一种太阳能级硅片净化系统、移动装置的制作方法

1.本实用新型属于光伏电池生产技术领域，尤其是涉及一种太阳能级硅片净化系统及配设有该净化系统的移动装置。


背景技术：

2.现有电池生产过程中，对于在不同工序之间，硅片流转还都是敞开式放置手动传递，而对于对硅片表面要求较高的制绒工序、扩散工序及镀膜工序中，敞开裸漏的硅片容易导致有颗粒灰尘粘附于硅片表面，不利于硅片的制绒、扩散或镀膜，表面的沾污容易形成小黑点，后续直接影响电池的转换效率。


技术实现要素：

3.本实用新型提供一种太阳能级硅片净化系统及配设有该净化系统的移动装置，可解决现有生产工序中硅片流转中容易被污染或氧化的技术问题。
4.为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：
5.一种太阳能级硅片净化系统，包括：
6.本体；
7.所述本体中配设有用于放置硅片的容腔；
8.在所述本体中设有洁净单元和排气单元；
9.所述洁净单元、所述容腔和所述排气单元形成气流通道；
10.所述洁净单元至少为两级过滤；
11.所述排气单元包括若干排气孔，所述排气孔具有可使所述容腔为密闭空间，并可以使在硅片置于所述容腔时流经所述容腔的气流先被排出，待所述容腔内的气体洁净度合格后再封闭所述容腔并对所述硅片进行持续净化。
12.进一步的，所述洁净单元至少包括过滤网和置于所述过滤网下方的洁净器，进入所述洁净单元中的空气先经所述过滤网过滤后再被所述洁净器净化，再进入所述容腔内。
13.进一步的，所述过滤网为中间高周边凹的锥面结构，且所述过滤网的母线夹角不小于120
°
；
14.所述过滤网的外周边缘还设有收集槽；
15.所述过滤网的高度不大于其投影图形中最小宽度的一半；
16.且所述过滤网被置于所述本体的上段部。
17.进一步的，在所述洁净器为风机过滤器。
18.进一步的，所述排气孔均置于所述本体的下端部；在其中至少两个所述排气孔内设有排风件，且所述排气孔数量大于所述排风件数量。
19.进一步的，每个所述排气孔中均设有单向控制阀；并所述排气孔至少设有一排且沿所述本体外壁周缘均匀设置。
20.进一步的，在所述本体上还设有对位设置的自动卷帘门，硅片从一端的所述卷帘
门进入所述容腔内后再从另一端的所述卷帘门中移出。
21.进一步的，在所述容腔内部还设有：
22.用于监控所述容腔内洁净度的粒子检测仪；
23.用于监控所述容腔内湿度的温湿度检测仪；和
24.用于测量所述容腔内气压的压力传感器。
25.进一步的，在所述本体外壁上还设有：
26.用于监控所述洁净单元和所述排气单元的控制单元；以及
27.对所述本体位置实时定位识别的导航单元；
28.其中，所述控制单元为触屏控制结构；
29.所述导航单元为激光slam导航结构；
30.所述控制单元分别与所述洁净单元、所述排气单元、所述卷帘门和所述导航单元连接。
31.一种移动装置，配设有如上所述的一种太阳能级硅片净化系统。
32.采用本实用新型设计的一种太阳能级硅片净化系统，结构设计简单且合理，可使硅片长期保持在千级净化环境中存储，并能自动判断容腔内的空气洁净度，以调整洁净单元获得适合硅片存储的有效环境。此外，本技术还设有激光识别的导航单元，可精准定位移动位置；触屏控制单元可进一步提高系统的智能化。本实用新型还提出一种配设有该净化系统的移动装置。
附图说明
33.图1是其中一实施例的一种太阳能级硅片净化系统的结构示意图；
34.图2是其中一实施例的过滤网的结构示意图；
35.图3是其中一实施例的一种太阳能级硅片净化系统的电路连接图。
36.图中：
37.10、本体
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
20、容腔
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
30、洁净单元
38.31、过滤网
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
