一种用于方形硅片清洗的工装的制作方法

1.本实用新型涉及硅片清洗技术领域，具体涉及一种用于方形硅片清洗的工装。


背景技术：

2.硅片在米粒大的硅片上，已能集成15.6万个晶体管，微电子技术正在悄悄走进航空航天、工业、农业和国防，也正在悄悄进入每一个家庭。小小硅片的巨大“魔力”是我们的前人根本无法想象的。用硅片制成的硅片是有名的“神算子”，有着惊人的运算能力。
3.现有的方形硅片清洗工装在清洗时，不同形状和尺寸的硅片需使用不同尺寸的工装进行固定，现有的工装无法实现多种形状及尺寸的硅片同时进行清洗，工装通用性差。


技术实现要素：

4.针对上述存在的问题，本实用新型提出了一种用于方形硅片清洗的工装，多组固定块上不同位置的固定销，可以实现多种尺寸的方片同时清洗，提高工装通用性，清洗完成后方便更换方片，结构简单，安装拆卸方便，且通槽与通孔使药液更好的与硅片接触，圆孔使六边形卡盘表面漏液通畅，不容易积液。
5.为了实现上述的目的，本实用新型采用以下的技术方案：
6.一种用于方形硅片清洗的工装，包括托盘，托盘的顶部固定设置有多组固定块，且多组固定块皆开有不同尺寸的通槽，固定块顶部固的设置有多组固定销，且多组固定销与通槽相对应，固定销与通槽之间活动卡接有不同尺寸的硅片，多组固定块之间活动卡接有六边形卡盘，且六边形卡盘中开有多组圆孔。
7.优选的，托盘顶部固定设置有两组与圆孔相配合的定位销，六边形卡盘的顶部中间位置固定设置有立柱。
8.优选的，托盘顶部固定设置有多组挂钩，且多组挂钩与外部机械手相配合。
9.优选的，固定块中螺纹连接有多组螺栓，且固定块通过多组螺栓固定在托盘上。
10.优选的，固定块底部周边开有多组通孔，且通孔底部与托盘贴合。
11.由于采用上述的技术方案，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过托盘上设置有多组固定块，且固定块上根据不同硅片的尺寸固定设置有多组固定销，固定块开有与不同尺寸硅片相对应的通槽，将硅片推入固定销与固定块之间卡住，再将六边形卡盘卡入多组固定块之间，从而使得多组固定块上不同位置的固定销，可以实现多种尺寸的方片同时清洗，提高工装通用性，清洗完成后硅片更换方便，且通槽与通孔使药液更好的与硅片接触，圆孔使六边形卡盘表面漏液通畅，不容易积液，工装整体结构简单，安装拆卸较为便捷。
附图说明
12.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的，保护一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图
获得其他的附图。
13.图1为本实用新型的立体图；
14.图2为本实用新型的俯视图；
15.图3为本实用新型的侧视图。
16.图中：1、托盘；2、固定块；3、固定销；4、通槽；5、通孔；6、六边形卡盘；7、圆孔；8、立柱；9、定位销；10、挂钩；11、螺栓；12、硅片。
具体实施方式
17.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。基于本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.如图1-图3所示，一种用于方形硅片清洗的工装，包括托盘1，托盘1的顶部固定设置有多组固定块2，且多组固定块2皆开有不同尺寸的通槽4，固定块2顶部固的设置有多组固定销3，且多组固定销3与通槽4相对应，固定销3与通槽4之间活动卡接有不同尺寸的硅片12，多组固定块2之间活动卡接有六边形卡盘6，且六边形卡盘6中开有多组圆孔7。
19.托盘1顶部固定设置有两组与圆孔7相配合的定位销9，六边形卡盘6的顶部中间位置固定设置有立柱8。
20.托盘1顶部固定设置有多组挂钩10，且多组挂钩10与外部机械手相配合。
21.固定块2中螺纹连接有多组螺栓11，且固定块2通过多组螺栓11固定在托盘1上。
22.固定块2底部周边开有多组通孔5，且通孔5底部与托盘1贴合。
23.使用方法：通过固定块2上根据不同硅片12的尺寸固定设置有多组固定销3，固定块2开有与不同尺寸硅片12相对应的通槽4，将硅片12推入固定销3与固定块2之间卡住，再通过立柱8将六边形卡盘6卡入多组固定块2之间，六边形卡盘6与固定块2相抵，防止硅片12在清洗过程中脱离固定块2，从而使得多组固定块2上不同位置的固定销3，可以实现多种尺寸的方片同时清洗，提高工装通用性，外部机械手通过挂钩10将工装整体抓入药液中清洗，清洗过程中，圆孔7使六边形卡盘6表面漏液通畅，不容易积液，且通槽4与通孔5使药液更好的与硅片12接触，清洗完成后，再通过立柱8取出六边形卡盘6，再将多组硅片12向中间方向推出即可，使得方便更换硅片，工装整体结构简单，安装拆卸较为便捷。
24.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料过着特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
25.以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。


技术特征：
1.一种用于方形硅片清洗的工装，包括托盘(1)，其特征在于：所述托盘(1)的顶部固定设置有多组固定块(2)，且多组固定块(2)皆开有不同尺寸的通槽(4)，所述固定块(2)顶部固定设置有多组固定销(3)，且多组固定销(3)与通槽(4)相对应，所述固定销(3)与通槽(4)之间活动卡接有不同尺寸的硅片(12)，多组所述固定块(2)之间活动卡接有六边形卡盘(6)，且六边形卡盘(6)中开有多组圆孔(7)。2.根据权利要求1所述的一种用于方形硅片清洗的工装，其特征在于：所述托盘(1)顶部固定设置有两组与圆孔(7)相配合的定位销(9)，所述六边形卡盘(6)的顶部中间位置固定设置有立柱(8)。3.根据权利要求1所述的一种用于方形硅片清洗的工装，其特征在于：所述托盘(1)顶部固定设置有多组挂钩(10)，且多组挂钩(10)与外部机械手相配合。4.根据权利要求1所述的一种用于方形硅片清洗的工装，其特征在于：所述固定块(2)中螺纹连接有多组螺栓(11)，且固定块(2)通过多组螺栓(11)固定在托盘(1)上。5.根据权利要求1所述的一种用于方形硅片清洗的工装，其特征在于：所述固定块(2)底部周边开有多组通孔(5)，且通孔(5)底部与托盘(1)贴合。

技术总结
本实用新型涉及硅片清洗技术领域，具体涉及一种用于方形硅片清洗的工装，包括托盘，托盘的顶部固定设置有多组固定块，且多组固定块皆开有不同尺寸的通槽，固定块顶部固的设置有多组固定销，且多组固定销与通槽相对应，固定销与通槽之间活动卡接有不同尺寸的硅片，多组固定块之间活动卡接有六边形卡盘；本实用新型通过将硅片推入固定销与固定块之间卡住，再将六边形卡盘卡入多组固定块之间，从而使得多组固定块上不同位置的固定销，可以实现多种尺寸的方片同时清洗，提高工装通用性，清洗完成后硅片更换方便，且通槽与通孔使药液更好的与硅片接触，圆孔使六边形卡盘表面漏液通畅，不容易积液，工装整体结构简单，安装拆卸较为便捷。安装拆卸较为便捷。安装拆卸较为便捷。


技术研发人员：周尤 段昧存 韦树喜
受保护的技术使用者：安徽万维克林精密装备有限公司
技术研发日：2021.09.13
技术公布日：2022/3/8