一种专用清洗圆筒钟罩的设备的制作方法

1.本实用新型涉及钟罩清洗技术领域，具体为一种专用清洗圆筒钟罩的设备。


背景技术：

2.在半导体行业中，用于硅晶圆片和碳化硅晶圆片批量生产的外延炉的内腔因为耐高温、透光、无物质沾污的需求，基本使用高纯度石英材料制作，除了石英钟罩作为密闭腔体内用途外，为了保证晶体表面生长的气流均匀性和温度一致性，另外还会在腔体内放置各种形状的石英件。石英件的表面在一定次数的外延过程后，表面会沉积多种残留物质。这些残留物质在设备维护保养过程中定期清洗，否则会严重影响硅晶圆片和碳化硅晶圆片的外延层生长质量。钟罩是半导体生产中常用到的装置，需要专门的清洗机定期对钟罩进行清洗。
3.现有的清洗机通过按钮控制，对钟罩进行清洗，清洗面不能将钟罩的内外表面全部覆盖，导致清洗效果不好。
4.基于此，本实用新型设计了一种专用清洗圆筒钟罩的设备，以解决上述问题。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种专用清洗圆筒钟罩的设备，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种专用清洗圆筒钟罩的设备，包括清洗机，清洗机的前侧上部设有箱门，内部设有台面，台面的中部设有空槽，清洗机的顶面内部设有顶部喷淋和照明灯，清洗机的前侧壁右侧设有控制界面，清洗箱的内部还设有浸泡槽，浸泡槽位于台面下方，浸泡槽的上方四周固定有若干浸泡喷淋管，浸泡槽的底面中部还固定有中心喷淋头，浸泡槽的左侧下方设有快排气缸，快排气缸后侧连通有排水管，浸泡槽的右侧下方通过管道连通有气动隔膜泵，气动隔膜泵位于浸泡槽的左侧下方，气动隔膜泵的前侧连通有储液槽，储液槽通过管道分别与顶部喷淋、浸泡喷淋管和中心喷淋头连接，管道上设有若干气动隔膜阀，管道上还连通有外界水管。
7.优选的，浸泡槽与气动隔膜泵之间的的管道上设有过滤器。
8.优选的，清洗机的底面上固定有若干脚轮，脚轮下方设有防漏盘，清洗机的底面四角还设有地脚，地脚上设有连接片，连接片通过螺栓与地面固定连接。
9.优选的，清洗机的后侧壁上部设有排风窗，排风窗的外侧排风阀。
10.优选的，台面分为左右两半，且分别铰接在清洗机的左右两侧壁上，且台面上设有若干漏水孔，且左右两板的台面前侧设有手拉槽。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
12.本实用新型通过设置清洗机，打开箱门和台面，将钟罩放置在浸泡槽的顶面上，关闭台面和箱门，通过控制界面控制设置程序，启动气动隔膜泵，打开顶部喷淋、浸泡喷淋管和中心喷淋头，将储液箱内的酸液喷出，均匀的喷洒在钟罩的内外表面上，对钟罩进行充分
的酸洗；
13.酸洗后的酸液通过台面上的漏水孔进入浸泡槽内，通过控制气动隔膜阀的开关，使酸液进入过滤器内，过滤后通过气动隔膜泵进入储液箱内；酸洗后再通过外界水管将清水通过顶部喷淋、浸泡喷淋管和中心喷淋头喷出，对钟罩进行清洗，冲洗后的污水进入浸泡槽内，通过快排气缸从出水管中排出；通过设置排风阀，清洗机工作过程中通过排风阀将清洗机内部的酸气排出。
附图说明
14.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
15.图1为本实用新型结构示意图；
16.图2为本实用新型左视图；
17.图3为本实用新型a-a处结构示意图；
18.图4为本实用新型b-b处结构示意图；
19.图5为本实用新型c处结构示意图；
20.附图中，各标号所代表的部件列表如下：
21.1-清洗机、2-顶部喷淋、3-照明灯、4-排风窗、5-台面、6-排风阀、7-控制界面、8-气动隔膜阀、9-过滤器、10-中心喷淋头、11-浸泡槽、12-浸泡喷淋管、13-快排气缸、14-储液槽、15-脚轮、16-排水管、17-气动隔膜泵、18-防漏盘、19-地脚、20-连接片、21-漏水孔、22-空槽、23-手拉槽。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.请参阅附图，本实用新型提供一种技术方案：一种专用清洗圆筒钟罩的设备，包括清洗机1，清洗机1的前侧上部设有箱门，内部设有台面5，台面5的中部设有空槽22，清洗机1的顶面内部设有顶部喷淋2和照明灯3，清洗机1的前侧壁右侧设有控制界面6，清洗箱1的内部还设有浸泡槽11，浸泡槽11位于台面5下方，浸泡槽11的上方四周固定有若干浸泡喷淋管12，浸泡槽11的底面中部还固定有中心喷淋头10，浸泡槽11的左侧下方设有快排气缸13，快排气缸13后侧连通有排水管16，浸泡槽11的右侧下方通过管道连通有气动隔膜泵17，气动隔膜泵17位于浸泡槽11的左侧下方，气动隔膜泵17的前侧连通有储液槽14，储液槽14通过管道分别与顶部喷淋2、浸泡喷淋管12和中心喷淋头10连接，管道上设有若干气动隔膜阀8，管道上还连通有外界水管。
24.其中，浸泡槽11与气动隔膜泵17之间的的管道上设有过滤器9，对酸液进行回收利用，避免产生浪费。
25.其中，清洗机1的底面上固定有若干脚轮15，脚轮15下方设有防漏盘18，清洗机1的底面四角还设有地脚19，地脚19上设有连接片20，连接片20通过螺栓与地面固定连接，当装置需要移动时，将装置放在地面上，通过脚轮15移动，当装置到达固定位置后，将装置搬运到防漏盘18上，通过连接片20和螺栓将装置和防漏盘18固定。
26.其中，清洗机1的后侧壁上部设有排风窗4，排风窗4的外侧排风阀7，便于将清洗机1内的酸气排出。
27.其中，台面5分为左右两半，且分别铰接在清洗机1的左右两侧壁上，且台面上设有若干漏水孔21，且左右两板的台面5前侧设有手拉槽23，便于放置和取出钟罩，也能便于台面5上的液体进入浸泡槽11内。
28.本实施例的一个具体应用为：打开箱门和台面5，将钟罩放置在浸泡槽11的顶面上，关闭台面5和箱门，通过控制界面6控制设置程序，启动气动隔膜泵17，打开顶部喷淋2、浸泡喷淋管12和中心喷淋头10，将储液箱14内的酸液喷出，均匀的喷洒在钟罩的内外表面上，对钟罩进行充分的酸洗，酸洗后的酸液通过台面5上的漏水孔21进入浸泡槽11内，通过控制气动隔膜阀8的开关，使酸液进入过滤器9内，过滤后通过气动隔膜泵17进入储液箱14内；
29.酸洗后再通过外界水管将清水通过顶部喷淋2、浸泡喷淋管12和中心喷淋头10喷出，对钟罩进行清洗，冲洗后的污水进入浸泡槽11内，通过快排气缸13从出水管16中排出，清洗机1工作过程中通过排风阀7将清洗机1内部的酸气排出。
30.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
31.以上公开的本实用新型优选实施例只是用帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。