1.本实用新型涉及抛光技术领域,特别是指一种抛光机的挡液结构。
背景技术:
2.在申请号为cn202021353596.0的专利文件中提出了一种扫光机单工位组件,包括工位轴承座,所述工位轴承座的中部转动连接有工位传动轴,所述工位传动轴的一端外侧固定连接有圆柱齿轮,所述工位传动轴的另一端外侧固定连接有行星小盘,所述工位轴承座靠近行星小盘的一端外侧固定连接有工位传动大齿轮,所述工位传动轴靠近圆柱齿轮的一端固定连接有第一旋转接头,所述工位传动轴靠近行星小盘的一端固定连接有分气接头,所述行星小盘的顶端固定连接有载盘轴承座,所述载盘轴承座的中部转动连接有旋转轴,所述旋转轴的一端固定连接有真空托盘,所述旋转轴的另一端贯穿行星小盘固定连接有第二旋转接头,所述旋转轴靠近第二旋转接头的一端外侧固定连接有第一齿轮,所述第一齿轮与工位传动大齿轮啮合连接,所述行星小盘的外侧开设有通孔,所述通孔的内部贯穿有输气管,所述行星小盘的顶端设有工位挡液罩,所述真空托盘的底端固定连接有托盘挡液罩,所述的顶端固定连接有下载盘。上述扫光机单工位组件中,仅具有工位挡液罩、托盘挡液罩来防止抛光液流入装置内部,但仍会有部分液体从挡液罩的间隙流入装置内部,挡液效果不佳,并且液体会向外飞溅。
技术实现要素:
3.本实用新型的目的:为了克服现有技术的缺陷,本实用新型提供了一种抛光机的挡液结构,经过多层挡液罩,可以有效防止液体渗入。
4.本实用新型的技术方案:一种抛光机的挡液结构,包括机架、承载盘以及装设在所述承载盘上的放料盘,放料盘上具有工件放置区,
5.还包括工位挡液罩、承载盘挡液罩以及收液架,所述工位挡液罩位于承载盘上部的外侧且其内壁上设有内挡板a,所述收液架包括环形底板、位于所述底板内圈的内挡液罩a以及所述底板外周的外挡液罩a,所述内挡液罩a、外挡液罩a与底板构成收液槽,所述内挡液罩a位于承载盘下部的外侧且其外壁上设有外挡板a,所述承载盘挡液罩具有挡液盘、内挡液罩b以及位于挡液盘外周的外挡液罩b,内挡液罩b外壁上设有外挡板b,所述内挡液罩b上部插入承载盘与工位挡液罩之间,内挡板a与外挡板b为上下层叠间隔排列,所述外挡液罩b下部插入收液槽内并位于内挡液罩a外侧,挡液盘与外挡板a为上下层叠间隔排列;
6.收液槽的槽底具有出液通道,所述出液通道倾斜向下。
7.优选的,所述放料盘外周具有连接台,承载盘内部具有支撑在所述连接台底面上的承载台,承载盘外周具有挡液台,所述内挡板a连接在所述连接台底面上,内挡液罩b套设在承载台外,所述承载台的上端面高于内挡液罩b的上端面,所述挡液台的上端面高于内挡液罩a的上端面。
8.优选的,所述承载台的上端面上具有环形挡圈a,所述放料盘对应挡圈a位置具有
环形凹槽a,所述连接台装设在承载台上,挡圈a对应插入凹槽a内。
9.采用上述技术方案,抛光液经外部的工位挡液罩阻挡后,进入工位挡液罩与内工位挡液罩b之间,再经外挡板b阻挡后,进入外挡板b与内挡板a之间,再经承载台阻挡后,进入凹槽内经挡圈b阻挡;抛光液经外部的外挡液罩b阻挡后,进入外挡液罩b与内挡液罩a之间,再经外挡板a阻挡后,进入挡液盘与外挡板a之间,经挡液台阻挡后,进入支撑台外侧,经过多层挡液罩,可以有效减少进入的抛光液量,避免从承载盘上部与下部渗入;
10.同时外部的多余液体被收集到收液槽内,并经由出液通道排出,避免向外飞溅。
11.本实用新型的再进一步设置:放料盘下方对应一可转动的盘座,所述承载盘可带动放料盘相对盘座升降,盘座上部具有电磁铁、位于所述电磁铁外侧的环形挡圈b,放料盘底部具有磁吸部和环形凹槽b,放料盘可经磁吸部与电磁铁吸附构成与盘座的同步转动,挡圈b对应插入凹槽b内。
