参照图1、2、3和4，安装块8呈对称状安置于加热器9的左右两侧，且加热器9的通过安装块8与安装槽7构成滑动结构，导热板10的右侧表面与壳体1的内表面之间紧密贴合，且壳体1的中轴线与第二密封垫12的中轴线相重合，壳体1、安装槽7、安装块8、加热器9、导热板10和第二密封垫12之间的配合设置，安装块8固定在加热器9的两侧，通过安装块8与安装槽7的滑动配合，便于使用者对加热器9进行安装与拆卸，同时导热板10通过焊接固定在壳体1的内部，使得导热板10具有良好的导热性。
31.实施例4，请参照图1、2、3和4，安装管11呈水平状安置于固定罩13的内表面，且固定罩13的右侧表面与支撑座18的左侧表面之间紧密贴合，卡块16的外部尺寸与卡槽17的内部尺寸相吻合，且过滤网15的上表面与卡块16的下表面之间紧密贴合，安装管11、固定罩13、过滤网15、卡块16、卡槽17和支撑座18之间的配合设置，安装管11与固定罩13通过焊接进行固定，使得固定罩13通过螺栓与壳体1进行固定后，通过安装管11能够将产生的易燃剧毒物质收集到固定罩13内部，同时过滤网15通过卡块16固定在卡槽17中，使得过滤网15能够起到过滤的作用。
32.工作原理：使用时，使用者将加热器9通过安装块8安装至安装槽7中，将固定罩13通过螺栓与壳体1进行固定，使用者将其它设备通过连接盘5与连接管4进行连接，将有机金属化合物反应气体通过连接管4输送至壳体1的内部，加热器9开始工作，导热板10将温度进行传递，使得壳体1内部的产生化学反应，其次真空泵19(型号：sk-1.0)使得固定罩13内部
产生负压，在负压的作用力下，使得反应气体与反应副产物产生的易燃剧毒物质，通过安装管11进入固定罩13中，同时过滤网15过滤其中的杂质，最后通过废料口将易燃剧毒物质收集在收集袋中，集中处理，使用者可将密封盖3打开。将过滤网15通过卡块16从卡槽17中取出，从而对壳体1的内部以及过滤网15进行清洁与更换。
33.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。