32、洁净器
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
33、收集槽
39.40、排气单元
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
41、排气孔
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
42、排风件
40.50、卷帘门
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
60、控制单元
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
70、导航单元
41.80、粒子检测仪
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
90、温湿度检测仪
ꢀꢀꢀꢀ
100、压力传感器
具体实施方式
42.下面结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明。
43.本实施例提出一种太阳能级硅片净化系统，如图1所示，包括本体10，在本体10中配设有用于放置硅片的容腔20，同时在本体10上还设有洁净单元30和排气单元40。其中，洁净单元30、容腔20和排气单元40形成一个循环的气流通道；洁净单元30至少为两级过滤；排气单元40包括若干排气孔41和排风件42，排气孔41的数量大于排风件42的数量；排气孔41具有可使容腔20为密闭空间，并可以使在硅片置于容腔20时流经容腔20的气流先被排出，待容腔20内的气体洁净度合格后再封闭容腔20并对硅片进行持续净化。
44.在本实施例中，本体10可以为长方体的结构，当然也可选择为柱体结构，只要能具
有承载硅片的容腔20即可，其中，容腔20内至少可以承载一层一组硅片花篮，花篮的放置数量可根据容腔20的大小而定，在此不具体限制。
45.洁净单元30主要用于控制进入容腔20内空气的洁净度，设置在本体10 的上端部，可以设置在本体10的上端面，也可以设置在本体10的侧壁面上。至少包括一层过滤网31和置于过滤网31下方的洁净器32，在本体10的设有与过滤网31配合的放置孔，进入洁净单元30中的空气先经过滤网31过滤后再被洁净器32再次净化，再进入容腔20内。
46.如图2所示，过滤网31为中间高周边凹的锥面结构，过滤网31的外缘结构与固定放置孔的结构相适配，可以是方形结构，也可是圆形结构，且过滤网31的母线夹角θ不小于120
°
，并过滤网31的高度h不大于过滤网31 投影面积最小宽度d的一半，目的是提高过滤网31的锥面面积，以提高其与空气的接触面积；同时，高度的限制使得过滤网31的高度小于其端面直径，进而可缩短空气流经的路径，亦可分散两侧进入过滤网31面上气流的角度，进而降低其进入容腔20中的阻力，提高其流经速度。
47.为了防止进入过滤网31中的空气中大颗粒灰尘堆积在过滤网31的面上，在过滤网31的外周边缘还设有收集槽33，以汇聚颗粒灰尘；优选地，收集槽33与过滤网31可拆卸连接设置。同时，斜面的设置更有利于颗粒沿锥形面向下滚落，还可进一步提高气流通过的效果。统一位置的收集更便于收集和处理，也不影响过滤网31整体的使用性能，还可延长其使用寿命。
48.为了提高进入容腔20内空气颗粒的洁净级别，在过滤网31的下方还设有洁净器32，其中，洁净器32为风机过滤器，优选地为ffu风机过滤器，不仅可自动吸入空气，还可进一步对经过滤网31过滤后的空气做进一步的净化，以提高进入容腔20中的空气的洁净度，并使进入容腔20中的空气的洁净度达到千级以上，以保证硅片运输的洁净度，提高硅片运输质量。