12.优选的,所述抛光机的挡液结构还包括连接在盘座底部的转轴、位于所述转轴外的转轴挡液罩a以及转轴挡液罩b,所述转轴挡液罩a与转轴挡液罩b一内一外设置,所述转轴挡液罩b的内壁上设有连接片,所述连接片连接在盘座底面上,盘座底部还具有供转轴挡液罩a上部插入的环形凹槽c。
13.采用上述再进一步设置,抛光液进入凹槽b内经挡圈b阻挡,防止向内进入电磁铁;同时抛光液依次经转轴挡液罩b、转轴挡液罩a阻挡,防止向内进入转轴。
14.本实用新型的再进一步设置:所述机架上还具有可相对承载盘升降的抛光盘,所述抛光盘上部具有储液槽,抛光盘底部具有与储液槽连通的出液孔,所述抛光盘外具有与其同步升降的抛光盘挡液罩,所述抛光盘挡液罩下部可插入收液槽内并位于外挡液罩a的内侧,所述外挡液罩a内壁上设有内挡板b。
15.优选的,所述抛光盘挡液罩包括上挡液罩与下挡液罩,所述上挡液罩外壁上设有下挡板,下挡液罩内壁上设有上挡板,下挡板与上挡板上下叠放并经连接件固定连接,下挡液罩可插入收液槽内。
16.采用上述再进一步设置,抛光盘挡液罩可避免储液槽内的抛光液向外飞溅,同时抛光盘挡液罩插入收液槽内,抛光液向外经下挡液罩阻挡后,进入下挡液罩与外挡液罩a之间,向上经内挡板b阻挡,同时抛光液向上还可经上挡板阻挡,向外经上挡液罩阻挡,多层阻挡,有效防止向外抛光液飞溅。
附图说明
17.图1为本实用新型具体实施例的结构图;
18.图2为本实用新型具体实施例的内部结构图;
19.图3为本实用新型具体实施例中放料盘的装配图;
20.图4为图3的剖面图;
21.图5为图4中iii部分的局部放大图;
22.图6为本实用新型具体实施例中承载盘挡液罩的结构图;
23.图7为本实用新型具体实施例中收液架的结构图;
24.图8为本实用新型具体实施例中承载盘的结构图;
25.图9为图2中i部分的局部放大图;
26.图10为图2中ii部分的局部放大图。
27.机架100,承载盘200,放料盘300,工位挡液罩400,承载盘挡液罩500,收液架600,内挡板a 410,底板610,内挡液罩a 620,外挡液罩a 630,收液槽640,外挡板a 621,挡液盘510,内挡液罩b 520,外挡液罩b 530,外挡板b 521,出液通道650,连接台310,承载台210,挡液台220,挡圈a 211,凹槽a 320,盘座700,电磁铁710,挡圈b 720,凹槽b 330,转轴730,转轴挡液罩a 740,转轴挡液罩b 750,连接片751,凹槽c 760,抛光盘800,储液槽810,抛光盘挡液罩900,内挡板b 631,上挡液罩910,下挡液罩920,下挡板911,上挡板921。
具体实施方式
28.下面将结合附图,对本实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
29.需要说明,在本发明的描述中所有方向性指示(诸如上、下、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等,如果该特定姿态发生改变时,则该方向性指示也相应地随之改变。
30.另外,在本发明中如涉及“a”、“b”等的描述仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。
31.如图1-10所示,本实用新型的一种抛光机的挡液结构,包括机架100、承载盘200以及装设在所述承载盘200上的放料盘300,放料盘300上具有工件放置区,还包括工位挡液罩400、承载盘挡液罩500以及收液架600,所述工位挡液罩400位于承载盘200上部的外侧且其内壁上设有内挡板a 410,所述收液架600包括环形底板610、位于所述底板610内圈的内挡液罩a 620以及所述底板610外周的外挡液罩a 630,所述内挡液罩a 620、外挡液罩a 630与底板610构成收液槽640,所述内挡液罩a 620位于承载盘200下部的外侧且其外壁上设有外挡板a 621,所述承载盘挡液罩500具有挡液盘510、内挡液罩b 520以及位于挡液盘510外周的外挡液罩b 530,内挡液罩b 520外壁上设有外挡板b 521,所述内挡液罩b 520上部插入承载盘200与工位挡液罩400之间,内挡板a 410与外挡板b 521为上下层叠间隔排列,所述外挡液罩b 530下部插入收液槽640内并位于内挡液罩a 620外侧,挡液盘510与外挡板a 621为上下层叠间隔排列;收液槽640的槽底具有出液通道650,所述出液通道650倾斜向下。
32.优选的,所述放料盘300外周具有连接台310,承载盘200内部具有支撑在所述连接台310底面上的承载台210,承载盘200外周具有挡液台220,所述内挡板a 410连接在所述连接台310底面上,内挡液罩b 520套设在承载台210外,所述承载台210的上端面高于内挡液罩b 520的上端面,所述挡液台220的上端面高于内挡液罩a 620的上端面。
33.优选的,所述承载台210的上端面上具有环形挡圈a 211,所述放料盘300对应挡圈a 211位置具有环形凹槽a 320,所述连接台310装设在承载台210上,挡圈a 211对应插入凹槽a内 320;放料盘300下方对应一可转动的盘座700,所述承载盘200可带动放料盘300相对盘座700升降,盘座700上部具有电磁铁710、位于所述电磁铁710外侧的环形挡圈b 720,放料盘300底部具有磁吸部(图中未示出)和环形凹槽b 330,电磁铁710与磁吸部位置可互换,放料盘300可经磁吸部与电磁铁710吸附构成与盘座700的同步转动,挡圈b 720对应插入凹
槽b 330内;所述抛光机的挡液结构还包括连接在盘座700底部的转轴730、位于所述转轴730外的转轴挡液罩a 740以及转轴挡液罩b 750,所述转轴挡液罩a 740与转轴挡液罩b 750一内一外设置,所述转轴挡液罩b 750的内壁上设有连接片751,所述连接片751连接在盘座700底面上,盘座700底部还具有供转轴挡液罩a 740上部插入的环形凹槽c 760;所述机架100上还具有可相对承载盘200升降的抛光盘800,所述抛光盘800上部具有储液槽810,抛光盘800底部具有与储液槽810连通的出液孔,所述抛光盘800外具有与其同步升降的抛光盘挡液罩900,所述抛光盘挡液罩900下部可插入收液槽640内并位于外挡液罩a 630的内侧,所述外挡液罩a 630内壁上设有内挡板b 631;所述抛光盘挡液罩900包括上挡液罩910与下挡液罩920,所述上挡液罩910外壁上设有下挡板911,下挡液罩920内壁上设有上挡板921,下挡板911与上挡板921上下叠放并经连接件固定连接,下挡液罩920可插入收液槽640内。
34.抛光液经外部的工位挡液罩阻挡后,向上进入工位挡液罩与内工位挡液罩b之间,再经外挡板b阻挡后,向内进入外挡板b与内挡板a之间,再经承载台阻挡后,向内进入凹槽内经挡圈b阻挡;抛光液经外部的外挡液罩b阻挡后,向上进入外挡液罩b与内挡液罩a之间,再经外挡板a阻挡后,向内进入挡液盘与外挡板a之间,经挡液台阻挡后,进入支撑台外侧;抛光液再从间隙进入盘座后,抛光液进入凹槽b内经挡圈b阻挡,防止向内进入电磁铁,抛光液依次经转轴挡液罩b、转轴挡液罩a阻挡,防止向内进入转轴。经过多层挡液罩,可以有效减少进入的抛光液量,避免渗入。
35.同时外部的多余液体被收集到收液槽内,并经由出液通道排出,抛光盘挡液罩可避免储液槽内的抛光液向外飞溅,同时抛光盘挡液罩插入收液槽内,抛光液向外经下挡液罩阻挡后,进入下挡液罩与外挡液罩a之间,向上经内挡板b阻挡,同时抛光液向上还可经上挡板阻挡,向外经上挡液罩阻挡,多层阻挡,有效防止向外抛光液飞溅。