49.排气孔41均置于本体10的下端部，在其中至少有两个排气孔41内设有排风件42，排风件42为排风扇，优选地，排气孔41的数量大于排风件 42的数量，目的是使排气单元40不仅具有主动排风的功能的同时，还能根据容腔20内的压力情况，自动打开更多的排气孔41，以完成容器20内气流的排出。也即是，当容腔20内的气压较大时，在设定时间内需要全部排出，基于压力差和时间，系统可自动计算出需要打开的通气面积，从而即可算出需要打开几个排气孔41，在若干个排气孔41中随机挑选几个排气孔41，以排出气流；多余的排气孔41还可作为备选孔，以备紧急情况使辅助使用。
50.为了保证容腔20气密性，在每个排气孔41中均设有单向控制阀，以使整个容腔20可形成微正压的状态，即使容腔20内部产生一个略高于本体10 外部的大气压的干燥气压差，迫使外部环境中的潮气、灰尘、粉尘等不能侵入到容腔20内，使存储硅片的容腔20内的环境始终保持洁净、干燥的状态，避免出现漏气现象，以保护硅片表面质量，保证硅片存储的密封性和安全性。
51.在本实施例中，至少设有一排的排气孔41，所有排气孔41均沿本体10 的外壁周缘均匀设置。当然，为了进一步提高排气的效率，可设有两排排气孔41，所有排气孔41并行设置或错位设置。
52.在本体10上还设有对位设置的自动卷帘门50，卷帘门50为密封设计的结构；优选地，其中一个卷帘门50与上一工序中的下料口连接，另一个卷帘门50与下一个工序中的上
料口连接，两个卷帘门50的设置，目的是使硅片从一端的卷帘门50进入容腔内后，再从另一端的卷帘门50中移出，以保证所有硅片先进先出，具有可追溯性。
53.为了能实时监控容腔20内部的洁净度和气压，在容腔20内部分别依次设有用于监控容腔20内洁净度的粒子检测仪80、用于监控容腔20内湿度的温湿度检测仪90和用于测量容腔20内气压的压力传感器100，其中，粒子检测仪80的型号可以为met onehhpc2+，是千级空气粒子计数器；温湿度检测仪90和压力传感器100为常规的配件，在此不具体限制。
54.进一步的，在本体10的外壁上还设有用于监控洁净单元30和排气单元 40的触屏控制单元60、以及对本体10位置实时定位识别的导航单元70，控制单元60设置在本体10的侧壁面，导航单元70包括设于本体10四个侧面的激光slam导航。其中，控制单元60为触摸屏配置的结构，控制单元60 分别与洁净单元30、排气单元40、卷帘门50、导航单元70、粒子检测仪80、温湿度检测仪90和压力传感器100连接，相应地，其电路连接结构如图3 所示。导航单元70的设置可进一步确定存储硅片装置的精准位置，并可灵活敏捷地自主规划路径、自主避障、自主绕行，并能一次性定位且无需机械二次定位。触屏控制单元可进一步提高系统的智能化。
55.在实际工作中，未放入硅片之前，可以先通过洁净单元30向容腔20内通入过滤后的空气，使内部的气压大于外部大气压，此时排气单元40为关闭状态。当开启卷帘门50将硅片放入容腔20内时，容腔20内的气压会瞬间下降，并伴有一定量的空气进入容腔20内，使洁净的腔内气体被混入普通空气；先打开排风件42，使容腔20内的混合气体排出，同时容腔20内的粒子检测仪80、温湿度检测仪90和压力传感器100持续监控容腔20内的洁净度和气压大小；当容腔20内的洁净度达到标准要求时，控制单元60控制排风件42停止排风；在等待容腔20内的气压是否达到预设的气压范围，当气压合格后，即可说明整改净化系统安全，继续保持硅片放置在容腔20中。当容腔20内的气压超出预警的气压上限时，控制单元60控制排气孔41打开，向外排空气，直至容腔20内的气压在预设的气压范围内。
56.一种移动装置，配设有如上所述的净化系统。
57.采用本实用新型设计的一种太阳能级硅片净化系统，结构设计简单且合理，可使硅片长期保持在千级净化环境中存储，并能自动判断容腔内的空气洁净度，以调整洁净单元获得适合硅片存储的有效环境。此外，本技术还设有激光识别的导航单元，可精准定位移动位置；触屏控制单元可进一步提高系统的智能化。
58.以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。